Вышедшие номера
Новая методика термопластического изгиба стекла для изготовления цилиндрических поверхностей зеркал жесткого рентгеновского диапазона
Российский научный фонд, 21-72-30029
Ахсахалян А.А.1, Ахсахалян А.Д.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: akh@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 11 мая 2022 г.
В окончательной редакции: 11 мая 2022 г.
Принята к печати: 11 мая 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.

Представлена новая методика термопластического изгиба стекла, позволяющая изготавливать цилиндрические поверхности с направляющей в форме параболы, эллипса и т. д., для зеркал жесткого рентгеновского диапазона длин волн (λ~0.1 nm). По этой методике изготовлено три образца поверхности эллиптического цилиндра. Время изготовления каждого образца составило два дня. Отклонение направляющей и ее локального угла от расчетных значений для всех образцов не превышает Delta y=0.5 μm и Deltaα=7·10-5 rad соответственно. Показано, что при травлении таких поверхностей в течение 2 h их точность можно улучшить более чем на два порядка (Delta y=2 nm, Deltaα=5·10-7 rad). Ключевые слова: фокусирующие рентгеновские зеркала, цилиндрические зеркала, многослойные структуры.
  1. M. Schuster, H. Gobel. J. Phys. D: Appl. Phys., 28, 270 (1995)
  2. M. Schuster, H. Gobel. Adv. X-Ray Anal., 39, 57 (1996)
  3. P.F. Fuster. X-Ray Scattering from Semiconductors (Imperial College Press, London, 2000)
  4. Ю.Н. Дроздов, А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, Е.Б. Клюенков, Л.А. Мазо, А.И. Харитонов. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 5, 33 (2005)
  5. А.Д. Ахсахалян, Б.А. Володин, Е.Б. Клюенков, В.А.Муравьев, Н.Н. Салащенко, А.И. Харитонов, Е.А. Шамов. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 1, 112 (2000)
  6. А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, В.А. Муравьев, А.И. Харитонов. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 1, 51 (2002)
  7. А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, Д.Г. Волгунов, С.В. Гапонов, Н.А. Короткова, Л.А. Мазо, В.Л. Миронов, В.А. Муравьев, Н.Н. Салащенко, А.И. Харитонов. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 1, 78 (2003)
  8. А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, Е.Б. Клюенков, В.А. Муравьев, Н.Н. Салащенко, А.И. Харитонов. Известия РАН. Сер. физическая, 69 (2), 174 (2005)
  9. A.A. Akhsakhalyan, A.D. Akhsakhalyan, A.I. Kharitonov, E.B. Kluenkov, V.A. Murav'ev, N.N. Salashchenko. Central Europ. J. Physics. CEJP, 3 (2), 163 (2005)
  10. M.S. Mikhailenko, N.I. Chkhalo, S.A. Churin, M.A. E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Appl. Optics, 55 (6), 1249 (2016), DOI: 10.1364/AO.55.001249
  11. А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, Ю.А. Вайнер, Д.Г. Волгунов, М.В. Зорина, Е.Б. Клюенков, А.И. Каськов, М.И. Кузнецов, И.М. Нефедов, Н.Н. Салащенко, А.И. Харитонов. Известия РАН. Сер. физическая, 76 (2), 196 (2012)
  12. А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, Ю.А. Вайнер, Д.Г. Волгунов, М.В. Зорина, Е.Б. Клюенков, М.И. Кузнецов, Н.Н. Салащенко, А.И. Харитонов. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 6, 28 (2012)
  13. Д.В. Сивухин. Общий курс физики (Наука, М., 1974), т. 1
  14. А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, Д.Г. Волгунов, М.В. Зорина, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 7, 93 (2015)
  15. А.Д. Ахсахалян, И.М. Нефедов. Труды XVIII Междунар. симпозиума Нанофизика и наноэлектроника" (Нижний Новгород, Россия, 2014), с. 289
  16. А.Д. Ахсахалян, Н.Н. Салащенко. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 10, 3 (2019)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.