Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Гомогенное зародышеобразование при лазерно-плазмохимическом синтезе твердых покрытий SiCN из гексаметилдисилазана

DOI: 10.21883/JTF.2023.06.55605.47-23

Демин В.Н.¹, Борисов В.О.¹, Бакланов А.М.², Грачев Г.Н.³, Смирнов А.Л³, Багаев С.Н.³

¹Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

²Институт химической кинетики и горения им. В.В. Воеводского Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия V.V. Voevodsky Institute of Chemical Kinetics and Combustion, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

V.V. Voevodsky Institute of Chemical Kinetics and Combustion, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

³Институт лазерной физики Сибирского отделения РАН, Новосибирск, Россия Institute of Laser Physics of the Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Institute of Laser Physics of the Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Email: demin@che.nsc.ru

Поступила в редакцию: 20 марта 2023 г.

В окончательной редакции: 26 апреля 2023 г.

Принята к печати: 28 апреля 2023 г.

Выставление онлайн: 6 июня 2023 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

С использованием дифференциального спектрометра аэрозолей проведено изучение гомогенного образования зародышей твердой фазы в процессе лазерно-плазмохимического осаждения SiCN из паров гексаметилдисилазана в потоке плазмообразующего газа аргона. Найдено, что характерный размер наночастиц SiCN в газовой фазе находится в диапазоне 20-120 nm и зависит от концентрации паров гексаметилдисилазана и скорости общего потока аргона. Проведенные исследования показали, что образование слоя карбонитрида кремния в лазерном плазмохимическом осаждении идет с образованием зародышей в газовой фазе, и при их соударении с подложкой и активации лазерной плазмой образуется твердое наноструктурированное покрытие. Ключевые слова: лазерно-плазмохимическое осаждение, карбонитрид кремния, гомогенное зародышеобразование. DOI: 10.21883/JTF.2023.06.55605.47-23

T.R. Jervis. J. Apрl. Phys., 53 (3), 1400 (1985)
G.N. Grachev, A.G. Ponomarenko, A.L. Smirnov, V.N. Tischenko, P.K. Tret'jacov. Laser Phys., 6 (2), 376 (1996)
Ю.П. Райзер. Лазерная искра и распространение разрядов (Наука, М.,1974)
D.C. Smith. Appl. Phys. Lett., 19, 405 (1976)
В.И. Фишер, В.М. Хараш. ЖЭТФ, 82 (3), 740 (1982)
Г.Н. Грачев, А.Г. Пономаренко, А.Л. Смирнов, П.А. Стаценко, В.Н. Тищенко, С.И. Трашкеев. Квантовая электроника, 35 (11), 973 (2005)
В.Н. Демин, Т.П. Смирнова, В.О. Борисов, Г.Н. Грачев, А.Л. Смирнов, М.Н. Хомяков. ФХС, 41 (2), 232 (2015)
V.N. Demin, T.P. Smirnova, V.O. Borisov, G.N. Grachev, A.L. Smirnov, M.N. Khomyakov. Surface Engineering, 31 (8), 628 (2015)
V.N. Demin, T.P. Smirnova, V.O. Borisov, G.N. Grachev, A.L. Smirnov, M.N. Khomyakov. J. Structur. Chem., 58 (8), 1503 (2017)
В.Н. Демин, Т.П. Смирнова, В.О. Борисов, Г.Н. Грачев, А.Л. Смирнов, М.Н. Хомяков. Журн. структурной химии, 61 (9), 1466 (2020)
V.N. Demin, V.O. Borisov, G.N. Grachev, A.L. Smirnov, M.N. Khomyakov, S.N. Bagayev. Adv. Mater. Phys. Chem., 11 (7), 121 (2021). DOI: 10.4236/ampc.2021.117012
W.F.A. Besling, A. Goosens, B. Meesters, J. Schanmann. J. Appl. Phys., 83 (1), 544 (1998)
С.Н. Багаев, Г.Н. Грачев, А.Г. Пономаренко, А.Л. Смирнов. В.Н. Демин, А.В. Окотруб, А.М. Бакланов, А.А. Онищук. В сб. Наука и нанотехнологии (СО РАН, Новосибирск, 2007), с. 123-135
С.Н. Багаев, Г.Н. Грачев, В.Н. Демин, А.Л. Смирнов, П.Ю. Смирнов, Т.П. Смирнова. Патент RU 2 416 673 С2. Опубликован: 20.04.2011. Бюл. N 11
С.В. Валиулин, А.М. Бакланов, С.Н. Дубцов, В.Г. Митроченко, П.П. Моисеенко, А.А. Онищук. ПТЭ, 1, 145 (2019)
S. Dubtsov, T. Ovchinnikova, S. Valiulin, X. Chen, H.E. Manninen, P.P. Aalto, T. Petaja. J. Aerosol Sci., 105, 1 (2017)
A. Zkria, A. Haque, M. Egiza, E. Abubakr, K. Murasawa, T. Yoshitake, J. Narayan. MRS Comunications, 9 (3), 910 (2019). DOI: 10.1557/mrc.2019.88
D.D. Damm, A. Contin, F.C. Barbieri, V.J. Trava-Airoldi, D.M. Barquete, E.J. Corat. Coatings, 7 (9), 141 (2017). DOI: 10.3390/coatings7090141

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель