Вышедшие номера
Синтез массивов наноструктурированных пористых кремниевых стержней в кремнии электронного типа электропроводности с кристаллографической ориентацией (111)
“Development program of ETU “LETI”, Program of strategic academic leadership” Priority-2030, 075-15-2021-1318
Гагарина А.Ю.1, Богословская Л.С.1, Спивак Ю.М.1, Новикова К.Н., Кузнецов А.1, Мошников В.А.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: gagarina.au@gmail.com
Поступила в редакцию: 18 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 30 октября 2022 г.
Принята к печати: 31 октября 2022 г.
Выставление онлайн: 14 января 2023 г.

Предложен метод модифицированного металл-стимулированного электрохимического травления и получены массивы наноструктурированных пористых кремниевых стержней на подложке монокристаллического кремния n-типа с кристаллографической ориентацией (111). Выявлено влияние состава электролита на втором этапе получения на морфологию стержней кремния методами сканирующей электронной микроскопии. Фазовый состав стержней пористого кремния контролировался методами рамановской спектроскопии. Ключевые слова: пористый кремний, кремниевые наноструктурированные стержни, МАСЕ, наноматериалы, спектроскопия комбинационного рассеяния света.