Вышедшие номера
Применение просвечивающей электронной микроскопии для исследования функционального наноэлемента
Приходько К.Е. 1,2, Дементьева М.М.1
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: prihodko_ke@nrcki.ru
Поступила в редакцию: 6 апреля 2023 г.
В окончательной редакции: 6 апреля 2023 г.
Принята к печати: 6 апреля 2023 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2023 г.

С использованием зондового метода сфокусированного ионного пучка был вырезан образец поперечного среза единичного функционального элемента микронных размеров - элемента индуктивности, изготовленного из сверхпроводящего нанопровода, для проведения ПРЭМ (просвечивающая растровая электронная микроскопия) и ПЭМ (просвечивающая электронная микроскопия) исследований. Применение аналитических методов ПЭМ позволило получить точные данные о геометрических параметрах сечения нанопровода, фазовом и элементном составе сверхпроводящего материала элемента, а также о концентрации свободных электронов на уровне Ферми. Ключевые слова: просвечивающая растровая электронная микроскопия, просвечивающая электронная микроскопия высокого разрешения, тонкие сверхпроводящие пленки NbN, криогенный элемент индуктивности; спектроскопия энергетических потерь энергии электронов.
  1. B.A. Gurovich, K.E. Prikhodko, E.A. Kuleshova, A.Yu Yakubovsky, E.Z. Meilikhov, М.G. Mosthenko. J. Magn. Magn. Mater., 322, 3060 (2010). DOI: 10.1016/j.jmmm.2010.05.029
  2. W.H. Chang, W.Y. Chen, H.S. Chang, Tung-Po Hsieh, Jen-Inn Chyi, Tzu-Min Hsu. Phys. Rev. Lett., 96 (11), 3 (2006). DOI: 10.1103/PhysRevLett.96.117401
  3. Б.А. Гурович, К.Е. Приходько, Л.В. Кутузов, Б.В. Гончаров, Д.А. Комаров, Е.М. Малиева. ФТТ, 64 (10), 1390 (2022). DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55769.67-23 [B.A. Gurovich, K.E. Prikhodko, L.V. Kutuzov, B.V. Goncharov, D.A. Komarov, E.M. Malieva. Physics of the Solid State, 64 (10), 1373 (2022). DOI: 10.21883/PSS.2022.10.54221.47HH]
  4. G. Goltsman, A. Korneev, V. Izbenko, K. Smirnov, P. Kouminov, B. Voronov, N. Kaurova, A. Verevkin, J. Zhang, A. Pearlman, W. Slysz, R. Sobolewski. Nucl. Instruments Methods Phys. Res. Sect. A Accel. Spectrometers, Detect. Assoc. Equip., 520 (1-3), 527 (2004). DOI: 10.1016/j.nima.2003.11.305
  5. K.K. Likharev. Phys. C Supercond. Its Appl., 482, 6 (2012). DOI: 10.1016/j.physc.2012.05.016
  6. D.B. Williams, C.B. Carter. Transmission Electron Microscopy: A Textbook for Materials Science (Springer, 2009), DOI: 10.1007/978-1-61779-415-5_23
  7. L.A. Giannuzzi, F.A. Stevie. Micron., 30 (3), 197 (1999). DOI: 10.1016/S0968-4328(99)00005-0
  8. C. Li, G. Habler, L.C. Baldwin, R. Abart. Ultramicroscopy, 184, 310 (2018). DOI: 10.1016/j.ultramic.2017.09.011
  9. M.B. Ward, N.A. Porter, P. Sinha, R. Brydson, C.H. Marrows. J. Phys. Conf. Ser. 522, 012044 (2014). DOI: 10.1088/1742-6596/522/1/012044
  10. A. Abud, E. Coletto, S. Oliveira. et al. Microscopy Microanalysis, 16, 6 (2010). DOI: 10.1017/S14319276100
  11. D.A.M. de Winter, C. Hsieh, M. Marko M.F. Hayles. J. Microsc., 281, (2), 125 (2021). DOI: 10.1111/jmi.12943
  12. H. Ho, K. Gray, R. Kampwirth, et al. J. Mater. Sci., 21, 4097 (1986)
  13. R. Schneider, B. Freitag, D. Gerthsen, K.S. Ilin, M. Siegel. Cryst. Res. Technol., 44 (10) 1115 (2009). DOI: 10.1002/crat.200900462
  14. K.E. Prikhodko, B.A. Gurovich, M.M. Dement?Eva. IOP Conference Series: Materials Science and Engineering, 130, 012046 (2016). DOI: 10.1088/1757-899X/130/1/012046
  15. Д.И. Долгий, Е.Д. Ольшанский, Е.П. Рязанцев. Конверсия в машиностроении, 3-4, 119 (1999)
  16. К.Е. Приходько, М.М. Дементьева, Б.А. Гурович. Кристаллография, 63 (2), 261 (2018). DOI: 10.7868/S0023476118020169

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.