Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Создание функциональных наноструктур под действием ионного облучения
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.13.52228.138-21 
Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт», ВНИР, приказ № 1055 от 02.07.2020
Приходько К.Е.
1,2, Дементьева М.М.
1
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия 
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: prihodko_ke@nrcki.ru, dementyeva_mm@nrcki.ru
Поступила в редакцию: 8 мая 2021 г.
В окончательной редакции: 8 мая 2021 г.
Принята к печати: 8 мая 2021 г.
Выставление онлайн: 27 июня 2021 г.
Описан разработанный в НИЦ "Курчатовский институт" метод создания различных функциональных наноструктур с использованием ионного облучения широким пучком. В качестве примера продемонстрировано формирование интегрированного сопротивления в нанопроводе, изготовленном из низкотемпературного сверхпроводника NbN. Показана возможность изготовления при комнатной температуре изолирующего слоя оксида алюминия толщиной 15 nm на поверхности алюминия путем его облучения ионами кислорода с энергией 0.2 keV. Ключевые слова: ионное облучение, тонкие сверхпроводящие пленки NbN, интегрированные криогенные резисторы, создание изолирующих слоев под облучением.
- Б.А. Гурович, К.Е. Приходько. УФН, 179 (2), 179 (2009). DOI: 10.3367/UFNr.0179.200902d.0179 [B.A. Gurovich, K.E. Prikhod'ko. Physics-Uspekhi, 52 (2), 165 (2009). DOI: 10.3367/UFNe.0179.200902d.0179]
- Б.А. Гурович, К.Е. Приходько, Е.А. Кулешова, К.И. Маслаков, Д.А. Комаров. ЖЭТФ, 143 (6), 1062 (2013). DOI: 10.7868/S0044451013060062
- B.A. Gurovich, K.E. Prikhodko, E.A. Kuleshova, A.Yu. Yakubovsky, E.Z. Meilikhov, M.G. Mosthenko. J. Magn. Magn. Mater., 322 (20), 3060 (2010). DOI: 10.1016/j.jmmm.2010.05.029
- B.A. Gurovich, K.E. Prikhodko, M.A. Tarkhov, A.G. Domantovsky, D.A. Komarov, B.V. Goncharov, E.A. Kuleshova. Micro Nanosyst., 7 (3), 172 (2015). DOI: 10.2174/1876402908666151228233002
- Б.А. Гурович, К.Е. Приходько, М.А. Тархов, Е.А. Кулешова, Д.А. Комаров, В.Л. Столяров, Е.Д. Ольшанский, Б.В. Гончаров, Д.А. Гончарова, Л.В. Кутузов, А.Г. Домантовский, З.В. Лаврухина, М.М. Дементьева. Российские нанотехнологии, 10 (5-6), 25 (2015). [B.A. Gurovich, K.E. Prikhod'ko, M.A. Tarkhov, E.A. Kuleshova, D.A. Komarov, V.L. Stolyarov, E.D. Ol'shansky, B.V. Goncharov, D.A. Goncharova, L.V. Kutuzov, A.G. Domantovskii, Z.V. Lavrukhina, M.M. Dement'eva. Nanotechnologies in Russia, 10 (7-8), 530 (2015). DOI: 10.1134/S1995078015040072]
- Б.А. Гурович, К.Е. Приходько, А.Н. Талденков, А.Г. Домантовский, Д.А. Комаров, Л.В. Кутузов. Российские нанотехнологии, 7 (1-2), 41 (2012). [B.A. Gurovich, K.E. Prikhod'ko, A.N. Taldenkov, A.G. Domantovskii, D.A. Komarov. Nanotechnologies in Russia, 7 (1-2), 28 (2012). DOI: 10.1134/S1995078012010089]
- Б.А. Гурович, К.Е. Приходько, Л.В. Кутузов, Б.В. Гончаров. ФТТ, 62 (9), 1420 (2020). DOI: 10.21883/ftt.2020.09.49764.23h [B.A. Gurovich, K.E. Prikhod'ko, L.V. Kutuzov, B.V. Goncharov. Phys. Solid State, 62, 1585 (2020). DOI: 10.1134/S1063783420090103]
- Б.А. Гурович, М.А. Тархов, К.Е. Приходько, Е.А. Кулешова, Д.А. Комаров, В.Л. Столяров, Е.Д. Ольшанский, Б.В. Гончаров, Д.А. Гончаров, Л.В. Кутузов, А.Г. Домантовский. Российские нанотехнологии, 9 (7-8), 36 (2014). [B.A. Gurovich, M.A. Tarkhov, K.E. Prikhod'ko, E.A. Kuleshova, D.A. Komarov, V.L. Stolyarov, E.D. Ol'shansky, B.V. Goncharov, D.A. Goncharova, L.V. Kutuzov, A.G. Domantovskii. Nanotechnologies in Russia, 9 (7-8), 386 (2014). DOI: 10.1134/S1995078014040077]
- Д.И. Долгий, Е.Д. Ольшанский, Е.П. Рязанцев. Конверсия в машиностроении, 3-4, 119 (1999)
- K.E. Prikhodko, B.A. Gurovich, M.М. Dement'eva. IOP Conf. Ser. Mater. Sci. Eng., 130 (1), 012058 (2016). DOI: 10.1088/1757-899X/130/1/012058
- М.М. Дементьева, К.Е. Приходько, Б.А. Гурович, Л.В. Кутузов, Д.А. Комаров. ФТТ, 58 (11), 2104 (2016). DOI: 10.21883/ftt.2016.11.43720.5k. [M.M. Dement'eva, K.E. Prikhod'ko, B.A. Gurovich, L.V. Kutuzov, D.A. Komarov. Physics Solid State, 58 (11), 2177 (2016). DOI: 10.1134/S1063783416110068]
- М.М. Филяк, О.Н. Каныгина. Вестник ОГУ, 9 (158), 240 (2013)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
