Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2021, выпуск 10 » Статья стр. 1448
<<<>>>
Измерения абсолютных значений интенсивности излучения в диапазоне длин волн 6.6-32 nm мишени из нержавеющей стали при импульсном лазерном возбуждении
DOI: 10.21883/JTF.2021.10.51356.140-21
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.13.52217.140-21
RFBR , 19- 07-00173
RFBR , 20-02-00364
RFBR , 20-02-00708
RFBR , 20-32-90169
Гарахин С.А.1, Забродин И.Г.1, Зуев С.Ю.1, Лопатин А.Я.1, Нечай А.Н.1, Пестов А.Е.1, Перекалов А.А.1, Плешков Р.С.1, Полковников В.Н.1, Салащенко Н.Н.1, Смертин Р.М.1, Цыбин Н.Н.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: garahins@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 11 мая 2021 г.
В окончательной редакции: 11 мая 2021 г.
Принята к печати: 11 мая 2021 г.
Выставление онлайн: 27 июня 2021 г.
PDF версия
Приведены экспериментальные данные по абсолютным значениям интенсивности излучения в диапазоне длин волн 6.6-32 nm мишени из нержавеющей стали при возбуждении с помощью Nd : YAG-лазера с параметрами λ=1064 nm, Epulse=0.45 J, tau=4 ns, ν=10 Hz. Результаты представляют интерес для различных приложений, использующих лабораторные лазерно-плазменные источники мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового излучения. Ключевые слова: экстремальное ультрафиолетовое излучение, эмиссионные спектры, лазерная искра, многослойное рентгеновское зеркало.
  1. E. Gullikson, J.H. Underwood, P.C. Batson, V. Nikitin. J. X-Ray Sci. Technol., 3 (4), 283 (1992). DOI: 10.3233/XST-1992-3402
  2. L. van Loyen, T. Boettger, S. Braun, H. Mai, A. Leson, F. Scholze, J. Tuemmler, G. Ulm, H. Legall, P.V. Nickles, W. Sandner, H. Stiel, C.E. Rempel, M. Schulze, J. Brutscher, F. Macco, S. Muellender. Proc. SPIE, 5038 (12), (2003). DOI: 10.1117/12.485042
  3. A. Miyake, T. Miyachi, M. Amemiya, T. Hasegawa, N. Ogushi, T. Yamamoto, F. Masaki, Y. Watanabe. Proc. SPIE, 5037, 647 (2003). DOI: 10.1117/12.484969
  4. H. Wang, X. Wang, Bo Chen, Y. Wang, S. Mao, S. Ren, P. Zhou, Y. Liu, T. Huo, H. Zhou. Optik, 204, 164213 (2020). DOI: 10.1016/j.ijleo.2020.164213
  5. F. Scholze, T. Bottger, H. Enkisch, C. Laubis, L.V. Loyen, F. Macco, S. Schadlich, Meas. Sci. Technol., 18, 126 (2007). DOI: 10.1088/0957-0233/18/1/015
  6. D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, L.A. Dorokhin, V.V. Medvedev, Yu.V. Sidelnikov, N.I. Chkhalo, V.N. Polkovnikov. Opt. Lett., 44 (20), 4949 (2019). DOI: 10.1364/OL.44.004949
  7. С.А. Гарахин, И.Г. Забродин, С.Ю. Зуев, И.А. Каськов, А.Я. Лопатин, А.Н. Нечай, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, М.В. Свечников. Квант. электрон., 47 (4), 385 (2017). DOI: 10.1070/QEL16300
  8. E.A. Vishnyakov, K.N. Mednikov, A.A. Pertsov, E.N. Ragozin, A.A. Reva, A.S. Ul'yanov, S.V. Shestov. Quant. Electron., 39 (5), 474 (2009). DOI: 10.1070/QE2009v039n05ABEH013902
  9. E.N. Ragozin, K.N. Mednikov, A.A. Pertsov, A.S. Pirozhkov, A.A. Reva, S.V. Shestov, A.S. Ul'yanov, E.A. Vishnyakov. Proc. SPIE, 7360, 73600N (2009). DOI: 10.1117/12.820750
  10. E.A. Vishnyakov, I.A. Kopylets, V.V. Kondratenko, A.O. Kolesnikov, A.S. Pirozhkov, E.N. Ragozin, A.N. Shatokhin. Quant. Electron., 48 (3), 189 (2018). DOI: 10.1070/QEL16574
  11. V.E. Levashov, K.N. Mednikov, A.S. Pirozhkov, E.N. Ragozin, I.Yu. Tolstikhina. Quant. Electron., 37 (11), 1060 (2007). DOI: 10.1070/QE2007v037n11ABEH013608
  12. I.L. Beigman, E.A. Vishnyakov, M.S. Luginin, E.N. Ragozin, I.Yu. Tolstikhina. Quant. Electron., 40 (6), 545 (2010). DOI: 10.1070/QE2010v040n06ABEH014313
