Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2022, выпуск 8 » Статья стр. 1192
<<<>>>
Оптимизация технологии изготовления дифракционных Si-решеток треугольного профиля для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового излучения
DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52782.74-22
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.08.54564.74-22
Мохов Д.В. 1, Березовская Т.Н.1, Шубина К.Ю. 1, Пирогов Е.В. 1, Нащекин А.В. 2, Шаров В.А. 1,2, Горай Л.И. 1,3
1Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Email: dm_mokhov@rambler.ru, bertana@spbau.ru, rein.raus.2010@gmail.com, zzzavr@gmail.com, nashchekin@mail.ioffe.ru, vl_sharov@mail.ru, lig@pcgrate.com
Поступила в редакцию: 1 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 1 апреля 2022 г.
Принята к печати: 1 апреля 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.
PDF версия
Жидкостным анизотропным травлением вицинальных пластин монокристаллического кремния (111)4o получены высокоэффективные дифракционные решетки с блеском, работающие в мягком рентгеновском и экстремальном ультрафиолетовом излучении. Представлена усовершенствованная экспериментальная технология изготовления Si-решеток треугольного профиля как среднечастотных (250 и 500 mm-1), так и высокочастотной 2500 mm-1. Оптимизированы стадии получения Cr-маски для травления канавок, удаления Si-выступов с целью сглаживания профиля, полирования поверхности для уменьшения наношероховатости. Описан способ получения сглаженного треугольного профиля Si-решетки и полированной поверхности штрихов путем жидкостного травления одновременно в одном процессе. Ключевые слова: дифракционная решетка, жидкостное травление Si, треугольный профиль штрихов, АСМ, РЭМ.
  1. P. Philippe, S. Valette, M. Mendez, D. Maystre. Appl. Opt., 24 (7), 1006 (1985). DOI: 10.1364/AO.24.001006
  2. A.E. Franke, M.L. Schattenburg, E.M. Gullikson, J. Cottam, S.M. Kahn, A. Rasmussen. J. Vac. Sci. Technol. B, 15, 2940 (1997). DOI: 10.1116/1.589759
  3. D.M. Miles, J.A. McCoy, R.L. McEntaffer, C.M. Eichfeld, G. Lavallee, M. Labella, W. Drawl, B. Liu, C.T. DeRoo, T. Steiner. Astrophys. J., 869 (2), 12 (2018). DOI: 10.3847/1538-4357/aaec73
  4. L. Golub, P. Cheimets, E.E. DeLuca, C.A. Madsen, K.K. Reeves, J. Samra, S. Savage, A. Winebarger, A.R. Bruccoleri. J. Space Weather Space Clim., 10, 37 (2020). DOI: 10.1051/swsc/2020040
  5. D.L. Voronov, R. Cambie, E.M. Gullikson, V.V. Yashchuk, H.A. Padmore, Y.P. Pershin, A.G. Ponomarenko, V.V. Kondratenko. Proc. SPIE, 7077, 12 (2008). DOI: 10.1117/12.795377
  6. D.L. Voronov, E.H. Anderson, R. Cambie, F. Salmassi, E.M. Gullikson, V.V. Yashchuk, H.A. Padmore, M. Ahn, C.-H. Chang, R.K. Heilmann, M.L. Schattenburg. Proc. SPIE, 7448, 74480J (2009). DOI: 10.1117/12.82692
  7. Д.В. Мохов, Т.Н. Березовская, Е.В. Пирогов, А.В. Нащекин, В.А. Шаров, Л.И. Горай. Тез. докл. конф. КЭЛТ-2021 (Черноголовка, Россия, 2021), с. 291
  8. U.D. Zeitner, T. Fugel-Paul, T. Harzendorf, M. Heusinger, E.-B. Kley. Spectrometer Gratings Based on Direct-Write e-Beam Lithography [Электронный ресурс] Режим доступа: http://www.brera.inaf.it/DispersingElements2017/slides/Zeitner.pdf, свободный. (дата обращения: 27.04.2022)
  9. Л.И. Горай, Т.Н. Березовская, Д.В. Мохов, В.А. Шаров, К.Ю. Шубина, Е.В. Пирогов, А.С. Дашков. ЖТФ, 91 (10), 1538 (2021). DOI: 10.21883/JTF.2021.10.51368.81-21
  10. M. Ahn, R.K. Heilmann, M.L. Schattenburg. J. Vac. Sci. Technol. B, 26 (6), 2179 (2008). DOI: 10.1364/OE.16.008658
  11. S.-E. Bae, M.-K. Oh, N.-K. Min, S.-H. Paek, S.-I. Hong, Ch.-W.J. Lee. Bull. Korean Chem. Soc., 25 (12), 1822 (2004). DOI: 10.33961/jecst.2020.00920
  12. B. Sheng, X. Xu, Y. Liu, Y. Hong, H. Zhou, T. Huo. S. Fu. Opt. Lett., 34 (8), 1147 (2009). DOI: 10.1364/OL.34.001147
  13. F. Salmassi, P.P. Naulleau, E.M. Gullikson, D.L. Olynick, J.A. Liddle. J. Vac. Sci. Technol. A, 24 (4), 1136 (2006). DOI: 10.1116/1.2212435
  14. D.L. Voronov, M. Ahn, E.H. Anderson, R. Cambie, Ch.-H. Chang, L.I. Goray, E.M. Gullikson, R.K. Heilmann, F. Salmassi, M.L. Schattenburg, T. Warwick, V.V. Yashchuka, H.A. Padmore. Proc. SPIE, 7802, 780207 (2010). DOI: 10.1117/12.861287
  15. L. Goray, M. Lubov. J. Appl. Cryst., 46, 926 (2013). DOI: 10.1107/S0021889813012387
  16. L. Goray, W. Jark, D. Eichert. J. Synchrotron Rad., 25, 1683 (2018). DOI: 10.1107/S1600577518012419

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme