Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2021, выпуск 10 » Статья стр. 1517
<<<>>>
Влияние параметров метода PECVD на рост углеродных нанотрубок для устройств нанопьезотроники
DOI: 10.21883/JTF.2021.10.51365.96-21
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), Стабильность, 20-37-70034
Российский научный фонд, «Проведение инициативных исследований молодыми учеными» Президентской программы исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными, 20-79-00284
Рудык Н.Н. 1, Ильин О.И. 1, Ильина М.В. 1, Хубежов С.А. 2, Федотов А.А. 1, Агеев О.А. 1,3
1Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения, Таганрог, Россия
2Северо-Осетинский государственный университет им. К.Л. Хетагурова, Владикавказ, Россия
3Южный федеральный университет, НОЦ "Нанотехнологии", Таганрог, Россия
Email: nnrudyk@sfedu.ru, oiilin@sfedu.ru, mailina@sfedu.ru, soslan.khubezhov@gmail.com, aafedotov@sfedu.ru, ageev@sfedu.ru
Поступила в редакцию: 2 апреля 2021 г.
В окончательной редакции: 2 апреля 2021 г.
Принята к печати: 2 апреля 2021 г.
Выставление онлайн: 27 июня 2021 г.
PDF версия
Представлены результаты экспериментальных исследований влияния температуры роста и толщины каталитического слоя на геометрические и структурные параметры углеродных нанотрубок (УНТ). Показано, что применение подслоя на основе TiN позволяет обеспечить низкое удельное сопротивление при непосредственном выращивании УНТ на проводящем контакте. Установлено, что для формирования лучшего пьезоэлектрического отклика необходимо формировать наиболее дефектные УНТ. Показано, что степенью дефектности УНТ возможно контролируемо управлять в процессе их выращивания. Установлена связь между геометрическими и структурными параметрами УНТ, влияющими на пьезоэлектрический отклик. Показана потенциальная применимость УНТ для создания на их основе устройств нанопьезотроники (наногенераторов, нанохарвестеров энергии). Ключевые слова: углеродные нанотрубки, PECVD, нанопьезотроника, пьезоэлектрический отклик, рамановская спектроскопия.
  1. S. Iijima. Nature, 354, 56 (1991)
  2. L. Yang, I. Greenfeld, H.D. Wagner. Sci. Adv., 2 (2), e1500969 (2016). DOI: 10.1126/sciadv.1500969
  3. M. Ahmad, S.R.P. Silva. Carbon, 158, 24 (2020). DOI: 10.1016/j.carbon.2019.11.061
  4. K.E. Moore, D.D. Tune, B.S. Flavel. Adv. Mater., 27, 3105 (2015). DOI: 10.1002/adma.201405686
  5. R. Tang, Y. Shi, Z. Hou, L. Wei. Sensors, 17, 882 (2017). DOI: 10.3390/s17040882
  6. C. Biswas, Y.H. Lee. Adv. Function. Mater., 21, 3806 (2011). DOI: 10.1002/adfm.201101241
  7. J.-C. Charlier, J.-P. Issi. Appl. Phys. A, 67, 79 (1998)
  8. K. Jiang. Micro and Nano Technologies, 2017. DOI: 10.1016/B978-0-323-41481-4.00004-6
  9. X. Liang, J. Xia, G. Dong, B. Tian, L. Peng. Topics in Current Chem., 374, 80 (2016). DOI: 10.1007/s41061-016-0083-6
  10. R.J. Parmee, C.M. Collins, W.I. Milne, M.T. Cole. Nano Convergence, 1, 34 (2014). DOI: 10.1186/s40580-014-0034-2
  11. M.M. Shulaker, G. Hills, R.S. Park, R.T. Howe, K. Saraswat, H.-S.P. Wong, S. Mitra. Nature, 547, 74 (2017). DOI: 10.1038/nature22994
  12. G.J. Brady, A.J. Way, N.S. Safron, H.T. Evensen, P. Gopalan, M.S. Arnold. Sci. Adv., 2 (9), e1601240 (2016). DOI: 10.1126/sciadv.1601240
  13. M.V. Ilina, Yu.F. Blinov, O.I. Il'in, N.N. Rudyk, O.A. Ageev. IOP Conference Series: Mater. Sci. Eng., 256 (1), 012024 (2017). DOI: 10.1088/1757-899X/256/1/012024
  14. D. Hu, M. Yao, Y. Fan, C. Ma, M. Fan, M. Liu. Nano Energy, 55, 288 (2019). 10.1016/j.nanoen.2018.10.053
  15. S.I. Kundalwal, S.A. Meguid, G.J. Weng. Carbon, 117, 462 (2017). DOI: 10.1016/j.carbon.2017.03.013
  16. M.V. Il'ina, O.I. Il'in, Y.F. Blinov, A.A. Konshin, B.G. Konoplev, O.A. Ageev. Mater., 11 (4), 638 (2018). DOI: 10.3390/ma12010165
  17. Нанотехнологии в микроэлектронике, под ред. О.А. Агеева, Б.Г. Коноплева (Наука, М., 2019) ISBN: 978-5-02-040201-0
  18. Z.L. Wang. Adv. Mater., 19 (6), 889 (2007). DOI: 10.1002/adma.200602918
  19. Z.L. Wang. Nano Today. Elsevier Ltd, 5 (6), 540 (2010). DOI: 10.1016/j.nantod.2010.10.008
  20. Z.L. Wang. Adv. Mater., 24 (34), 4632 (2012). DOI: 10.1002/adma.201104365
  21. X. Wen. Nano Energy. Elsevier, 14, 276 (2014). DOI: 10.1002/inf2.12079
  22. A.C. Ferrari. Solid State Commun., 143, 47 (2007). DOI: 10.1016/j.ssc.2007.03.052
  23. M. Lazzeri, F. Mauri. Phys. Rev. Lett., 97, 266407 (2006). DOI: 10.1103/PhysRevLett.97.266407
  24. B.G. Sumpter, V. Meunier, J.M. Romo-Herrera, E. Cruz-Silva, D.A. Cullen, H. Terrones, D.J. Smith, M. Terrones. ACS Nano, 1 (4), 369 (2007). DOI: 10.1021/nn700143q
  25. S. Hofmann, C. Ducati, J. Robertson. Appl. Phys. Lett., 83, 135 (2003). DOI: 10.1063/1.1589187
  26. Z. Ren, Y. Lan, Y. Wang. Aligned Carbon Nanotubes (Springer). DOI: 10.1007/978-3-642-30490-3
  27. S.I. Kundalwal, S.A. Meguid, G.J. Weng. Carbon, 117, 462 (2017). DOI: 10.1016/j.carbon.2017.03.013

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme