Влияние поперечного размера факела лазерно-индуцированной плазмы на процессы обработки материалов
Блонский И.В.1, Данько А.Я.1, Кадан В.Н.1, Орешко Е.В.1, Пузиков В.М.1
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Email: kadan@iop.kiev.ua
Поступила в редакцию: 10 марта 2004 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2005 г.
Исследовалась проекционная микрообработка материалов моноимпульсами Nd : KGW лазера (1.06 mum). Предложен и опробован практический метод микрообработки с участием лазерно-индуцированной плазмы для прозрачных материалов. На сапфире, плавленом кварце, стекле получены образцы микромаркировки, в том числе с использованием управляемой жидкокристаллической маски, а также рельефная дифракционная решетка с периодом 3 mum. Изучалось влияние поперечного размера освещаемого участка на параметры обработки. Установлено, что плотность и температура лазерно-индуцированной плазмы при постоянной плотности энергии лазерного излучения возрастают с увеличением поперечного размера факела, причем плазменный факел оказывает противоположное влияние на темп абляции прозрачных материалов по сравнению с металлическими.
- Маска для проекционной лазерной обработки. Патент Украины. N 54714A
- Zhang J., Sugioka K., Midorikawa K. // Appl. Phys. A. 1998. Vol. 67. N 4. P. 499--501
- Zhang J., Sugioka K., Midorikawa K. // Appl. Phys. A. 1998. Vol. 67. N 5. P. 545--549
- Zeng X., Mao S., Liu C. et al. // Appl. Phys. Lett. 2003. Vol. 83. N 2. P. 240--242
- Делоне Н.Б. Взаимодействие лазерного излучения с веществом. М., 1989. 280 с
- Zhang J., Sugioka K., Takahashi T. et al. // Appl. Phys. A. 2000. Vol. 71. N 1. P. 23--26
- Промышленное применение лазеров / Под ред. Г. Кебнера. М., 1988. 280 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
