Экспериментально были получены мембраны из нитрида кремния в качестве подложек для биологических образцов, которые исследованы на микроскопе с рабочей длиной волны 13.8 nm. Полученные свободно висящие пленки имели размер до 1.5x1.5 mm, что позволило выбрать интересную для исследования область на образце порядка десятков - сотен микрон. Механическая прочность мембран удовлетворяет требованию, чтобы образцы не рвали мембраны и выдерживали транспортировку. Полученные мембраны имеют прозрачность более 40% в диапазоне "окна прозрачности воды" (2.3-4.4 nm) и экстремальный ультрафиолет (13-15 nm). Ключевые слова: мембраны Si₃N₄, фотолитография, микроскопия мягкого рентгеновского излучения, экстремальная ультрафиолетовая микроскопия, корреляционная микроскопия.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.