Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Особенности согласования нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек

DOI: 10.21883/JTF.2021.04.50630.271-20

ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН, госзадание, № 007-ГЗ/43363/26

НПО «Государственный институт прикладной оптики», договор о НИР, 08/2017

Полетаев С.Д.^1,2, Любимов А.И.³

¹Институт систем обработки изображений РАН, Самара, Россия Institute of Image Processing Systems, Russian Academy of Sciences, Samara, Russia

²Самарский национальный исследовательский университет им. академика С.П. Королева, Самара, Россия Samara National Research University, Samara, Russia

Samara National Research University, Samara, Russia

³Государственный институт прикладной оптики, Казань, Россия Scientific Production Association State Institute of Applied Optics (SPC SIAO), Kazan, Russia

Scientific Production Association State Institute of Applied Optics (SPC SIAO), Kazan, Russia

Email: sergpolet@gmail.com, las126@yandex.ru

Поступила в редакцию: 18 сентября 2020 г.

В окончательной редакции: 5 ноября 2020 г.

Принята к печати: 18 ноября 2020 г.

Выставление онлайн: 15 декабря 2020 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Представлены теоретические и экспериментальные результаты по реактивно-ионному травлению массивных подложек во фреоне-14 с высокочастотным (ВЧ) смещением на нижнем электроде. Предложена гипотеза, согласно которой крупногабаритная подложка нарушает согласование нижнего электрода с ВЧ генератором за счет внесения дополнительной реактивной составляющей в импеданс нижнего электрода. Проведено численное моделирование реактивно-ионного травления с подложками различных габаритов в среде CF₄. Результаты моделирования показали значительный рост реактивной составляющей ВЧ мощности на нижнем электроде, если диаметр подложки превышает 50% диаметра нижнего электрода, что согласуется с предложенной гипотезой. Экспериментально показано, что при травлении массивных подложек нарушается согласование нижнего электрода с ВЧ генератором. Разработана специальная конструкция подложкодержателя для массивных подложек. Показано, что такой подложкодержатель существенно улучшает согласование ВЧ генератора с нижним электродом, особенно при добавлении в плазмообразующую смесь аргона в количестве 0.3-0.9 l/h. Ключевые слова: дифракционный микрорельеф, реактивно-ионное травление, метод конечных элементов, импеданс, подложкодержатель, высокочастотный индукционный разряд, нижний электрод, реактивная мощность.

N.L. Kazanskiy, G.V. Uspleniev, A.V. Volkov. Proceedings of SPIE, 4316, 193 (2000). DOI: 10.1117/12.407678
P.A. Hilton, D. Lloyd, J.R. Tyrer. J. Laser. Appl., 28 (1), 012014-1 (2016). DOI: 10.2351/1.4938279
С.Р. Абульханов, Н.Л. Казанский, Л.Л. Досколович, О.Ю. Казакова. СТИН, 9, 22 (2011)
Z. Huang, N. Geyer, P. Werner, J. de Boor, U. Gosele. Adv. Mater., 23, 285 (2011). DOI: 10.1063/1.4817424
Ю.П. Райзер, М.Н. Шнейдер, Н.А. Яценко. Высокочастотный емкостный разряд (Наука, М., 1995)
Б.С. Данилин, В.Ю. Киреев. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов (Энергоатомиздат, М., 1987)
V.M. Donnellya, A. Kornblit. J. Vac. Sci. Technol., 31 (5), 050825-1 (2013). DOI: 10.1116/1.4819316
C.C. Welch, D.L. Olynick, Z. Liu, A. Holmberg, C. Peroz, A.P.G. Robinson, M.D. Henry, A. Scherer, T. Mollenhauer, V. Genova, K.T.Ng. Doris. Proc. of SPIE, 8700 (870002), 870002-1 (2012). DOI: 10.1117/12.2017609
Ю.П. Райзер. Физика газового разряда (Наука, М., 1987)
Р.В. Хемминг. Численные методы для научных работников и инженеров (Наука, М., 1972)
В.И. Егоров. Применение ЭВМ для решения задач теплопроводности. Учебное пособие (СПб ГУ ИТМО, СПб, 2006)
И.С. Григорьев, Е.З. Мейлихов (ред.). Физические величины: Справочник (Энергоатомиздат, М., 1991)
Г.Ф. Ивановский, В.И. Петров. Ионно-плазменная обработка материалов (Радио и связь, М., 1986)
Э.Х. Исакаев, О.А. Синкевич, В.Б. Мордынский, А.С. Тюфтяев, А.Г. Хачатурова. Физика и xимия обработки материалов, 2, 25 (2011)
Ф.П. Гросу, А.М. Болога, М.К. Болога, О.В. Моторин. Электронная обработка материалов, 51 (5), 45 (2015)
А.Ю. Данилов, О.А. Королев, В.Я. Первушин, Д.Е. Синицын. Патент SU1061196A. H01L 21/68
E.R. Parker, B.E. Thibeault, M.F. Aimi, M.P. Rao, N.C. Mac Donald. J. Electrochem. Soc., 152 (10), 675 (2005)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель