Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2022, выпуск 1 » Статья стр. 36
<<<>>>
Абляция кремния в воздухе моно- и бихроматическими импульсами лазерного излучения с длинами волн 355 и 532 nm
DOI: 10.21883/JTF.2022.01.51849.202-21
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.01.52527.202-21
Национальная Академия наук Беларуси, Государственная программа научных исследований Беларуси «Конвергенция – 2025», подпрограмма «Микромир, плазма и Вселенная», проект 2.2.02
Чумаков А.Н. 1, Лычковский В.В. 1, Никончук И.С. 1, Мацукович А.С.1
1Институт физики им. Б.И. Степанова Национальной академии наук Беларуси, Минск, Беларусь
Email: a.@dragon.bas-net.by, a.chumakov@dragon.bas-net.by
Поступила в редакцию: 2 июля 2021 г.
В окончательной редакции: 3 сентября 2021 г.
Принята к печати: 8 сентября 2021 г.
Выставление онлайн: 31 октября 2021 г.
PDF версия
Методами оптической и электронной сканирующей микроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния, профилометрии лазерных кратеров, а также видеорегистрации свечения плазменного факела во времени исследована абляция пластин кремния в воздухе при воздействии одиночных и сдвоенных наносекундных импульсов лазерного излучения с длинами волн 355 и 532 nm. Установлена зависимость удельного выноса материала мишени от плотности мощности лазерного излучения и временного интервала между сдвоенными импульсами бихроматического лазерного излучения. Выявлено откольное разрушение кремния в широком диапазоне параметров облучения, и определены характеристики абляционных и откольных кратеров при бихроматическом лазерном воздействии. Ключевые слова: наносекундная лазерная абляция, удельный вынос массы, модификация поверхности, динамика лазерной плазмы, образование кратера, откол.
  1. С.И. Анисимов, Я.А. Имас, Г.С. Романов, Ю.В. Ходыко. Действие излучения большой мощности на металлы (Наука, М., 1970)
  2. Дж. Рэди. Действие мощного лазерного излучения (Мир, М., 1974)
  3. У. Дьюли. Лазерная технология и анализ материалов (Мир, М., 1986)
  4. М.Н. Либенсон, Е.Б. Яковлев, Г.Д. Шандыбина. Взаимодействие лазерного излучения с веществом (силовая оптика). Часть II. Лазерный нагрев и разрушение материалов (НИУ ИТМО, СПб, 2014)
  5. H.C. Liu, X.L. Mao, J.H. Yoo, R.E. Russo. Spectrochim. Acta, Part B, 54 (11), 1607 (1999). DOI: 10.1016/S0584-8547(99)00092-0
  6. J.H. Yoo, S.H. Jeong, R. Greif, R.E. Russo. J. Appl. Phys., 88 (3), 1638 (2000). DOI: 10.1063/1.373865
  7. M. Panzner, J. Kasper, H. Wust, U. Klotzbach, E. Beyer. Proc. SPIE, 4637, 496 (2002). DOI: 10.1117/12.470659
  8. H. Pantsar, H. Herfurth, S. Heinemann, P. Laakso, R. Penttila, Y. Liu, G. Newaz. In:  27th International Congress on Applications of Lasers \& Electro-Optics (Temecula California, ALIA, 2008), р. 278. DOI: 10.2351/1.5061387
  9. Л.Я. Минько, А.Н. Чумаков, Н.А. Босак. Квант. электрон., 17 (11), 1480 (1990). DOI: 10.1070/QE1990v020n11ABEH007540
  10. J. Bonse, S. Baudach, J. Kruger, W. Kautek, M. Lenzner. Appl. Phys. A, 74, 19 (2002). DOI: 10.1007/s003390100893
  11. J.M. Bovatsek, R.S. Patel. Proc. SPIE, 7585, 75850K (2010). DOI: 10.1117/12.845298
  12. G. Galasso, M. Kaltenbacher, A. Tomaselli, D. Scarpa. J. Appl. Phys., 117 (12), 123101 (2015). DOI: 10.1063/1.4915118
  13. В.С. Кондратенко. Способ резки хрупких материалов : патент РФ N 2024441, МКИ5 СО3 В 33/02. 1991
  14. T. Monodane, E. Ohmura, F. Fukuyo, K. Fukumitsu, H. Morita, Y. Hirata. JLMN, 1 (3), 231 (2006). DOI: 10.2961/jlmn.2006.03.0016
  15. В.С. Кондратенко, А.С. Наумов. Вестник МГТУ МИРЭА, 2 (3(8)), 1 (2015)
  16. A.N. Chumakov, N.A. Bosak, P.I. Verenich. High Temp. Mater. Processes, 18 (4), 269 (2014). DOI: 10.1615/HighTempMatProc.2015015608
  17. А.Н. Чумаков, Н.А. Босак, А.В. Панина. ЖПС, 84 (4), 595 (2017). [A.N. Chumakov, N.A. Bosak, A.V. Panina. J. Appl. Spectr., 84, 620 (2017). DOI: 10.1007/s10812-017-0519-y]
  18. I.S. Nikonchuk, A.N. Chumakov. J. Phys.: Conf. Ser., 666, 012021 (2016). DOI: 10.1088/1742-6596/666/1/012021
  19. P.G. Spizzirri, J.H. Fang, S. Rubanov, E. Gauja, S. arXiv:1002.2692 [cond-mat.mtrl-sci] (Cornell University, NY.)
  20. T.P. Nguyen, S. Lefrant. Solid St. Commun., 57 (4), 235 (1986). DOI: 10.1016/0038-1098(86)90146-8
  21. В.С. Левицкий, канд. дисс. (СПб, СПб гос. электротех. ун-ет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), 2016)
  22. В.В. Лычковский, А.Н. Чумаков. В сб: Международная школа-конференция "Современные проблемы физики", под ред. И.С. Никончук, М.С. Усаченка (Ин-т физики НАН Беларуси, Минск, 2020), с. 37-38
  23. Я.Б. Зельдович, Ю.П. Райзер. Физика ударных волн и высокотемпературных гидродинамических явлений (Наука, М., 1966)
  24. С.А. Абросимов, А.П. Бажулин, В.В. Воронов, А.А. Гераськин, И.К. Красюк, П.П. Пашинин, А.Ю. Семенов, И.А. Стучебрюхов, К.В. Хищенко, В.Е. Фортов. Квант. электрон., 43 (3), 246 (2013). [S.A. Abrosimov, A.P. Bazhulin, V.V. Voronov, A.A. Geras'kin, I.K. Krasyuk, P.P. Pashinin, A.Yu. Semenov, I.A. Stuchebryukhov, K.V. Khishchenko, V.E. Fortov. Quant. Electron.,  43 (3), 246 (2013). DOI: 10.1070/QE2013v043n03ABEH015106]
  25. J. Ren, S.S. Orlov, L. Hesselink. J. Appl. Phys., 97, 104304 (2005). DOI: 10.1063/1.1896095

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme