Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2023, выпуск 7 » Статья стр. 859
>>>
Кремниевые решетки с блеском для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового излучения: влияние формы профиля штриха и случайной шероховатости на дифракционную эффективность
DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55738.66-23
Переводная версия: 10.61011/TP.2023.07.56619.66-23
РНФ, 19-12-00270-П
РФФИ, 19-29-12053-мк
Горай Л.И.1,2,3,4, Шаров В.А.5, Мохов Д.В.2, Березовская Т.Н.2, Шубина К.Ю.2, Пирогов Е.В. 2, Дашков А.C.1,2, Буравлев А.Д.1,3,4,5
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)", Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
4Университет при Межпарламентской Ассамблее ЕврАзЭС, Санкт-Петербург, Россия
5Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: lig@pcgrate.com, vl_sharov@mail.ru, zzzavr@gmail.com
Поступила в редакцию: 31 марта 2023 г.
В окончательной редакции: 31 марта 2023 г.
Принята к печати: 31 марта 2023 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2023 г.
PDF версия
Исследовано влияние формы профиля штриха и случайной шероховатости отражающей грани пяти дифракционных кремниевых решеток (угол блеска 1-4o, период 0.4, 1.4, 2 и 4 μm, различные покрытия), работающих в мягком рентгеновском и экстремальном ультрафиолетовом диапазонах излучения, на отток дифракционной эффективности из рабочих порядков. Дифракционные решетки были изготовлены жидкостным травлением вицинальных пластин Si(111) и охарактеризованы методом атомно-силовой микроскопии для определения формы профиля штриха и шероховатости. На основе реалистичных профилей штрихов компьютерным моделированием в программе PCGrateTM, учитывая интенсивность рассеяния с помощью поправок типа Нево-Кросе или Дебая-Валлера и по методу Монте-Карло (строго), была рассчитана дифракционная эффективность решеток, работающих в схемах классической и конической дифракции. Показано влияние формы профиля штриха и шероховатости на дифракционную эффективность изготавливаемых Si-решеток. Ключевые слова: дифракционная решетка, треугольный профиль штрихов, шероховатость поверхности отражающей грани, АСМ, моделирование дифракционной эффективности.
  1. L.I. Goray, G. Schmidt. In: Gratings: Theory and Numerical Applications, ed. by E. Popov (Institut Fresnel, AMU, 2014), p. 447
  2. L. Goray, M. Lubov. J. Appl. Cryst., 46, 926 (2013). DOI: 10.1107/S0021889813012387
  3. Л.И. Горай, Т.Н. Березовская, Д.В. Мохов, В.А. Шаров, К.Ю. Шубина, Е.В. Пирогов, А.С. Дашков, А.В. Нащекин, М.В. Зорина, М.М. Барышева, С.А. Гарахин, С.Ю. Зуев, Н.И. Чхало. Квант. электрон., 52 (10), 955 (2022). https://www.mathnet.ru/rus/qe/v52/i10/p955
  4. L.I. Goray. J. Appl. Phys., 108, 033516 (2010). DOI: 10.1063/1.3467937
  5. D.L. Voronov, E.H. Anderson, R. Cambie, F. Salmassi, E.M. Gullikson, V.V. Yashchuk, H.A. Padmore, M. Ahn, C.-H. Chang, R.K. Heilmann, M.L. Schattenburg. Proc. SPIE, 7448, 74480J (2009). DOI: 10.1117/12.826921
  6. L. Golub, P. Cheimets, E.E. DeLuca, C.A. Madsen, K.K. Reeves, J. Samra, S. Savage, A. Winebarger, A.R. Bruccoleri. J. Space Weather Space Clim., 10, 37 (2020). DOI: 10.1051/swsc/2020040
  7. Л.И. Горай, Т.Н. Березовская, Д.В. Мохов, В.А. Шаров, К.Ю. Шубина, Е.В. Пирогов, А.С. Дашков. ЖТФ, 91 (10), 1538 (2021). DOI: 10.21883/JTF.2021.10.51368.81-21
  8. Д.В. Мохов, Т.Н. Березовская, К.Ю. Шубина, Е.В. Пирогов, А.В. Нащекин, В.А. Шаров, Л.И. Горай, ЖТФ, 92 (8), 1192 (2022). DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52782.74-22
  9. L. Goray, M. Lubov. J. Surf. Invest. X-ray Synchrotron Neutron Tech., 8 (3), 444 (2014). DOI: 10.1134/S1027451014030057
  10. L. Goray, M. Lubov. Opt. Express, 23 (8), 10703 (2015). DOI: 10.1364/OE.23.010703
  11. J.A. Ogilvy. Rep. Prog. Phys., 50, 1553 (1987). DOI: 10.1088/0034-4885/50/12/001
  12. D.K.G. de Boer. Phys. Rev. B, 51, 5297 (1995). DOI: 10.1103/PhysRevB.51.5297
  13. D.G. Stearns, D.P. Gaines, D.W. Sweeney, E.M. Gullikson. J. Appl. Phys., 84 (2), 1003 (1998). DOI: 10.1063/1.368098
  14. I.V. Kozhevnikov, M.V. Pyatakhin. J. X-ray Sci. Tech., 8 (4), 253 (1998)
  15. M. Saillard, D. Maystre, J.P. Rossi. Opt. Acta, 33, 1193 (1986)
  16. L.I. Goray Nucl. Instrum. Methods. Phys. Res. A, 536 (1-2), 211 (2005). DOI: 10.1016/j.nima.2004.07.173
  17. L. Goray. Proc. SPIE, 6617, 661719 (2007). DOI: 10.1117/12.726038
  18. L. Goray. Proc. SPIE, 7390, 73900V (2009). DOI: 10.1117/12.827444
  19. Л.И. Горай, Е.В. Пирогов, М.С. Соболев, Н.К. Поляков, А.С. Дашков, М.В. Свечников, А.Д. Буравлев. ЖТФ, 90 (11), 1906 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49982.108-20 [L.I. Goray, E.V. Pirogov, M.S. Sobolev, N.K. Polyakov, A.S. Dashkov, M.V. Svechnikov, A.D. Bouravleuv. Tech. Phys., 65 (11), 1822 (2020). DOI: 10.1134/S1063784220110134]
  20. L. Goray, E. Pirogov, M. Sobolev, I. Ilkiv, A. Dashkov, E. Nikitina, E. Ubyivovk, L. Gerchikov, A. Ipatov, Yu. Vainer, M. Svechnikov, P. Yunin, N. Chkhalo, A. Bouravlev. J. Phys. D: Appl. Phys., 53, 455103 (2020). DOI: 10.1088/1361-6463/aba4d6]
  21. L. Goray. J. Synchrotron Radiat., 28, 196 (2021). DOI: 10.1107/S160057752001440X
  22. I.I.G., Inc. [Электронный ресурс]. Режим доступа: URL: http://pcgrate.com, свободный (дата обращения 06.03.2023)
  23. Л.И. Горай, Н.И. Чхало, Ю.А. Вайнер. Письма в ЖТФ, 36 (3), 31 (2010). [L.I. Goray, N.I. Chkhalo, Yu.A. Vainer, Tech. Phys. Let., 36 (2), 108 (2010). DOI: 10.1134/S1063785010020057]
  24. Л.И. Горай, Н.И. Чхало, Г.Э. Цырлин. Письма в ЖТФ, 79 (4), 117 (2009). [L.I. Goray, N.I. Chkhalo, G.E. Tsyrlin. Tech. Phys., 54, 561 (2009). DOI: 10.1134/S1063784209040185]
  25. Л.И. Горай, Е.В. Пирогов, М.В. Свечников, М.С. Соболев, Н.К. Поляков, Л.Г. Герчиков, Е.В. Никитина, А.С. Дашков, М.М. Борисов, С.Н. Якунин, А.Д. Буравлев. Письма в ЖТФ, 47 (15), 7 (2021). DOI: 10.21883/PJTF.2021.15.51225.18824 [L.I. Goray, E.V. Pirogov, M.V. Svechnikov, M.S. Sobolev, N.K. Polyakov, L.G. Gerchikov, E.V. Nikitina, A.S. Dashkov, M.M. Borisov, S.N. Yakunin, A.D. Bouravleuv. Tech. Phys. Lett., 47 (10), 757 (2021). DOI: 10.1134/S1063785021080071]
  26. M. Lubov, L. Goray. J. Synchrotron Rad., 26, 1539 (2019). DOI: 10.1107/S1600577519006337
  27. L.I. Goray, V.E. Asadchikov, B.S. Roshchin, Yu.O. Volkov, A.M. Tikhonov. OSA Continuum, 2 (2), 460 (2019). DOI: 10.1364/OSAC.2.000460
  28. L.I. Goray, J.F. Seely. Appl. Opt., 41 (7), 1434 (2002). DOI: 10.1364/AO.41.001434
  29. Л.И. Горай, Т.Н. Березовская, Д.В. Мохов, В.А. Шаров, К.Ю. Шубина, Е.В. Пирогов, А.С. Дашков. Поверхность. Рентген. синхротр. и нейтрон. исслед., 8, 3 (2023)
  30. Gwyddion download [Электронный ресурс]. Режим доступа: http://gwyddion.net/download.php, свободный (дата обращения 22.05.2023)
  31. L.I. Goray, In: Recent Developments in Atomic Force Microscopy and Raman Spectroscopy for Materials Characterization, ed. by C.S. Pathak, S. Kumar (IntechOpen, 2022), 274 p. DOI: 10.5772/intechopen.94185
  32. L. Goray, W. Jark, D. Eichert. J. Synchrotron Radiat., 25, 1683 (2018). DOI: 10.1107/S1600577518012419

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme