Самораспыление тонких пленок (применение метода инвариантного погружения)
Манухин В.В.1
1Московский энергетический институт (Технический университет), Москва, Россия
Email: ManukhinVV@mpei.ru
Поступила в редакцию: 6 декабря 2005 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2007 г.
Приведено аналитическое решение задачи о самораспылении тонких однородных пленок. С использованием принципов инвариантного погружения получены интегральные уравнения, описывающие поток распыленных атомов. Найдены приближенные решения интегрального уравнения для функций, описывающих спектры атомов, вылетающих с поверхностей пленок, в случае самораспыления. PACS: 68.49.Sf, 72.10.Bg, 02.30.Rz
- Амбарцумян В.А. // ЖЭТФ. 1943. Т. 13. С. 323
- Dashen R.V. // Phys. Rev. 1964. Vol. 134. P. 1025
- Афанасьев В.П., Лубенченко А.В. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1997. N 9. С. 12--22
- Sigmund P. // Phys. Rev. 1969. Vol. 184. P. 377
- Williams M.M.R. // Philosophical Magazine A. 1981. Vol. 43. N 5. P. 1221
- Waldeer K.T., Urbassek H.M. // Nucl. Instr. and Meth. 1987. Vol. B18. P. 518
- Tolmachev A.I. // Nucl. Instr. and Meth. 1993. Vol. B83. P. 479
- Чандрасекар С. Перенос лучистой энергии. М.: ИЛ, 1956. 431 с
- Ремизович В.С., Маринюк В.В. // Мат. 14-й Междунар. конф. "Взаимодействие ионов с поверхностью". Т. 1. М., 1999. С. 384
- Falcone G. // Rad. Eff. 1987. Vol. 1. P. 147
- Kelly R. // Nucl. Instr. Meth. 1987. Vol. 18. P. 388
- Afanas'ev V.P., Lubenchenko A.V. // Surface Investigation. 1999. Vol. 14. P. 821
- Лубенченко А.В. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2003. N 4. С. 22--31
- Оцуки E.Х. Взаимодействие заряженных частиц с твердыми телами. М.: Мир, 1985. 280 с
- Кумахов М.А., Комаров Ф.Ф. Энергетические потери и пробеги ионов в твердых телах. Минск: Изд-во БГУ, 1978. 320 с
- Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1984. 336 с
- Маринюк В.В., Ремизович В.С. // ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 10. С. 29--35
- Vicanek M., Jimenez Rodriguez J.J., Sigmund P. // Nucl. Instr. and Meth. 1989. Vol. B36. P. 124
- Никифоров А.Ф., Уваров В.Б. Специальные функции математической физики. М.: Наука, 1978. 320 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук