"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние переходного слоя на результаты эллипсометрических исследований наноразмерных слоев
Биленко Д.И.1, Полянская В.П.1, Гецьман М.А.1, Горин Д.А.1, Невешкин А.А.1, Ященок А.М.1
1Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
Email: GorinDA@info.sgu.ru
Поступила в редакцию: 27 июля 2004 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2005 г.

Представлены результаты численного моделирования структуры наноразмерная пленка-переходный слой-поглощающая подложка. Установлено влияние переходного слоя на точность определения показателя преломления и толщины наноразмерного покрытия. Показано, что введение эффективных значений показателей преломления и поглощения подложки позволяет повысить точность последующих эллипсометрических измерений параметров наноразмерных слоев. Натурными и численными экспериментами показана целесообразность замены структуры подложка-переходный слой подложкой с эффективными оптическими параметрами при определении толщины и показателя преломления наноразмерной пленки на подложке с неизвестным переходным слоем, сравнимым по толщине с пленкой. Установлено, что изменение толщины переходного слоя незначительно влияет на точность определения толщины и показателя преломления нанесенной пленки при использовании эффективных значений показателей преломления и поглощения подложки.
  • Плотников Г.С., Зайцев В.Б. Физически основы молекулярной электроники. М.: МГУ, 2000. 164 с
  • Евтихиев В.П., Кудряшов И.В., Котельников Е.Ю. и др. // ФТП. 1998. Т. 32. Вып. 12. С. 1482--1486
  • Винокуров Д.А., Капитонов В.А., Коваленков О.В. и др. // ФТП. 1999. Т. 33. Вып. 7. С. 858--862
  • Petty M. Langmuir-Blodgett Films: an Introduction. Cambridge: University Press, 1996. 234 p
  • Гаврилюк И.В., Казанцева З.П., Лаврик Н.В. и др. // Поверхность. 1991. N 11. C. 93
  • Стащук В.С., Шкурат В.И. // Эллипсометрия --- метод исследования поверхности. Новосибирск: Наука, 1983. С. 35--37
  • Аюпов Б.М., Сысоева Н.П., Титова Е.Ф. // Эллипсометрия: теория, методы, приложения. Новосибирск. Наука, 1987. С. 136--139
  • Любинская Р.И., Мардежов А.С., Швец В.А. // Там же. С. 59--67
  • Горшков М.М. Эллипсометрия. М.: Сов. радио, 1974. 200 с
  • Пшеницын В.И., Абаев М.И., Лызлов Н.Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. Л.: Химия, 1986. 152 с
  • Основы эллипсометрии / Под ред. А.В. Ржанова. Новосибирск: Наука, 1978. 424 с
  • Громов В.К. Введение в эллипсометрию. Л.: Изд-во ун-та, 1986. 192 с
  • Физика тонких пленок / Под ред. В.С. Хангулова. Т. 1. М.: Мир, 1967. 344 с
  • Биленко Д.И., Дворкин Б.А., Дружинина Т.Ю. и др. // Опт. и спектр. 1983. Т. 55. Вып. 5. С. 885--890
  • Егоров Г.А., Иванова Н.С., Потапов Е.В. и др. // Опт. и спектр. 1974. Т. 36. Вып. 4. С. 773--776
  • Янклович А.И. // Успехи коллоидной химии. М.: Химия, 1991. С. 263--291
  • Штыков С.Н., Климов Б.Н., Горин Д.А. и др. // ЖФХ. 2004. Т. 78. N 3. C. 503--506
  • Holmes D.A. // Appl. Optics. 1967. Vol. 6. N 1. P. 168
  • Швец В.А. Автореферат канд. дис. Новосибирск, 1988. 17 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.