Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Лазер-стимулированная металл-индуцированная кристаллизация кремниевых покрытий на пленочных и нановолокнистых полимерных подложках

РНФ, 23-22-00047

Сердобинцев А.А.

¹, Карташова А.М.

¹, Демина П.А.

¹, Волковойнова Л.Д.

¹, Кожевников И.О.

¹, Галушка В.В.

¹Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия Saratov State University, Saratov, Russia

Saratov State University, Saratov, Russia

Email: SerdobintsevAA@sgu.ru, nasty280801@gmail.com, loris.volkoff@gmail.com, kozhevnikov_io@mail.ru, gwiktor@mail.ru

Поступила в редакцию: 16 января 2023 г.

В окончательной редакции: 16 января 2023 г.

Принята к печати: 16 января 2023 г.

Выставление онлайн: 29 февраля 2024 г.

PDF версия

Представлены результаты по получению нанокристаллических кремниевых покрытий на гибких полимерных подложках различной природы. Покрытия получены путем лазер-стимулированной металл-индуцированной кристаллизации. Показана возможность получения с помощью данной методики полностью кристаллизованных кремниевых пленок на площади 30x 30 μm на пленочной полиимидной подложке. Продемонстрирована применимость используемой методики на нановолокнистой полимерной подложке, полученной методом электроформования из раствора. Проведена работа по оптимизации режима лазерной обработки, определен диапазон значений лазерного флюенса, использование которого ведет к кристаллизации кремния с минимальными повреждениями нановолокнистых подложек. Оценка степени повреждения подложек проведена с помощью сканирующей электронной микроскопии. Приведены результаты экспериментальных исследований, подтверждающие формирование кристаллизованных кремниевых покрытий на нановолокнистых полимерных подложках. Ключевые слова: гибкая электроника, металл-индуцированная кристаллизация кремния, индуцированная лазером кристаллизация кремния, инфракрасный лазер, нановолокнистые нетканые материалы.

M. Benelmekki, A. Erbe. Front. Nanosci, 14, 1 (2019). DOI: 10.1016/B978-0-08-102572-7.00001-5
H.Y. Xu, M.K. Akbari, S. Zhuiykov. Nanoscale Res. Lett., 16 (1), 94 (2021). DOI: 10.1186/s11671-021-03551-w
R. Zhang. Appl. Comput. Eng., 23 (1), 96 (2023). DOI: 10.54254/2755-2721/23/20230618
A.J. Lovett, V. Daramalla, D. Nayak, F. N. Sayed, A. Mahadevegowda, C. Ducati, B.F. Spencer, S.E. Dutton, C.P. Grey, J.L. MacManus-Driscoll. Adv. Energy Mater., 13 (38), 2302053 (2023). DOI: 10.1002/aenm.202302053
T.M. Mazur, V.V. Prokopiv, M.P. Mazur, U.M. Pysklynets. Phys. Chem. Solid State, 22 (4), 817 (2021). DOI: 10.15330/pcss.22.4.817-827
L. Feng, S. Song, H. Li, R. He, S. Chen, J. Wang, G. Zhao, X. Zhaol. Metals, 13 (4), 792 (2023). DOI: 10.3390/met13040792
S. Sreejith, J. Ajayan, Sreedhar Kollem, B. Sivasankari. Silicon, 14, 8277 (2022). DOI: 10.1007/s12633-021-01644-w
J. Hou, B. Yang, X. Li, C. Ma, B. Wang, H. Long, Ch. Yang, Sh. Chen. J. Nanophoton., 14 (1), 016008 (2020). DOI: 10.1117/1.JNP.14.016008
N. Vouroutzis, J. Stoemenos, N. Frangis, G.Z. Radnoczi, D. Knez, F. Hofer, B. Pecz. Sci. Rep., 9, 1, (2019). DOI: 10.1038/s41598-019-39503-9
М.Д. Ефремов, В.А. Володин, Л.И. Федина, А.А. Гутаковский, Д.В. Марин, С.А. Кочубей, А.А. Попов, Ю.А. Минаков, В.Н. Уласюк. Письма в ЖТФ, 29 (13), 89 (2003)
Т.Т. Корчагина, В.А. Володин, А.А. Попов, К.С. Хорьков, М.Н. Герке. Письма в ЖТФ, 37 (13), 62 (2011). [T.T. Korchagina, V.A. Volodin, A.A. Popov, K.S. Khorkov, M.N. Gerke. Tech. Phys. Lett., 37 (7), 622 (2011). DOI: 10.1134/S1063785011070091]
A.A. Serdobintsev, I.O. Kozhevnikov, A.V. Starodubov, P.V. Ryabukho, V.V. Galushka, A.M. Pavlov. Phys. Status Solidi A, 216 (11) 1800964 (2019). DOI: 10.1002/pssa.201800964
A.A. Serdobintsev, V.A. Luzanov, I.O. Kozhevnikov, P.V. Ryabukho, D.M. Mitin, D.N. Bratashov, A.V. Starodubov, A.M. Pavlov. J. Phys. Conf. Ser., 1400, 1, (2019). DOI: 10.1088/1742-6596/1400/5/055034
Ф.А. Самохвалов, Н.И. Смирнов, А.А. Родионов, А.О. Замчий, Е.А. Баранов, Ю.Г. Шухов, А.С. Федотов, С.В. Старинский. Теплофизика и аэромеханика, 2, 381 (2023). [F.A. Samokhvalov, N.I. Smirnov, A.A. Rodionov, A.O. Zamchiy, E.A. Baranov, Yu.G. Shukhov, A.S. Fedotov, S.V. Starinskiy. Thermophys. Aeromechan., 30 (2), 361 (2023). DOI: 10.1134/S0869864323020178]
L.D. Volkovoynova, I.O. Kozhevnikov, A.M. Pavlov, A.A. Serdobintsev, A.V. Starodubov. Proceed. 8th Intern. Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2022), 8, 916 (2022). DOI: 10.56761/EFRE2022.C3-P-005701
V.A. Terekhov, E.I. Terukov, Yu.K. Undalov, K.A. Barkov, N.A. Kurilo, S.A. Ivkov, D.N. Nesterov, P.V. Seredin, D.L. Goloshchapov, D.A. Minakov, E.V. Popova, A.N. Lukin, I.N. Trapeznikova. Symmetry, 15 (9), 1800 (2023). DOI: 10.3390/sym15091800
K. Shrestha. Mater. Res. Society, 1757, 6 (2014). DOI: 10.1557/opl.2014.962
K. Fabisiak, K. Wielki, W. Frankow, P. Popielarski, A. Dychalska. Walter de Gruyter GmbH, 33, 7 (2015). DOI: 10.1515/msp-2015-0067
F. Raimondi, S. Abolhassani, R. Brutsch, F. Geiger, T. Lippert, J. Wambach, J. Wei, A. Wokaun. J. Appl. Phys., 88 (6), 3659 (2000). DOI: 10.1063/1.1289516
D.M. Zhigunov, G.N. Kamaev, P.K. Kashkarov, V.A. Volodin. Appl. Phys. Lett., 113, 5 (2018). DOI: 10.1063/1.5037008
J. Zi, H. Buscher, C. Falter, W. Ludwig, K. Zhang. Appl. Phys. Lett., 69, 200 (1996). DOI: 10.1063/1.117371
В.А. Володин, В.А. Сачков. ЖЭТФ, 143 (1), 100 (2013). DOI: 10.1134/S1063776112130183 [V.A. Volodin, V.A. Sachkov. J. Experiment. Theor. Phys., 116 (1), 100 (2013). DOI: 10.1134/S1063776112130183]
Л.Д. Волковойнова, А.А. Сердобинцев. ФТТ, 12, 2177 (2023). DOI: 10.61011/FTT.2023.12.56753.5004k
W.S. Khan, M. Ceylan, A. Jabarrania, L. Saeednia, R. Asmatulu. J. Thermal Eng., 3 (4), 1375 (2017). DOI: 10.18186/JOURNAL-OF-THERMAL-ENGINEERING.330180
Б.М. Тараканов, О.А. Андреева. Высокомолекулярные соединения, А32 (10), 2105 (1990)
L. Chen, Zh. Shen, J. Liu, J. Liang, X. Wang. RSC Adv., 10 (11), 6356 (2020). DOI: 10.1039/C9RA08881D
T. Kato, Y. Yamada, Y. Nishikawa, H. Ishikawa, S. Sato. Carbon, 178, 58 (2021). DOI: 10.1016/j.carbon.2021.02.090
G.J. Qi, S. Zhang, T.T. Tang, J.F. Li, X.W. Sun, X.T. Zeng. Surf. Coat. Technol., 198 (1-3), 300 (2005). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2004.10.092
I. Mirza, A.V. Bulgakov, H. Sopha, S.V. Stariнсkiy. Frontiers in Nanotechnol., 5, 1 (2023). DOI: 10.3389/fnano.2023.1271832
S.O. Solodovnikova, L.D. Volkovoynova, A.A. Serdobintsev, A.V. Starodubov, I.O. Kozhevnikov, A.M. Pavlov. J. Phys.: Conf. Series, 2103, 012123 (2021). DOI: 10.1088/1742-6596/2103/1/012123

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель