"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние селективного химического травления на диаграмму направленности излучения полупроводникового лазера
Мишкин В.П., Филатов Д.О., Некоркин С.М., Кутергина Ю.В.1
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 15 октября 2003 г.
Выставление онлайн: 20 июня 2004 г.

Исследовано влияние селективного жидкостного химического травления излучающей поверхности полупроводниковых лазеров на основе InGaP/GaAs с квантовыми ямами InGaAs на диаграмму направленности их излучения в плоскости, перпендикулярной p-n-переходу. Методом атомно-силовой микроскопии установлено, что за счет разной скорости травления материалов широкозонных слоев (InGaP) и активной области лазеров (GaAs, InGaAs) на излучающей поверхности происходит самоформирование цилиндрической линзы (собирающей или рассеивающей в зависимости от вида травителя). Показано, что, подбирая соответствующее время травления, возможно изменять ширину диаграммы направленности лазера в плоскости, перпендикулярной p-n-переходу, в пределах 57-82o при исходной ширине диаграммы направленности на уровне 1/2 максимума, равной 66o.
  • Алфёров Ж.И. // ФТП. 1998. Т. 32. С. 3--18
  • Asonen H., Ovtchinnikov A., Zhang G. et al. // IEEE Quantum Electron. 1994. Vol. 30. P. 415
  • Ohcudo M., Ijichi T., Iketani A. et al. // IEEE Quantum Electron. 1994. Vol. 30. P. 408
  • Wu M.C., Cchen Y.K., Hong M. et al. // Appl. Phys. Lett. 1991. Vol. 59. P. 1046--1048
  • Авруцкий И.А., Дианов Е.М., Звонков Б.Н. и др. // Квантовая электрон. 1997. Т. 24. С. 123
  • Звонков Н.Б., Ахлестина С.А., Ершов А.В. и др. // Квантовая электрон. 1999. Т. 26. N 3. С. 217--218
  • Scifres D.R., Streifer W., Burnham D.R. // Appl. Phys. Lett. 1976. Vol. 29. P. 23--25
  • Звонков Н.Б., Звонков Б.Н., Ершов А.В. и др. // Квантовая электрон. 1998. Т. 25. N 7. С. 622--624
  • Авруцкий И.А., Батукова Л.М., Дианов Е.М. и др. // Квантовая электрон. 1994. Т. 21. С. 921--924
  • Levichev V.V., Maximov G.A., Mishkin V.P. et al. // PLDS. 2003. N 3/4. P. 277-282
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.