Вышедшие номера
Изучение диодных свойств двойного слоя комбинированного газового разряда
Russian Science Foundation , 19-19-00101
Бржозовский Б.М. 1, Бровкова М.Б.1, Гестрин С.Г.1, Зинина Е.П.1, Мартынов В.В. 1
1Институт машиноведения им. А.А. Благонравова РАН, Москва, Россия
Email: bmbsar85@mail.ru, bmbsar@mail.ru, gestrin.s@yandex.ru, e-zinina@bk.ru, v_martynov@mail.ru
Поступила в редакцию: 24 января 2023 г.
В окончательной редакции: 26 апреля 2023 г.
Принята к печати: 29 апреля 2023 г.
Выставление онлайн: 23 июля 2023 г.

Показано, что при зажигании вблизи поверхности обрабатываемого изделия, размещенного в резонаторной камере, комбинированного газового разряда, возникает двойной слой, обладающий диодными свойствами. Повышение уровня подводимой в камеру СВЧ мощности привело к уменьшению сопротивлений эквивалентного диода в открытом и закрытом режимах и увеличению тока, протекающего через установку. Попадающие на поверхность изделия ионы ионизированного СВЧ полем технологического газа (азота или аргона), наполняющего камеру, диффундируют внутрь изделия в результате процесса термодиффузии, что привело к образованию упрочняющего поверхностного слоя. Разогрев изделия происходил при подаче на него положительного потенциала смещения потоком поступающих на поверхность высокоэнергичных электронов, ускоренных до энергий в десятки и сотни электронвольт в зоне ускорения разряда. Ключевые слова: комбинированный разряд, низкотемпературная плазма, ионно-плазменное диффузионное внедрение, плазменная упрочняющая обработка, двойной слой, диодный эффект. DOI: 10.21883/JTF.2023.08.55971.11-23