Размерные эффекты статической проводимости в тонких пленках тантала
Новодворский О.А., Храмова О.Д., Венцель К., Барта Й.В.1
1Институт полупроводниковой и микросистемной технологии ТУ Дрезден, Германия
Email: onov@laser.nictl.msk.su
Поступила в редакцию: 23 августа 2004 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2005 г.
Исследован размерный эффект статической проводимости в тонких пленках тантала при импульсном лазерном осаждении в вакууме. Обнаружена осциллирующая зависимость удельного сопротивления от толщины с периодом 5 nm для alpha-Ta и 5.6 nm для beta-Ta, которая трактуется как квантовый размерный эффект в тонких пленках тантала.
- Metal Based Thin Films for Electronics / Ed. K. Wetzig, C.M. Schneider. Ch 2. Thin Films System: Basic Aspects. Wiley-VCX, 2003. 378 p
- Liu H.-D., Zhao Y.-P., Ramanath G. et al. // Thin Solid Films. 2001. Vol. 384. P. 151--156
- Gupta D. // Encyclopedia of Applied Physics. 1993. Vol. 5. P. 75--86
- Matson D.W., Merz M.D., Mc Clanhan E.D. // J. Vac. Sci. Technol. 1992. Vol. A. N 10. P. 1791--1795
- Roy R.A., Catania P., Saenger K.L. et al. // J. Vac. Sci. Technol. 1993. Vol. B11. N 5. P. 1921--1927
- Novodvorsky O.A., Khramova O.D., Wenzel C. et al. // J. Appl. Phys. 2003. Vol. 94. N 5. P. 3612--3625
- Сандомирский В.Б. // ЖЭТФ. 1967. Т. 52. Вып. 1. С. 158--166.
- Palasantzas G., Zhao Y.P., Wang G.C. et al. // Phys. Rev. B. 2000. Vol. 61. P. 11 109--11 114
- Жерихин А.Н., Шубный Г.Ю., Херизина Л.Н. и др. // Поверхность. 2000. N 6. С. 79--83
- Гапонов С.В., Салащенко Н.Н. // Электрон. пром-сть. 1976. N 1. С. 11--20
- Novodvorsky O.A., Kharamova O.D., Wenzel C. et al. // Optics and Lasers in Engineering. 2000. Vol. 32. N 5. P. 449--457
- Jen S.U., Yu. C.C., Liu C.H. et al. // Thin Solid Films. 2003. Vol. 434. P. 316--322
- Face D.W., Prober D.E. // J. Vac. Sci. Technol. A 1987. Vol. 5. N 6. P. 3408--3411
- Ашкрофт Н.Н., Мермин Н. // Физика твердого тела. М., 1979. 400 С
- Комник Ю.Ф. // Физика металлических пленок. М., 1979. 273 с
- Рытова Н.С. // ФТТ. 1966. Т. 8. Вып. 6. С. 725--730
- Kazi I.H., Wild P.M., Moore T.N. at al. // Thin Solid Films. 2003. Vol. 433. P. 337--343
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук