Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Роль олигомеров в процессе роста пленки аморфного кремния в PECVD-реакторе

Горбачев Ю.Е.¹

¹Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, St. Petersburg, Russia

Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, St. Petersburg, Russia

Email: gorbachev@csa.ru

Поступила в редакцию: 21 марта 2005 г.

Выставление онлайн: 20 мая 2006 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Построена расширенная плазмохимическая модель процессов в PECVD-реакторе, являющаяся развитием предложенной в работах [1,2] и учитывающая образование олигомеров Si_nH_m (до n=<q 5). Разработана соответствующая схема химических реакций, и проведено моделирование процесса роста пленки. Обнаружен эффект сильного влияния компонентов Si₂H₅ и Si₃H₇ на рост пленки. Интерес представляет получение более надежных экспериментальных данных, связанных с выявлением этих эффектов. PACS: 81.20.-n, 81.05.Gs

Горбачев Ю.Е., Затевахин М.А., Каганович И.Д. // ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 12. С. 89--111
Горбачев Ю.Е., Затевахин М.А., Кржижановская В.В., Швейгерт В.А. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 8. С. 77--86
Kushner M.J. // J. Appl. Phys. 1988. Vol. 63. N 8. P. 2532--2551
Perrin J., Leroy O., Bordage M.C. // Contrib. Plasma Phys. 1996. Vol. 36. N 1. P. 3--49
Roca i Cabarrocas P. // J. Non-Cryst. Solids. 1993. Vol. 37. P. 64--166
Roca i Cabarrocas P. // Amorphous and Microcrystalline Silicon Technology. MRS Symp. Proc. 507. 1998. P. 855
Fontcuberta i Morral A., Brenot R., Hamers E.A.G., Vanderhagen R. and Roca Cabarrocas P. // J. Non-Cryst. Solids. 2001. Vol. 266. P. 48
Krzhizhanovskaya V.V., Zatevakhin M.A., Ignatiev A.A., Gorbachev Yu.E., Sloot P.M.A. // Lecture Notes in Computer Science 2002. Vol. 2328. P. 879--888
Krzhizhanovskaya V.V., Zatevakhin M.A., Ignatiev A.A., Gorbachev Yu.E., Goedheer W.J., Sloot P.M.A. // 3D Simulation of PECVD Reactors for Silicon-Based Film Production. ASME PVP Division Conference. 2004. Vol. 491--2. P. 59--68
http://www.csa.ru/comphyga/REAF.htmr
Bhandarkar U.V., Swihart M.T., Girshich S.L., Kortshagen U.R. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2000. Vol. 33. P. 2731--2746
Bhandarkar U.V., Kortshagen U.R., Girshich S.L. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2003. Vol. 3. P. 1399--1408
Shirafuji T., Tachibana K., Matsui Y. // Japan. J. Appl. Phys. 1995. Vol. 34. N 8A. P. 4239--4246
Guizot J.-L., Nomoto K., Matsuda A. // Surf. Sci. 1991. Vol. 244. P. 22--38
Sato N., Hsiratani M., Watanabe Yu. // Japan. J. Appl. Phys. 1994. Vol. 33. N 7B. P. 4266--4270
Perrin J. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1993. Vol. 26. P. 1662--1679
Biebericher A.C.W., van der Weg W.F., Rath J.K., Akdim M.R., Goedheer M.R. // J.Vac. Sci. Technol. Vol. A 21. N 1. P. 156--166

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель