Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Применение нанопорошков окиси церия для полировки кремния

DOI: 10.21883/JTF.2021.10.51375.95-21

Переводная версия: 10.21883/TP.2022.13.52236.95-21

Чхало Н.И.¹, Ахсахалян А.А.¹, Вайнер Ю.А.¹, Зорина М.В.¹, Пестов А.Е.¹, Свечников М.В.¹, Торопов М.Н.¹, Kumar N.¹, Токунов Ю.М.²

¹Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod, Russia

²МФТИ, Долгопрудный, Московская обл., Россия MIPT, Dolgoprudny, Moscow , Russia

Email: chkhalo@ipm.sci-nnov.ru

Поступила в редакцию: 2 апреля 2021 г.

В окончательной редакции: 2 апреля 2021 г.

Принята к печати: 2 апреля 2021 г.

Выставление онлайн: 27 июня 2021 г.

PDF версия

Описаны методы исследований и первые результаты, полученные при изучении шероховатости подложек из монокристаллического кремния (111), обработанных на финальной стадии различными способами: традиционная полировка без использования химико-механической полировки (ХМП), с использованием ХМП и без ХМП, но с применением нанопорошков окиси церия. Продемонстрирована эффективность использования нанопорошков CeO₂. Были получены следующие значения эффективной шероховатости: без ХМП - 3.56 nm, с ХМП - 0.54 nm и без ХМП, но с полировкой CeO₂ - 0.93 nm. Ключевые слова: поверхность, шероховатость, рентгеновская оптика, глубокая шлифовка-полировка.

S.V. Rashchenko, M.A. Skamarokha, G.N. Baranov, Y.V. Zubavichus, Ia.V. Rakshun. AIP Conf. Proceed., 2299, 060001 (2020). DOI: org/10.1063/5.0030346
G. Admans, P. Berkvens, A. Kaprolat, J.-L. Revol. ESRF upgrade programme phase II (2015-2022). Technical design study. (Imprimerie de Pont de Claix ESRF, 2014) p. 192. 8.59 http://www.esrf.eu/Apache\_files/Upgrade/ESRF-orange-book.pdf.
Электронный ресурс. Режим доступа: https://www.maxiv.lu.se/about-us/
A. Erko, M. Idir, Th. Krist, A.G. Michette. Modern Developments in X-ray and Neutron Optics (Springer Berlin Heidelberg, N Y., 2008), p. 533. ISBN 978-3-540-74560-0
Ch. Morawe, R. Barrett, K. Friedrich, R. Klunder, A. Vivo. J. Phys.: Conf. Series, 425, 052027 (2013). DOI: 10.1088/1742-6596/425/5/052027
S.S. Andreev, M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, E.B. Kluenkov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina, F. Schafers, L.A. Shmaenok. J. Synchrotron Radiation, 10 (5), 358 (2003). DOI: 10.1107/S0909049503015255
P.Z. Takacs. Synchrotron Radiation News, 2 (26), 24 (1989)
Н.И. Чхало, М.В. Зорина, И.В. Малышев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Д.С. Казаков, А.В. Мильков, И.Л. Струля. ЖТФ, 89 (11), 1686 (2019). DOI: 10.21883/JTF.2019.11.48329.134-19
H. Thiess, H. Lasser, F.Siewert. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A, 616, 157 (2010). DOI: 10.1016/j.nima.2009.10.077
K.N. Khatri, R. Sharma, V. Mishra, H. Garg, V. Karar. Advan. Mater. Proceed., 2 (7), 425 (2017). DOI: 10.5185/amp.2017/704
L.N. Abdulkadir, K. Abou-El-Hossein, A.I. Jumare, P.B. Odedeyi, M.M. Liman, T.A. Ola niyan. Int. J. Adv. Manuf. Technol., 96, 173 (2018). DOI: 10.1007/s00170-017-1529-x
T. Arnold, G. Bohm, R. Fechner, J. Meister, A. Nickel, F. Frost, T. Hansel, A. Schindler. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., A 616, 147 (2010). DOI: 10.1016/J.NIMA.2009.11.013
М.А. Окатов, Э.А. Антонов, А. Байгожин, М.И. Бакаев, И.В. Белова, И.Я. Бубис, В.А. Вейденбах, Н.М. Воронцова, С.В. Данилов, Н.Ю. Дудкина, И.И. Духопел, С.М. Кузнецов, 3.А. Куклева, Г.В. Листратова, Б.И. Лодыгин, Ю.К. Лысяный, С.В. Любарский, А.В. Михайлов, В.Я. Назарова, Е.И. Понфиленок, Б.И. Петров, Г.Т. Петровский, В.П. Повещенко, Г.Д. Придатко, С.М. Прохорчик, В.Н. Савушкин, Р.С. Соколова, Н.В. Суйковская, Л.В. Тарновская, И.Д. Торбин, Л.А. Черезова, Б.А. Чунин, А.В. Шатилов, Э.И. Шепурев, 3.В. Широкшина, В.X. Ягмуров. Справочник технолога-оптика, под ред. М.А. Окатова. (Политехника, СПб, 2004), с. 679
U. Dinger, F. Eisert, H. Lasser, M. Mayer, A. Seifert, G. Seitz, S. Stacklies, F.-J. Stickel, M. Weiser. Proceed. SPIE, 4146, 35 (2000). DOI: 10.1117/12.406674
K. Yamauchi, H. Memura, K. Inagaki, Y. Mori. Rev. Sci. Instrum., 73 (11), 4028 (2002). DOI: 10.1063/1.1510573
Электронный ресурс. Режим доступа: https://www.j-tec.co.jp/english/optical/
В.А. Смирнов. Обработка оптического стекла (Машиностроение, Л., 1980), с. 183
N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, I.G. Zabrodin. Precision Engineer., 48, 338 (2017). DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2017.01.004
M.N. Brychikhin, N.I. Chkhalo, Ya.O. Eikhorn, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, Yu.A. Plastinin, V.N. Polkovnikov, A.A. Rizvanov, N.N. Salashchenko, I.L. Strulya, M.N. Toropov. Appl. Optics, 55 (16), 4430 (2016). DOI: 10.1364/AO.55.004430
N.I. Chkhalo, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, S.N. Vdovichev, I.L. Strulya, Yu.A. Plastinin, A.A. Rizvanov. J. Astronom.Telescop., Instrum., Systems, 4 (1), 014003-1-014003-9 (2018). DOI: 10.1117/1.JATIS.4.1.014003
N.I. Chkhalo, S.A. Churin, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer, M.V. Zorina. Opt. Express, 22 (17), 20094 (2014). DOI: 10.1364/OE.22.020094
N.I. Chkhalo, S.A. Churin, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Appl. Optics, 55 (6), 1249 (2016). DOI: 10.1364/AO.55.001249
М.Н. Торопов, А.А. Ахсахалян, М.В. Зорина, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, Ю.М. Токунов. ЖТФ, 90 (11), 1958 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49990.127-20
M.M. Barysheva, Yu.A. Vainer, B.A. Gribkov, M.V. Zorina, A.E. Pestov, D.N. Rogachev, N.N. Salashenko, N.I. Chkhalo. Bull. Russ. Academy Sci.: Physics, 75 (1), 67 (2011). DOI: 10.3103/S1062873811010059
R. Blunt. Proceedings of CEMANTECH Conference (Vancouver, Canada, April 24-27, 2006), p. 59-62
D. Martinez-Galarce, R. Soufli, D.L. Windt, M. Bruner, E. Gullikson, Sh. Khatri, E. Spiller, J.C. Robinson, Sh. Baker, E. Prast. Opt. Engineer., 52 (9), 095102-1-14 (2013). DOI: 10.1117/1.OE.52.9.095102
I.V. Kozhevnikov, M.V. Pyatakhin. J. X-ray Sci. Technol., 8 (4), 253 (1998)
V.E. Asadchikov, I.V. Kozhevnikov, Yu.S. Krivonosov, R. Mercier, T.H. Metzger, C. Morawe, E. Ziegler. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A, 530, 575 (2004). DOI: 10.1016/J.NIMA.2004.04.216
M.M. Barysheva, N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer, P.A. Yunin, M.V. Zorina. J. X-Ray Sci. Technol., 27 (5), 857 (2019). DOI: 10.3233/XST-190495
J.E. Griffith, D.A. Grigg. J. Appl. Phys., 74 (9), 83 (1993). DOI: 10.1063/1.354175
N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Rev. Sci. Instrum., 86, 016102 (2015). https://doi.org/10.1063/1.4905336
M. Svechnikov. J. Appl. Crystall., 53 (1), 244 (2020). DOI: 10.1107/s160057671901584x
A.R. Belure, A.K. Biswas, D. Raghunathan, Rishipal, S. Bhartiya, R. Singh, S.K. Rai, R.S. Pawade, M.P. Kamath, N.S. Benerji., Mater. Today: Proceed., 26, 2260 (2020). DOI: 10.1016/j.matpr.2020.02.490
A.V. Andreev. Phys. Lett. A, 219 (5-6), 349 (1996). DOI: 10.1016/0375-9601(96)00469-0
L.I. Goray. J. Appl. Phys., 108 (3), 033516 (2010). DOI: 10.1063/1.3467937
L. Goray. J. Synchrotron Radiat., 28 (1), 196 (2021). DOI: 10.1107/S160057752001440X

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель