Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Локальное анодное окисление кремния для создания кроссбар-архитектуры

DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52777.105-22

Переводная версия: 10.21883/TP.2022.08.54559.105-22

Полякова В.В.¹, Саенко А.В.¹

¹Южный федеральный университет, Ростов-на-Дону, Россия Southern Federal University, Rostov-on-Don, Russia

Email: vpolyakova@sfedu.ru

Поступила в редакцию: 28 апреля 2022 г.

В окончательной редакции: 28 апреля 2022 г.

Принята к печати: 28 апреля 2022 г.

Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.

PDF версия

Показана возможность формирования нейроматрицы в виде кроссбар-архитектуры на кремниевой подложке. Кроссбар-архитектуру в виде набора перпендикулярно расположенных друг к другу наноразмерных проводников, между которыми находится слой оксида титана, способный менять свою проводимость под действием приложенного напряжения, предложено формировать с использованием метода локального анодного окисления. Представлены результаты исследования технологических параметров метода локального анодного окисления кремния и титана для реализации элементов данной нейроматрицы в виде мемристорной структуры. Ключевые слова: кремний, титан, локальное анодное окисление, нейроматрица, кроссбар.

F.M. Bayat, M. Prezioso, B. Chakrabarti. Experimental Demonstration of Firing Rate Neural Networks Based on Metal-Oxide Memristive Crossbars. In Sh. Yu (editor). Neuro-inspired Computing Using Resistive Synaptic Devices. (Springer International Publishing, 2017), p. 113-134
J. Hasler, H.B. Marr. Front. Neurosci., 7, 118 (2013)
S. George, S. Kim, S. Shah, J. Hasler, M. Collins, F. Adil, R. Wunderlich. S. Nease, S. Ramakrishnan. IEEE Trans. Very Large Scale Integr. (VLSI) Syst., 24 (6), 2253 (2016)
V.I. Avilov, O.A. Ageev, V.A. Smirnov, M.S. Solodovnik, O.G. Tsukanova. Nanotechnologies in Russia, 10 (3-4), 214 (2015)
A.K. Soe, S. Nahavandi, K. Khoshmanesh. Biosens Bioelectron., 35 (1), 1 (2012). DOI: 10.1016/j.bios.2012.02.012
R. Kruger-Sehm, T. Dziomba, G. Dai. XI International Colloquium on Surfaces (ICS) At: Chemnitz, Volume: XI. International Colloquium on Surfaces: Proceedings. Part 2, 31 (2004)
C. Schindler, M. Weides, M.N. Kozicki, R. Waser. Appl. Phys. Lett., 92, 122910 (2008). DOI: 10.1063/1.2903707
N. Clement, D. Tonneau, H. Dallaporta, V. Bouchiat, D. Fraboulet, D. Mariole, J. Gautier, V. Safarov. Physica E: Low-Dimensional Systems and Nanostructures, 13 (2-4), 999 (2002). DOI: 10.1016/S1386-9477(02)00288-6
A.T. Giannitsis, Estonian J. Engineer., 17 (2), 109 (2011). DOI: 10.3176/eng.2011.2.03
A.O. Ageev, B.G. Konoplev, V.V. Polyakov, A.M. Svetlichnyi, V.A. Smirnov. Russ. Microelectron., 36 (6), 353 (2007)
G. Rius, M. Lorenzoni, S. Matsui, M. Tanemura, F. Perez-Murano. Beilstein J. Nanotechnol., 6, 215 (2015)
J.A. Dagata, T. Inoue, J. Itoh, K. Matsumoto, H. Yokoyama. J. Appl. Phys., 84, 6891 (1998)
R. Panajotovic. Cleaning Silicon and Gold-Coated Substrates for SPM Measurements. Institute of Physics, University of Belgrade, Belgrade, Serbia European Network on Applications of Atomic Force Microscopy to NanoMedicine and Life Sciences (AFM4NanoMed\&Bio) 29.11.2013, www.afm4nanomedbio.eu
V.V. Polyakova, V.A. Smirnov, O.A. Ageev. Nanotechnologies in Russia, 13 (1-2), 84 (2018)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель