Вышедшие номера
Метод рентгеновской рефлектометрии и его применение для исследования лазерного испарения окисной пленки с поверхности кремния
Петраков А.П.1
1Сыктывкарский государственный университет им. Питирима Сорокина, Сыктывкар, Россия
Email: petrakov@ssu.komi.com
Поступила в редакцию: 19 июня 2002 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2003 г.

Приведен анализ литературы по рентгеновской рефлектометрии. Возможности метода рентгеновской рефлектометрии продемонстрированы в процессе исследования лазерного испарения окисной пленки с поверхности кремния.