Экспериментальные исследования и моделирование имплантации ионов из импульсной лазерной плазмы в импульсных электрических полях
Неволин В.Н.1, Фоминский В.Ю.1, Гнедовец А.Г.1, Кошманов В.Е.1
1Московский инженерно-физический институт (Государственный университет), Москва, Россия
Email: kash@retech.ru
Поступила в редакцию: 20 сентября 2004 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2005 г.
Приводятся результаты экспериментального исследования разлета импульсных потоков плазмы, инициированной наносекундными лазерными импульсами с плотностью мощности 7·108 W/cm2 из твердотельной мишени в интенсивных электрических полях. Измерены импульсы тока на лазерной мишени, а также глубинные распределения ионов железа, имплантированных в кремниевую подложку, на которую подавался высоковольтный импульс отрицательной полярности. Методом "частиц в ячейках" проведено моделирование физических процессов, протекающих в плазме с начальной плотностью ионов железа 6·1010 cm-3 при различных условиях включения высоковольтных импульсов произвольной формы. Разработанная модель позволила рассчитывать потоки ионов на обрабатываемую подложку и потоки электронов на мишень, а также энергетические спектры имплантированных ионов. Проведен сравнительный анализ результатов физического и компьютерного экспериментов, который выявил их достаточно хорошее качественное совпадение для реализованных экспериментальных условий.
- Ионая имплантация в полупроводники и другие материалы. Сб. статей. М.: Мир, 1980. 330 с
- Быковский Ю.А., Неволин В.Н., Фоминский В.Ю. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов. М.: Энергоатомиздат, 1991. 240 с
- Fominski V.Yu., Nevolin V.N., Romanov R.I. et al. // J. Appl. Phys. 2001. Vol. 89. P. 1449--1457
- Fominski V., Nevolin V., Romanov R. et al. // Thin Solid Films. 2002. Vol. 422/1--2. P. 39--47
- Qi B., Gilgenbach R.M., Jones M.C. et al. // J. Appl. Phys. 2003. Vol. 93. P. 8876--8883
- Альтудов Ю.К., Быковский Ю.А., Неволин В.Н. // ЖТФ. 1980. Т. 50. С. 178--179
- Conrad J.R., Radtke J.L., Dodd R.A. et al. // J. Appl. Phys. 1987. Vol. 62. P. 4591--4601
- Fetzer Cs., Dezsi I., Ventomme A. et al. // J. Appl. Phys. 2002. Vol. 92. P. 3688--3693
- Birdsall C.K., Langdon A.B. Plasma Physics via Computer Simulation. Bristol: IoP Publishing, 1991. 400 p
- Chu P.K., Qin S., Chan C. et al. // Mater. Sci. Eng. 1996. Vol. R17. P. 207--280
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
