"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Радиочастотные источники плазмы малой мощности для технологических приложений. III. Геликонные источники плазмы
Вавилин К.В., Рухадзе А.А., Ри М.Х., Плаксин В.Ю.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 10 сентября 2003 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2004 г.

Третья часть статьи посвящена исследованию так называемых геликонных источников плазмы --- радиочастотных источников плазмы при наличии внешнего относительно слабого магнитного поля. Вместе с тем магнитное поле является достаточно сильным, чтобы ларморовская частота вращения электронов была много больше резонансной для промышленной частоты (omega=8.52· 107 s-1). Как и в [1,2], рассмотрены удлиненные цилиндрические источники плазмы в продольном (вдоль оси цилиндра) магнитном поле и плоские дискообразные источники в поперечном (перпендикулярно плоскости диска) магнитном поле. Проводится сравнение результатов с результатами работы [3], полученными без использования геликонного приближения. Исходя из сравнения делается вывод о перспективности использования удлиненных геликонных источников в плазменных технологиях.
  • Вавилин К.В., Плаксин В.Ю., Ри М.Х., Рухадзе А.А. // ЖТФ. 2004. Т. 74. Вып. 5. С. 44--49
  • Вавилин К.В., Плаксин В.Ю., Ри М.Х., Рухадзе А.А. // ЖТФ. 2004. Т. 74. Вып. 6. С. 25--28
  • Alexandrov A.F., Bugrov G.E., Kralkina E.A. et al. // J. Russian Laser Research. 2003. Vol. 24. N 4. P. 301--321
  • Boswell R.W. // Plasma Phys. Contr. Fussion. 1984. Vol. 26. N 6. P. 1147
  • Chen F.F. Plasma Phys. Contr. Fussion. 1991. Vol. 33. P. 339. Chen F.F., Chelavier G. // J. Vac. Sci. Technol. 1992. Vol. A10. N 7. P. 1389
  • Alexandrov A.F. et al. // ICPIG-22. New Jersy (USA), 1995. Proc. Contr. Papers. Vol. 4. P. 153. ICPIG-25. Nagoya (Japan), 2002. Proc. Contr. Papers. Vol. 3. P. 33
  • Shamray K.P., Alexandrov A.F., Kralkina E.A. et al. // J. de Physique. 1997. Vol. III. N 10. P. Pc-4-365--375
  • High Density Plasma Sources / Ed. O.A. Popov. New Jersey (USA): Neyes Public., 1995
  • Воробьев Н.Ф., Рухадзе А.А. // Физика плазмы. 1994. Т. 20. N 4. С. 1065
  • Александров А.Ф., Бугров Г.Е., Кралькина Е.А. и др. // ЖТФ. 1994. Т. 64. Вып. 1. С. 53
  • Александров А.Ф., Бугров Г.Е., Кралкина Е.А. и др. // Прикладная физика. 1995. N 1. С. 5
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.