Исследованы изменения в структуре поверхностных слоев и в пропускании света после распыления пластин лейкосапфира с ориентацией (c-(0001)) в ВЧ разряде 90%H₂-10%N₂. После удаления слоя толщиной около 300 nm (время распыления 12 h)/число царапин, остававшихся после механической полировки, существенно уменьшилось, однако величина среднеквадратичной шероховатости пластины осталась неизменной. Согласно данным просвечивающей электронной микроскопии, в приповерхностной области толщиной 50-60 nm сформировалась двухслойная структура, состоящая из внешнего 10 nm аморфизированного слоя и внутреннего кристаллического слоя толщиной 40-50 nm с высокой плотностью дефектов. Пропускание света в интервале длин волн 400-1000 nm или несколько возрастало, или оставалось низменным. Продемонстрированная стабильность светопропускания пластин c-(0001) при экспозиции в ВЧ разряде в смеси 90%H₂-10%N₂ позволяет считать рассматриваемую методику очистки перспективной для использования в восстановлении светопропускания защитных окон перед первым зеркалом в диагностике томсоновского рассеяния в строящемся токамаке ИТЭР. Ключевые слова: лейкосапфир, высокочастотный разряд, водород, азот, структура поверхностного слоя, пропускание света, просвечивающая электронная микроскопия, атомно-силовая микроскопия.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.