Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2003, выпуск 4 » Статья стр. 129
<<<>>>
Метод рентгеновской рефлектометрии и его применение для исследования лазерного испарения окисной пленки с поверхности кремния
Петраков А.П.1
1Сыктывкарский государственный университет им. Питирима Сорокина, Сыктывкар, Россия
Email: petrakov@ssu.komi.com
Поступила в редакцию: 19 июня 2002 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2003 г.
PDF версия
Приведен анализ литературы по рентгеновской рефлектометрии. Возможности метода рентгеновской рефлектометрии продемонстрированы в процессе исследования лазерного испарения окисной пленки с поверхности кремния.
  1. Андреев А.В. // УФН. 1985. Т. 145. N 1. С. 113--136
  2. Петраков А.П., Голубев Е.А. // Поверхность. 2000. N 9. С. 15--16
  3. Бушуев В.А., Петраков А.П. // ФТТ. 1993. Т. 35. Вып. 2. С. 355--364
  4. Бушуев В.А., Петраков А.П. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 5. С. 28--37
  5. Ломов А.А., Бушуев В.А., Караванский В.А. // Кристаллография. 2000. Т. 45. N 5. С. 915--920
  6. Guentert O.G. // J. Appl. Phys. 1965. Vol. 36. N 4. P. 1361--1366
  7. Yoneda Y. // Phys. Rev. 1963. Vol. 131. N 5. P. 359--369
  8. Bindell J.B., Wainfan N. // J. Appl. Phys. 1970. Vol. 3. N 6. P. 503--516
  9. Андреева М.А., Борисова С.Ф., Степанов С.А. // Поверхность. 1985. N 4. С. 5--26
  10. Бушуев В.А., Петраков А.П. // Докл. II Национальной конф. РСНЭ. Дубна, 1997. Т. 2. С. 188--193
  11. Christensen F.E. // Revue Phys. Appl. 1988. Vol. 23. P. 1701--1710
  12. Синайский В.М., Сиденко В.И. // ПТЭ. 1974. N 6. С. 5--13
  13. Афанасьев А.М., Александров П.А., Имамов Р.И. М.: Наука, 1989. 151 с
  14. Александров П.А., Степанов С.А. // Поверхность. 1986. N 6. С. 117--120
  15. Parratt L.G. // Phys. Rev. 1954. Vol. 95. P. 359--369
  16. Синицын С.В. // ПТЭ. 1994. N 1. С. 203--207
  17. Начинов В.А., Елисеенко Л.Г., Достовалов В.Н. // Опт. и спектр. 1982. Т. 53. Вып. 3. С. 546--548
  18. Sinha S.K., Sirota E.B., Garoff S., Stanley H.B. // Phys. Rev. B. 1988. Vol. 38. N 4. P. 2297--2311
  19. Holy V., Baumbach T. // Phys. Rev. B. 1994. Vol. 49. N 15. P. 10 668--10 676
  20. Darhuber A.A., Schittenhelm P., Holy V., Stangl J., Bauer G., Abstreitre G. // Phys. Rev. B. 1997. Vol. 55. N 23. P. 15 652--15 663
  21. Имамов Р.М., Кондрашкина Е.А., Александров П.А., Грабчак В.П., Уваров О.В. // Поверхность. 1987. N 3. С. 41--47
  22. Ковьев Э.К., Матвеев Ю.А. // ФТТ. 1981. Т. 23. Вып. 2. С. 587--589
  23. Петрашень П.В., Ковьев Э.К., Чуховский Ф.Н., Дегтярев Ю.Л. // ФТТ. 1983. Т. 25. Вып. 4. С. 1211--1214
  24. Смирнов Л.А., Сотникова Т.Д., Анохин С.Б., Тайбин Б.З. // Опт. и спектр. // 1979. Т. 46. Вып. 3. С. 593--598
  25. Смирнов Л.А., Анохин С.Б. Опт. и спектр. 1980. Т. 48. Вып. 3. С. 574--577
  26. Ровинский Б.М., Синайский В.М., Сиденко В.И. // ФТТ. 1972. Т. 14. Вып. 2. С. 409--412
  27. Саркисов С.Р., Саркисов Э.Р. // Письма в ЖТФ. 1990. Т. 16. Вып. 16. С. 87--90
  28. Филатова Е.О., Благовещенская Т.А. // ФТТ. 1991. Т. 33. Вып. 8. С. 2321--2325
  29. Львов Ю.М., Дехер Г. // Кристаллография. 1994. Т. 39. N 4. С. 696--716
  30. Самойленко И.И., Коновалов О.В., Фейгин Л.А., Щедрин Б.М., Янусова Л.Г. // Кристаллография. 1999. Т. 44. N 2. С. 347--355

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme