Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Подложки для мягкой рентгеновской микроскопии на основе Si₃N₄ мембран

DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55765.105-23

Переводная версия: 10.61011/TP.2023.07.56646.105-23

Российский научный фонд, Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований по поручениям (указаниям) Президента Российской Федерации» (междисциплинарные проекты), 22-62-00068

Реунов Д.Г.¹, Гусев Н.С.¹, Михайленко М.С.¹, Петрова Д.В.¹, Малышев И.В.¹, Чхало Н.И.¹

¹Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Email: reunov_dima@ipmras.ru

Поступила в редакцию: 2 мая 2023 г.

В окончательной редакции: 2 мая 2023 г.

Принята к печати: 2 мая 2023 г.

Выставление онлайн: 19 июня 2023 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Экспериментально были получены мембраны из нитрида кремния в качестве подложек для биологических образцов, которые исследованы на микроскопе с рабочей длиной волны 13.8 nm. Полученные свободно висящие пленки имели размер до 1.5x1.5 mm, что позволило выбрать интересную для исследования область на образце порядка десятков - сотен микрон. Механическая прочность мембран удовлетворяет требованию, чтобы образцы не рвали мембраны и выдерживали транспортировку. Полученные мембраны имеют прозрачность более 40% в диапазоне "окна прозрачности воды" (2.3-4.4 nm) и экстремальный ультрафиолет (13-15 nm). Ключевые слова: мембраны Si₃N₄, фотолитография, микроскопия мягкого рентгеновского излучения, экстремальная ультрафиолетовая микроскопия, корреляционная микроскопия.

V. Weinhardt, J. Chen, A.A. Ekman, J. Guo, S.G. Remesh, M. Hammel, G. McDermott, W. Chao, S. Oh, M.A. Le Gros, C.A. Larabell. PLoS One, 15 (1), e0227601 (2020). DOI: https://doi.org/10.1371/journal.pone.0227601
A. Torrisi, P. Wachulak, . W egrzynski, T. Fok, A. Bartnik, T. Parkman, v S. Vondrova, J. Turv nova, B.J. Jankiewicz, B. Bartosewicz, H. Fiedorowicz. Microscopy, 265 (2), 251 (2017). DOI: 10.1111/jmi.12494
T. Ejima, F. Ishida, H. Murata, M. Toyoda, T. Harada, T. Tsuru, T. Hatano, M. Yanagihara, M. Yamamoto, H. Mizutani. Optics Express, 18 (7), 7203 (2010). DOI: 10.1364/OE.18.007203
M. Sekimoto, H. Yoshihara, T. Ohkubo. J. Vacuum Sci. Technol., 21 (4), 1017 (1982). DOI: 10.1116/1.571854
R. Carzaniga, M.C. Domart, L.M. Collinson, E. Duke. Protoplasma, 251, 449 (2014). DOI: 10.1007/s00709-013-0583-y
D.Y. Parkinson, L.R. Epperly, G. McDermott, M.A. Le Gros, R.M. Boudreau, C.A. Larabell. Methods in Мolecular Вiology (Clifton, N.J., 2013), DOI: 10.1007/978-1-62703-137-0_25
M. Berglund, L. Rymell, M. Peuker, T. Wilhein, H.M. Hertz. J. Мicroscopy, 197 (3), 268 (2000). DOI: 10.1046/j.1365-2818.2000.00675.x
Электронный ресурс. Режим доступа: https://henke.lbl.gov/ optical_constants/filter2.html
Электронный ресурс. Режим доступа: https://www.silson.com/product/silicon-nitride-membranes/
J.P.S. DesOrmeaux, J.D. Winans, S.E. Wayson, T.R. Gaborski, T.S. Khire, C.C. Striemer, J.L. McGrath. Nanoscale, 6 (18), 10798 (2014). DOI: 10.1039/c4nr03070b
Электронный ресурс. Режим доступа: https://heidelberg-instruments.com/
N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, I.G. Zabrodin. Precision Engineering, 48, 338 (2017). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2017.01.00
Электронный ресурс. Режим доступа: http://www.platar.ru/P2R.html
Электронный ресурс. Режим доступа: https://ndtpro.ru/product/beskontaktnyj-opticheskij-profilometr-talysurf-cci/
I.V. Malyshev, D.G. Reunov, N.I. Chkhalo, M.N. Toropov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Tsybin, A.Ya. Lopatin, A.K. Chernyshev, M.S. Mikhailenko, R.M. Smertin, R.S. Pleshkov, O.M. Shirokova. Optics Express, 30 (26), 47567 (2022). DOI: 10.1364/OE.475032
Электронный ресурс. Режим доступа: https://mvc-nn.ru/contacts
E. Fogelqvist, M. Kordel, V. Carannante, B. Onfelt, H.M. Hertz. Scientific Reports, 7 (1), 1, (2017). DOI: 10.1038/s41598-017-13538-2
P.W. Wachulak, A. Torrisi, W. Krauze, A. Bartnik, J. Kostecki, M. Maisano, A.M. Sciortino, H. Fiedorowicz. Appl. Phys. B, 125, 1 (2019). DOI: 10.1007/s00340-019-7183-2
R. Feder, J. Costa, P. Chaudhari, D. Sayre. Science, 212 (4501), 1398 (1981). DOI: 10.1126/science.7233227

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель