Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2026
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
2025
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Компактный масс-спектрометр для контроля ионной коррекции формы поверхности

Оськин И.Д.¹, Михайленко М.С.¹, Пестов А.Е.¹, Чернышев А.К.¹, Забродин И.Г.¹, Дмитриев Д.С.¹, Чхало Н.И.¹

¹Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Email: oskilya@ipmras.ru

Поступила в редакцию: 5 мая 2026 г.

В окончательной редакции: 5 мая 2026 г.

Принята к печати: 5 мая 2026 г.

Выставление онлайн: 12 августа 2026 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Разработан прибор, предназначенный для регистрации ионов Si²⁸⁺ для контроля количества распыленного материала при проведении процедуры финишной коррекции локальных ошибок формы поверхности подложек рентгеновской оптики методом ионно-пучковой коррекции. Ключевые слова: распыление, масс-спектрометрия, ионное травление, кремний, IBF.

S.S. Andreev, M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, E.B. Kluenkov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina, F. Schafers, L.A. Shmaenok. J. Synchrotron Radiation, 10 (5), 358 (2003). DOI: 10.1107/S090904950301112X
S.M. Feng, G.L. Zhu, J.D. Shao, K. Yi, Z.X. Fan, X.M. Dou. Appl. Phys. A, 74, 553 (2002). DOI: 10.1007/s003390100960
F. Schafers. Physica B, 283, 119 (2000). DOI: 10.1016/S0921-4526(99)01904-9
S.A. Bogachev, N.I. Chkhalo, S.V. Kuzin, D.E. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, S.V. Shestov, S.Y. Zuev. Appl. Opt., 55 (9), 2126 (2016). DOI: 10.1364/AO.55.002126
U. Dinger, F. Bisert, H. Lasser et al. Proc. SPIE, 4146, 35 (2000). DOI: 10.1117/12.406680
G. Zhou et al. Second Target Recognition and Artificial Intelligence Summit Forum. SPIE, 11427, 1019 (2020). DOI: 10.1117/12.2552166
P. Sigmund. Phys. Rev., 184 (2), 383 (1969). DOI: 10.1103/PhysRev.184.383
M.S. Mikhailenko, N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, I.G. Zabrodin. Precision Engineering, 48, 338 (2017). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2016.12.011
В.А. Батурин и др. ВАНТ, 1, 72 (2002)
N. Camara, K. Zekentes. Solid-State Electron., 46 (12), 2123 (2002). DOI: 10.1016/S0038-1101(02)00129-6
J.H. Gross. Mass spectrometry: a textbook (Springer Science \& Business Media, 2006), 518 p. ISBN 978-3-540-36758-4
P.H. Dawson. Quadrupole Mass Spectrometry and Its Applications (AIP Press, Woodbury, NY., 1997), 349 p. ISBN 978-1-56396-453-9
R.J. Cotter. Time-of-Flight Mass Spectrometry: Instrumentation and Applications in Biological Research (American Chemical Society, Washington, DC, 1997), 326 p. ISBN 978-0-8412-3471-6
A.G. Marshall, C.L. Hendrickson, G.S. Jackson. Mass Spectrometry Rev., 17 (1), 1 (1998). DOI: 10.1002/(SICI) 1098-2787(1998)17:1<1::AID-MAS1>3.0.CO;2-K
X. Meng, L. Li. Appl. Surf. Sci., 254, 5421 (2008). DOI: 10.1016/j.apsusc.2008.02.096
Y. Shen, L. Howard, X.-Y.Yu. Materials, 17 (2), Art. 528 (2024). DOI: 10.3390/ma17020528
N. Chernyshev, N. Chkhalo, I. Malyshev et al. Precision Engineering, 69, 29 (2021). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2021.01.006
М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, А.Е. Пестов и др. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 7, 5 (2003)
М.Р. Айнбунд, Б.В. Поленов. Вторично-электронные умножители открытого типа и их применение (Энергоиздат, М., 1981), 140 с
N. Mahne, M. Cekada, M. Panjan. Coatings, 13, 1448 (2023). DOI: 10.3390/coatings13081448
A.A. Nazarov, M.V. Zorina, D.V. Nefedov, V.N. Trushin, A.E. Pestov. Russ. Microelectron., 54 (1), 167 (2025). DOI: 10.1134/S1063739726600184
M. Stepanova, S.K. Dew. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B, 215 (3-4), 357 (2004). DOI: 10.1016/j.nimb.2003.09.035
D. Kalanov, A. Anders, C. Bundesmann. J. Vacuum Sci. Technol. A, 37 (5), Art. 051301 (2019). DOI: 10.1116/1.5111420
Электронный ресурс. Finite Element Method Magnetics (FEMM). URL: https://www.femm.info/wiki/HomePage
T.Y. Chang. Rev. Scientific Instrum., 44 (4), 405 (1973). DOI: 10.1063/1.1686144

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель