Состав, структура и свойства наноструктурных пленок боридов тантала
Гончаров А.А., Игнатенко П.И., Петухов В.В., Коновалов В.А., Волкова Г.К., Ступак В.А., Глазунова В.А.1
1Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина НАН Украины, Донецк, Украина
Поступила в редакцию: 7 ноября 2005 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2006 г.
Методами рентгеноструктурного анализа, электронной микроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии исследованы структура, фазовый и элементный состав наноструктурных пленок на основе диборида тантала, полученных ВЧ магнетронным распылением при различных режимах. Изучены физико-механические свойства покрытий (твердость, упругие и пластические характеристики). Синтезированные покрытия имели максимальную твердость порядка 42 и модуль упругости 240 GPa. Отмечено влияние размера зерна на физико-механические и электрические характеристики пленок. PACS: 68.55.-a
- Андриевский Р.А., Калинников Г.В., Кобелев Н.П. и др. // ФТТ. 1997. Т. 39. Вып. 10. С. 1859
- Андриевский Р.А., Калинников Г.В., Штанский Д.В. // ФТТ. 2000. Т. 42. Вып. 4. С. 741
- Штанский Д.В., Левашов Е.А., Косякин В.И. и др. // ФММ. 1995. Вып. 5. С. 121
- Штанский Д.В., Кулинич С.А., Левашов Е.А., More J.J. // ФТТ. 2003. Т. 45. Вып. 6. С. 1122
- Андриевский Р.А. Успехи химии. 1997. Т. 66. N 1. С. 57
- Pierson J.E., Billard A., Belmonte T. et al. // Thin Solid Eilms. 1999. Vol. 347. P. 78
- Pierson J.F., Belmonte T., Michel H. // Surface and Coatings Technology. 2001. Vol. 133--134. P. 301
- Zhon M., Noze M., Makino Y., Nogi K. // Thin Solid Films. 1999. Vol. 234. P. 343
- Zhon M., Noze M., Makino Y., Nogi K. // Thin Solid Films. 2000. Vol. 359. P. 165
- Штанский Д.В., Кирюханцев--Корнеев Ф.В., Шевейко А.Н. и др. // ФТТ. 2005. Т. 47. Вып. 2. С. 242
- Игнатенко П.И., Терпий Д.Н., Петухов В.В., Гончаров А.А. // Неорг. материалы. 2001. Т. 37. N 10. С. 1201
- Гончаров А.А., Петухов В.В., Терпий Д.Н. и др. // Неорг. материалы. 2005. Т. 41. N 7. С. 799
- Гончаров А.А., Петухов В.В., Чайка Д.С. // ФММ. 2005. Т. 100. Bып. 3. С. 26
- Самсонов Г.В., Виннницкий И.М. Тугоплавкие соединения. Металлургия. М., 1976
- Черепин В.Т., Васильев М.А. Вторичная ионно-ионная эмиссия металлов и сплавов. Киев: Наук. думка, 1975
- Дуб С.Н. // Сб. докл. Харьк. науч. ассамблеи. Харьков, 2003. С. 343
- Андриевский Р.А., Спивак И.И. Прочность тугоплавких соединений и материалов на их основе. Справочник. Металлургия. Челябинск, 1989
- Соболь Е.А., Соболь О.В., Стеценко А.Н. // Сб. докл. Харьк. научн. ассамблеи. Харьков, 2003. С. 187
- Johansson B.O., Hentrell H.T.G., Harper J.M.E., Cuomo J.J. // J. Mater. Res. 1986. Vol. 1. P. 442
- Андриевский Р.А., Глезер А.М. // ФММ. 1999. Т. 88. Вып. 1. С. 50
- Jonsson B. and Hogmark S. // Thin Solid Films. 1984. Vol. 114. P. 257
- Андриевский Р.А., Калинников Г.В., Hellgren N. и др. // ФТТ. 2000. Т. 42. Вып. 9. С. 1624
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
