Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2021, выпуск 10 » Статья стр. 1588
<<<
Применение нанопорошков окиси церия для полировки кремния
DOI: 10.21883/JTF.2021.10.51375.95-21
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.13.52236.95-21
Чхало Н.И.1, Ахсахалян А.А.1, Вайнер Ю.А.1, Зорина М.В.1, Пестов А.Е.1, Свечников М.В.1, Торопов М.Н.1, Kumar N.1, Токунов Ю.М.2
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2МФТИ, Долгопрудный, Московская обл., Россия
Email: chkhalo@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 2 апреля 2021 г.
В окончательной редакции: 2 апреля 2021 г.
Принята к печати: 2 апреля 2021 г.
Выставление онлайн: 27 июня 2021 г.
PDF версия
Описаны методы исследований и первые результаты, полученные при изучении шероховатости подложек из монокристаллического кремния (111), обработанных на финальной стадии различными способами: традиционная полировка без использования химико-механической полировки (ХМП), с использованием ХМП и без ХМП, но с применением нанопорошков окиси церия. Продемонстрирована эффективность использования нанопорошков CeO2. Были получены следующие значения эффективной шероховатости: без ХМП - 3.56 nm, с ХМП - 0.54 nm и без ХМП, но с полировкой CeO2 - 0.93 nm. Ключевые слова: поверхность, шероховатость, рентгеновская оптика, глубокая шлифовка-полировка.
  1. S.V. Rashchenko, M.A. Skamarokha, G.N. Baranov, Y.V. Zubavichus, Ia.V. Rakshun. AIP Conf. Proceed., 2299, 060001 (2020). DOI: org/10.1063/5.0030346
  2. G. Admans, P. Berkvens, A. Kaprolat, J.-L. Revol. ESRF upgrade programme phase II (2015-2022). Technical design study. (Imprimerie de Pont de Claix ESRF, 2014) p. 192. 8.59 http://www.esrf.eu/Apache\_files/Upgrade/ESRF-orange-book.pdf.
  3. Электронный ресурс. Режим доступа: https://www.maxiv.lu.se/about-us/
  4. A. Erko, M. Idir, Th. Krist, A.G. Michette. Modern Developments in X-ray and Neutron Optics (Springer Berlin Heidelberg, N Y., 2008), p. 533. ISBN 978-3-540-74560-0
  5. Ch. Morawe, R. Barrett, K. Friedrich, R. Klunder, A. Vivo. J. Phys.: Conf. Series, 425, 052027 (2013). DOI: 10.1088/1742-6596/425/5/052027
  6. S.S. Andreev, M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, E.B. Kluenkov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina, F. Schafers, L.A. Shmaenok. J. Synchrotron Radiation, 10 (5), 358 (2003). DOI: 10.1107/S0909049503015255
  7. P.Z. Takacs. Synchrotron Radiation News, 2 (26), 24 (1989)
  8. Н.И. Чхало, М.В. Зорина, И.В. Малышев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Д.С. Казаков, А.В. Мильков, И.Л. Струля. ЖТФ, 89 (11), 1686 (2019). DOI: 10.21883/JTF.2019.11.48329.134-19
  9. H. Thiess, H. Lasser, F.Siewert. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A, 616, 157 (2010). DOI: 10.1016/j.nima.2009.10.077
  10. K.N. Khatri, R. Sharma, V. Mishra, H. Garg, V. Karar. Advan. Mater. Proceed., 2 (7), 425 (2017). DOI: 10.5185/amp.2017/704
  11. L.N. Abdulkadir, K. Abou-El-Hossein, A.I. Jumare, P.B. Odedeyi, M.M. Liman, T.A. Ola niyan. Int. J. Adv. Manuf. Technol., 96, 173 (2018). DOI: 10.1007/s00170-017-1529-x
  12. T. Arnold, G. Bohm, R. Fechner, J. Meister, A. Nickel, F. Frost, T. Hansel, A. Schindler. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., A 616, 147 (2010). DOI: 10.1016/J.NIMA.2009.11.013
  13. М.А. Окатов, Э.А. Антонов, А. Байгожин, М.И. Бакаев, И.В. Белова, И.Я. Бубис, В.А. Вейденбах, Н.М. Воронцова, С.В. Данилов, Н.Ю. Дудкина, И.И. Духопел, С.М. Кузнецов, 3.А. Куклева, Г.В. Листратова, Б.И. Лодыгин, Ю.К. Лысяный, С.В. Любарский, А.В. Михайлов, В.Я. Назарова, Е.И. Понфиленок, Б.И. Петров, Г.Т. Петровский, В.П. Повещенко, Г.Д. Придатко, С.М. Прохорчик, В.Н. Савушкин, Р.С. Соколова, Н.В. Суйковская, Л.В. Тарновская, И.Д. Торбин, Л.А. Черезова, Б.А. Чунин, А.В. Шатилов, Э.И. Шепурев, 3.В. Широкшина, В.X. Ягмуров. Справочник технолога-оптика, под ред. М.А. Окатова. (Политехника, СПб, 2004), с. 679
  14. U. Dinger, F. Eisert, H. Lasser, M. Mayer, A. Seifert, G. Seitz, S. Stacklies, F.-J. Stickel, M. Weiser. Proceed. SPIE, 4146, 35 (2000). DOI: 10.1117/12.406674
  15. K. Yamauchi, H. Memura, K. Inagaki, Y. Mori. Rev. Sci. Instrum., 73 (11), 4028 (2002). DOI: 10.1063/1.1510573
  16. Электронный ресурс. Режим доступа: https://www.j-tec.co.jp/english/optical/
  17. В.А. Смирнов. Обработка оптического стекла (Машиностроение, Л., 1980), с. 183
  18. N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, I.G. Zabrodin. Precision Engineer., 48, 338 (2017). DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2017.01.004
  19. M.N. Brychikhin, N.I. Chkhalo, Ya.O. Eikhorn, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, Yu.A. Plastinin, V.N. Polkovnikov, A.A. Rizvanov, N.N. Salashchenko, I.L. Strulya, M.N. Toropov. Appl. Optics, 55 (16), 4430 (2016). DOI: 10.1364/AO.55.004430
  20. N.I. Chkhalo, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, S.N. Vdovichev, I.L. Strulya, Yu.A. Plastinin, A.A. Rizvanov. J. Astronom.Telescop., Instrum., Systems, 4 (1), 014003-1-014003-9 (2018). DOI: 10.1117/1.JATIS.4.1.014003
  21. N.I. Chkhalo, S.A. Churin, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer, M.V. Zorina. Opt. Express, 22 (17), 20094 (2014). DOI: 10.1364/OE.22.020094
  22. N.I. Chkhalo, S.A. Churin, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Appl. Optics, 55 (6), 1249 (2016). DOI: 10.1364/AO.55.001249
  23. М.Н. Торопов, А.А. Ахсахалян, М.В. Зорина, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, Ю.М. Токунов. ЖТФ, 90 (11), 1958 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49990.127-20
  24. M.M. Barysheva, Yu.A. Vainer, B.A. Gribkov, M.V. Zorina, A.E. Pestov, D.N. Rogachev, N.N. Salashenko, N.I. Chkhalo. Bull. Russ. Academy Sci.: Physics, 75 (1), 67 (2011). DOI: 10.3103/S1062873811010059
  25. R. Blunt. Proceedings of CEMANTECH Conference (Vancouver, Canada, April 24-27, 2006), p. 59-62
  26. D. Martinez-Galarce, R. Soufli, D.L. Windt, M. Bruner, E. Gullikson, Sh. Khatri, E. Spiller, J.C. Robinson, Sh. Baker, E. Prast. Opt. Engineer., 52 (9), 095102-1-14 (2013). DOI: 10.1117/1.OE.52.9.095102
  27. I.V. Kozhevnikov, M.V. Pyatakhin. J. X-ray Sci. Technol., 8 (4), 253 (1998)
  28. V.E. Asadchikov, I.V. Kozhevnikov, Yu.S. Krivonosov, R. Mercier, T.H. Metzger, C. Morawe, E. Ziegler. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A, 530, 575 (2004). DOI: 10.1016/J.NIMA.2004.04.216
  29. M.M. Barysheva, N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, M.S. Mikhailenko, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer, P.A. Yunin, M.V. Zorina. J. X-Ray Sci. Technol., 27 (5), 857 (2019). DOI: 10.3233/XST-190495
  30. J.E. Griffith, D.A. Grigg. J. Appl. Phys., 74 (9), 83 (1993). DOI: 10.1063/1.354175
  31. N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko, M.V. Zorina. Rev. Sci. Instrum., 86, 016102 (2015). https://doi.org/10.1063/1.4905336
  32. M. Svechnikov. J. Appl. Crystall., 53 (1), 244 (2020). DOI: 10.1107/s160057671901584x
  33. A.R. Belure, A.K. Biswas, D. Raghunathan, Rishipal, S. Bhartiya, R. Singh, S.K. Rai, R.S. Pawade, M.P. Kamath, N.S. Benerji., Mater. Today: Proceed., 26, 2260 (2020). DOI: 10.1016/j.matpr.2020.02.490
  34. A.V. Andreev. Phys. Lett. A, 219 (5-6), 349 (1996). DOI: 10.1016/0375-9601(96)00469-0
  35. L.I. Goray. J. Appl. Phys., 108 (3), 033516 (2010). DOI: 10.1063/1.3467937
  36. L. Goray. J. Synchrotron Radiat., 28 (1), 196 (2021). DOI: 10.1107/S160057752001440X

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme