Численное моделирование рентгеновской оптики: методика и программная реализация
Российский научный фонд, 21-72-30029-П
Министерство образования и науки Российской Федерации, FFUF-2024-0022
Чертовских А.А.1, Паульс В.1
1Институт физики микроструктур РАН, Афонино, Нижний Новгород, Нижегородская обл., Россия
Email: ac@workflow-mail.ru
Поступила в редакцию: 22 мая 2026 г.
В окончательной редакции: 22 мая 2026 г.
Принята к печати: 22 мая 2026 г.
Выставление онлайн: 12 августа 2026 г.
Целью работы является разработка специализированного программного обеспечения моделирования зеркальных рентгенооптических систем. Для моделирования электромагнитных полей используется асимптотический метод лучевого разложения. Ввиду малости длины волны мы ограничиваемся рассмотрением уравнения эйконала и уравнения переноса нулевого порядка, для которых мы строим численные решения через трассировку лучей и лучевых трубок. Моделирование отражения от рентгеновских зеркал производится в локально-плоском приближении как отражение плоской волны от плоской поверхности с многослойным покрытием. В качестве примера проведено численное моделирование отражения излучения экстремального ультрафиолетового диапазона от параболического зеркала и продемонстрировано влияние параметров многослойного покрытия на качество формируемого изображения. Ключевые слова: трассировка лучей, рентгеновская оптика, многослойные покрытия, полиномы Цернике, волновые аберрации, коэффициенты Френеля.
- В.Н. Полковников, Н.И. Чхало. Тез. докл. XXIX симпозиума " Нанофизика и наноэлектроника" (Н. Новгород, 2025), с. 533
- В.Н. Полковников, К.В. Дуров, Р.М. Смертин, Р.А. Шапошников, Н.И. Чхало. Тез. докл. XXX симпозиума " Нанофизика и наноэлектроника" (Н. Новгород, 2026), с. 571
- И.В. Малышев, Д.Г. Реунов, А.К. Чернышев, М.Н. Торопов, А.Е. Пестов, Р.М. Смертин, В.Н. Полковников, Н.И. Чхало, С.А. Голышев, С.В. Лаврушкина, Е.П. Казаков. Тез. докл. XXX симпозиума " Нанофизика и наноэлектроника" (Н. Новгород, 2026), с. 547
- Н.И. Чхало. Микроэлектроника, 53 (5), 375 (2024). DOI: 10.31857/S0544126924050038
- В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, Н.И. Чхало. УФН, 190, 92 (2020). DOI: 10.3367/UFNr.2019.05.038623
- М.С. Михайленко, В. Паульс, Н.И. Чхало, А.Е. Пестов, М.Н. Торопов, И.Д. Оськин, А.К. Чернышев. Микроэлектроника, 55 (4), (2026)
- D. Golde, B. Butscher, P. Graupner, P. Kurz, D. Jurgens, O. Conradi, J. van Schoot, J. Stoeldraijer. Proc. SPIE 12051, 1205102 (2022). DOI: 10.1117/12.2614778
- M. Svechnikov. J. Appl. Crystallogr., 57 (3), 848 (2024). DOI: 10.1107/S1600576724002231
- M. Sanchez del Rio, N. Canestrari, F. Jiang, F. Cerrina. Proc. SPIE 8141, 814115 (2011). DOI: 10.1117/12.893911
- L.G. Parratt. Phys. Rev., 95 (2), 359 (1954). DOI: 10.1103/PhysRev.95.359
- M.F. Bal. Next-Generation Extreme Ultraviolet Lithographic Projection Systems. Ph. D. thesis (TU Delft, Delft, 2003)
- М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики. 2-е изд. (Наука, М., 1973)
- Ю.А. Кравцов, Ю.И. Орлов. Геометрическая оптика неоднородных сред (Наука, М., 1980)
- В.М. Бабич, В.С. Булдырев. Асимптотические методы в задачах диффракции коротких волн. Метод эталонных задач (Наука, М., 1972)
- В.И. Арнольд. Математические методы классической механики (Эдиториал УРСС, М., 2000)
- В.А. Фок. Проблемы диффракции и распространения электромагнитных волн (" Советское радио", Москва, 1970)
- A. Diaz-Cano, F. Gonzalez-Gascon, L.L. Sanchez-Soto. Symmetry, 14, 478 (2022). DOI: 10.3390/sym14030478
- A. Drezet, J.C. Woehl, S. Huant. J. Math. Phys., 47, 072901 (2006). DOI: 10.1063/1.2197689
- С.П. Шарый. Конечномерный интервальный анализ (Изд-во " XYZ", Новосибирск, 2026)
- Y. Hu, Z. Wang, X. Wang, , S. Ji, C. Zhang, J. Li, W. Zhu, D. Wu, J. Chu. Light: Science \& Applications, 9, 119 (2020). DOI: 10.1038/s41377-020-00362-z
- B. Richards, E. Wolf. Proc. R. Soc. Lond. A, 253 (1274), 358 (1959). DOI: 10.1098/rspa.1959.0200
- E.R. Tracy, A.J. Brizard, A.S. Richardson, A.N. Kaufman. Ray Tracing and Beyond: Phase Space Methods in Plasma Wave Theory (Cambridge University Press, Cambridge, 2014)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2026 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук