Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Электронная микроскопия микроструктуры тонких пленок сурьмы переменной толщины
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.11.55181.09-22 
РФФИ, Конкурс на лучшие проекты фундаментальных научных исследований, 20-02-00906 А
1Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б.Н. Ельцина, Екатеринбург, Россия 
2Уральский государственный экономический университет, Екатеринбург, Россия
2Уральский государственный экономический университет, Екатеринбург, Россия
Email: yushkov.anton@urfu.ru
Поступила в редакцию: 12 января 2022 г.
В окончательной редакции: 26 июля 2022 г.
Принята к печати: 27 июля 2022 г.
Выставление онлайн: 3 сентября 2022 г.
Напыленные в вакууме тонкие пленки Sb с градиентом толщины исследованы методами просвечивающей электронной микроскопии. Микроструктуры в пленках с увеличением толщины изменялись от аморфных островков увеличивающейся плотности и размеров до лабиринтной и сплошной пленки с текстурированием, также меняющимся с ростом толщины. На основе анализа картин изгибных экстинкционных контуров выявлен сильный внутренний изгиб кристаллической решетки, до 120 deg/μm, а также зависимость кристаллографических ориентировок в структурах пленки от толщины. Ключевые слова: тонкие пленки, сурьма, текстура, изгиб кристаллической решетки.
- M.H.B. Stiddard. J. Mater. Sci. Lett., 4, 1157 (1985)
- K.L. Chaudhary, R. Kumar, A.K. Chopra. Defence Science J., 50 (4), 411 (2000)
- M. Hashimoto, K. Kambe. Thin Solid Films, 94, 185 (1982)
- N. Kaiser. Phys. Stat. Sol. A, 81 (99), 99 (1984)
- M. Hashimoto. Thin Solid Films, 115, 309 (1984)
- M. Hashimoto. Thin Solid Films, 113, 25 (1984)
- H. Muller. Phys. Stat. Sol. A, 66 (199), 199 (1981)
- H. Muller. Phys. Stat. Sol. A, 70 (249), 249 (1982)
- П. Хирш. Электронная микроскопия тонких кристаллов (Мир, М., 1968)
- V.Yu. Kolosov, A.R. Tholen. Acta Mater., 48, 1829 (2000). https://doi.org/10.1016/S1359-6454(99)00471-1
- P. Delavignette, R.W. Vook. Phys. Stat. Sol., 3, 648 (1963)
- I.E. Bolotov, V.Yu. Kolosov. Phys. Stat. Sol. A, 69, 85 (1982)
- В.Ю. Колосов, Л.М. Веретенников. Поверхность, 2, 70 (2000)
- V.Yu. Kolosov, A.R. Tholen. Nanostructured Materials, 9, 323 (1997)
- B.J. Kooi, J.T.M. De Hosson. J. App. Phys., 95, 4714 (2004).
- P. La Fata, F. Torrisi, S. Lombardo, G. Nicotra, R. Puglisi, E. Rimini. J. App. Phys., 105 (8), 123 (2009)
- V. Longo, M.A. Verheijen, F. Roozeboom, W.M.M. Kessels. ECS J. Sol. St. Sci. Tech., 2 (5), 120 (2013)
- A. Alberti, C. Bongiorno, B. Cafra, G. Mannino, E. Rimini, T. Metzger, C. Mocuta, T. Kammler, T. Feudel. Acta Cryst. B, 61, 486 (2005).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
