Вышедшие номера
Новая методика термопластического изгиба стекла для изготовления цилиндрических поверхностей зеркал жесткого рентгеновского диапазона
Российский научный фонд, 21-72-30029
Ахсахалян А.А.1, Ахсахалян А.Д.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: akh@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 11 мая 2022 г.
В окончательной редакции: 11 мая 2022 г.
Принята к печати: 11 мая 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.

Представлена новая методика термопластического изгиба стекла, позволяющая изготавливать цилиндрические поверхности с направляющей в форме параболы, эллипса и т. д., для зеркал жесткого рентгеновского диапазона длин волн (λ~0.1 nm). По этой методике изготовлено три образца поверхности эллиптического цилиндра. Время изготовления каждого образца составило два дня. Отклонение направляющей и ее локального угла от расчетных значений для всех образцов не превышает Delta y=0.5 μm и Deltaα=7·10-5 rad соответственно. Показано, что при травлении таких поверхностей в течение 2 h их точность можно улучшить более чем на два порядка (Delta y=2 nm, Deltaα=5·10-7 rad). Ключевые слова: фокусирующие рентгеновские зеркала, цилиндрические зеркала, многослойные структуры.