Важнейшей причиной неопределенности результатов измерений линейных размеров при их контроле в растровом электронном микроскопе является вариация зарядов, наводимых электронным пучком на краевых участках сканируемого элемента. Неопределенность значений особенно высока для канавок с нанометровыми размерами. Проведен анализ литературных данных о наведенных поверхностных зарядах внутри наноканавок. Данные были получены в результате компьютерного моделирования процессов рассеяния вторичных электронов в канавках по методу Монте-Карло. Результаты анализа позволили выявить закономерности в картине распределения этих зарядов и объяснить их особенностями процессов их наведения. Проанализированы также литературные данные о вариациях формы кривых видеосигнала в растровом электронном микроскопе, которые приводят к неопределенности значений линейных размеров канавок. Вариации формы кривых видеосигнала, возникающие при изменении условий сканирования канавок, объяснены изменением характера наведения поверхностных зарядов на краях нанорельефа. Характер наведения зарядов был выявлен с помощью модельных расчетов. Ключевые слова: ширина наноканавки, зарядовый рельеф поверхности, расчеты методом Монте-Карло, рассеяние электронов поверхностью, кривые видеосигнала в РЭМ.