  13. Д.Б. Абраменко, П.С. Анциферов, Д.И. Астахов, А.Ю. Виноходов, И.Ю. Вичев, Р.Р. Гаязов, А.С. Грушин, Л.А. Дорохин, В.В. Иванов, Д.А. Ким, К.Н. Кошелев, П.В. Крайнов, М.С. Кривокорытов, В.М. Кривцун, Б.В. Лакатош, А.А. Лаш, В.В. Медведев, А.Н. Рябцев, Ю.В. Сидельников, Е.П. Снегирев, А.Д. Соломянная, М.В. Спиридонов, И.П. Цыгвинцев, О.Ф. Якушев, А.А. Якушкин. УФН, 189 (3), 323 (2019). DOI: 10.3367/UFNr.2018.06.038447 [D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, D.I. Astakhov, A.Yu. Vinokhodov, I.Yu. Vichev, R.R. Gayazov, A.S. Grushin, L.A. Dorokhin, V.V. Ivanov, D.A. Kim, K.N. Koshelev, P.V. Krainov, M.S. Krivokorytov, V.M. Krivtsun, B.V. Lakatosh, A.A. Lash, V.V. Medvedev, A.N. Ryabtsev, Yu.V. Sidelnikov, E.P. Snegirev, A.D. Solomyannaya, M.V. Spiridonov, I.P. Tsygvintsev, O.F. Yakushev, A.A. Yakushkin. Phys. Usp., 62, 304 (2019). DOI: 10.3367/UFNe.2018.06.038447]
  14. I. Fomenkov, D. Brandt, A. Ershov, A. Schafgans, Y. Tao, G. Vaschenko, S. Rokitski, M. Kats, M. Vargas, M. Purvis, R. Rafac, B. La Fontaine, S. De Dea, A. La Forge, J. Stewart, S. Chang, M. Graham, D. Riggs, T. Taylor, M. Abraham, D. Brown. Adv. Opt. Technol., 6, 173 (2017). DOI: 10.1515/aot-2017-0029
  15. D.T. Elg, J.R. Sporre, D. Curreli, I.A. Shchelkanov, D.N. Ruzic, K.R. Umstadter. J. Micro Nanolithogr., MEMS MOEMS, 14, 013506 (2015). DOI: 10.1117/1.JMM.14.1.013506
  16. D. Bleiner, T. Lippert. J. Appl. Phys., 106, 123301 (2009). DOI: 10.1063/1.3271142
  17. E.A. Vishnyakov, A.V. Shcherbakov, A.A. Pertsov, V.N. Polkovnikov, A.E. Pestov, D.E. Pariev, N.I. Chkhalo. Proc. SPIE, 10235, EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space V, 102350W (2017). DOI: 10.1117/12.2264814
  18. S.S. Churilov, R.R. Kildiyarova, A.N. Ryabtsev, S.V. Sadovsky. Phys. Scr., 80 (4), 045303 (2009). DOI: 10.1088/0031-8949/80/04/045303
  19. T. Otsuka, D. Kilbane, J. White, T. Higashiguchi, N. Yugami, T. Yatagai, W. Jiang, A. Endo, P. Dunne, G. O'Sullivan. Appl. Phys. Lett., 97, 111503 (2010). DOI: 10.1063/1.3490704
  20. D.B. Abramenko, V.S. Bushuev, R.R. Gayazov, V.M. Krivtcun, M.V. Spiridonov, A.M. Chekmarev, O.F. Yakushev, K.N. Koshelev. Proc. 17 Int. Symp. Nanophysics \& Nanoelectronics, 1, 261 (2013)
  21. T. Otsuka, B. Li, C. O'Gorman, T. Cummins, D. Kilbane, T. Higashiguchi, N. Yugami, W. Jiang, A. Endo, P. Dunne, G. O'Sullivan, Proc. SPIE, 8322, 832214 (2012)
  22. S.A. Garakhin, N.I. Chkhalo, I.A. Kas'kov, A.Ya. Lopatin, I.V. Malyshev, A.N. Nechay, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, N.N. Tsybin, I.G. Zabrodin, S.Yu. Zuev. Rev. Sci. Instrum., 91 (6), 063103 (2020). DOI: 10.1063/1.5144489
  23. A.O. Kolesnikov, E.A. Vishnyakov, E.N. Ragozin, A.N. Shatokhin. Quant. Electron., 50 (10), 967 (2020). DOI: 10.1070/QEL17350
  24. А.Н. Нечай, А.А. Перекалов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало. Опт. и спектр., 129 (2), 2021. DOI: https://ojs.ioffe.ru/index.php/os/article/view/1449
  25. V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, N.I. Chkhalo. Physics-Uspekhi, 63 (1), 83--95 (2020). DOI: 10.3367/UFNe.2019.05.038623
  26. N.I. Chkhalo, D.E. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, R.A. Shaposhnikov, I.L. Stroulea, M.V. Svechnikov, Yu.A. Vainer, S.Yu. Zuev. Thin Solid Films, 631, 106 (2017). DOI: 10.1016/j.tsf.2017.04.020
  27. N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, E.B. Kluenkov, S.V. Kuzin, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin, S.Yu. Zuev. Appl. Opt., 55 (17), 4683 (2016). DOI: 10.1364/AO.55.004683
  28. N.I. Chkhalo, S.V. Kuzin, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, S.Yu. Zuev, N.N. Tsybin. Thin Solid Films, 653, 359 (2018). DOI: 10.1016/j.tsf.2018.03.051
  29. M.S. Bibishkin, D.P. Chekhonadskih, N.I. Chkhalo, E.B. Kluyenkov, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, I.G. Zabrodin, S.Yu. Zuev. Proc. SPIE, 5401, 8 (2004). DOI: 10.1117/12.556949
  30. M. Svechnikov, D. Pariev, A. Nechay, N. Salashchenko, N. Chkhalo, Y. Vainer, D. Gaman. J. Appl. Cryst., 50, 1428 (2017). DOI: 10.1107/S1600576717012286
  31. P.N. Aruev, M.M. Barysheva, B.Ya. Ber, N.V. Zabrodskaya, V.V. Zabrodskii, A.Ya. Lopatin, A.E. Pestov, M.V. Petrenko, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, V.L. Sukhanov, N.I. Chkhalo. Quant. Electron., 42 (10), 943 (2012). DOI: 10.1070/QE2012v042n10ABEH014901

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme