Вышедшие номера
Перспективы применения реактивного ионно-пучкового травления плавленого кварца смесью тетрафторметана и аргона для асферизации поверхности оптических элементов
Михайленко М.С.1, Пестов А.Е.1, Чернышев А.К.1, Перекалов А.А.1, Зорина М.В.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: mikhaylenko@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 26 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 26 апреля 2022 г.
Принята к печати: 26 апреля 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.

Предложено использовать энергию разряда для синтеза химически-активных частиц с целью проведения коррекции формы и асферизации поверхности оптических элементов реактивным ионно-пучковым травлением. Собран стенд на основе радиочастотного источника ускоренных ионов КЛАН-105М, конструкция которого позволила работать с химически активными газами. Показана возможность увеличения скорости травления плавленого кварца более чем в 5 раз по сравнению с ионным травлением инертными газами путем создания смеси тетрафторметана (CF4) и аргона (Ar) в соотношении 1:1, при сохранении исходно гладкой шероховатости поверхности (sigmaeff~0.3 nm) в диапазоне пространственных частот ν[5.0·10-2-6.4·101 μm-1]. Ключевые слова: ионное травление, реактивное ионное травления, шероховатость, поверхность, рентгеновская оптика.
  1. N.I. Chkhalo, A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, G. Zabrodin. Precis Eng., 48, 338-346 (2017). DOI: 10.1016/j.precisioneng.2017.01.004
  2. T. Arnold, G. Bohm, R. Fechner, J. Meister, A. Nickel, F. Frost, T. Hansel, A. Schindler. Nucl. Instrum. Meth. B, 616 (2-3), 147-156 (2010). DOI: 10.1016/j.nima.2009.11.013
  3. M. Weiser. Nucl. Instrum. Meth. B, 267 (8--9), 1390-1393 (2009). DOI: 10.1016/j.nimb.2009.01.051
  4. M.S. Mikhailenko, N.I. Chkhalo, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, M.V. Zorina, S.Yu. Zuev, D.S. Kazakov, A.V. Milkov, I.L. Strulya, V.A. Filichkina, A.S. Kozlov. Appl. Opt., 58, 13 (2019). DOI: 10.1364/AO.58.003652
  5. M.S. Mikhailenko, D.S. Sidorov, N.I. Chkhalo, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov. Nucl. Instrum. Meth. B, 387, 73--76 (2016). DOI: 10.1016/j.nimb.2016.10.007
  6. N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Rev. Sci. Instrum., 86, 016102 (2015). DOI: 10.1063/1.4905336

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.