Вышедшие номера
Топография поверхности и пропускание света кварцевыми окнами после экспозиции в высокочастотном разряде в дейтерии и смеси дейтерия с азотом
Переводная версия: 10.1134/S1063784221020122
Городецкий А.Е. 1, Маркин А.В. 1, Буховец В.Л. 1, Золотаревский В.И. 1, Залавутдинов Р.Х. 1, Бабинов Н.А.2, Дмитриев А.М. 2, Раздобарин А.Г. 2, Мухин Е.Е. 2
1Институт физической химии и электрохимии им. А.Н. Фрумкина РАН, Москва, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: aegorodetsky@mail.ru, avmarkin@mail.ru, utqexplorer@gmail.com, vzolot@phyche.ac.ru, rinadz@mail.r, babinovnikita@gmail.com, e.mukhin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 25 мая 2020 г.
В окончательной редакции: 24 июля 2020 г.
Принята к печати: 11 августа 2020 г.
Выставление онлайн: 11 октября 2020 г.

Исследовано влияние высокочастотного разряда на изменение топографии поверхности оптического кварца КУ-1 и пропускание видимого света (400-1000 nm). Рабочими газами разряда являлись D2 и смесь D2/N2, в которой доля N2 составляла 25 mol%. Добавление азота увеличивало скорость распыления с 60 до 300 nm/h при сохранении стехиометрии поверхностных слоев. После экспозиции в плазме среднеквадратичная шероховатость поверхности уменьшалась с 1.3 до 0.6 nm. Прозрачность кварца не изменилась. Анализ шероховатости и расчет диффузного рассеяния света с длиной волны 400 nm, прошедшего сквозь кварц, выполнены с использованием функций спектральной плотности мощности. Ключевые слова: кварц КУ-1, высокочастотный разряд, дейтерий, азот, атомно-силовая микроскопия, PSD-функция, пропускание света.
  1. D.V. Orlinski, V.T. Gritsyna. Problems of Atomic Science and Technology, 3, Series: Plasma Physics (5), 60 (2000)
  2. S. Takamura, T. Aota, Y. Uesugi, Y. Kikuchi, S. Maenaka, K. Fujita. Nucl. Fusion, 59, 046015 (2019)
  3. V.L. Bukhovets, A.E. Gorodetsky, R.Kh. Zalavutdinov, A.V. Markin, L.P. Kazansky, I.A. Arkhipushkin, A.P. Zakharov, A.M. Dmitriev, A.G. Razdobarin, E.E. Mukhin. Nucl. Mater. Energy, 12, 458 (2017)
  4. M. Zhou, M. Chen. Chem. Phys. Lett., 349 (1), 64 (2001)
  5. W. Orellana. Appl. Phys. Lett., 84 (6), 933 (2004)
  6. H.F. Winters, J.W. Coburn. Surf. Sci. Reports, 14, 161 (1992)
  7. A. Gujrati, S.R. Khanal, L. Pastewka, T.D.B. Jacobs. ACS Appl. Mater. Interfaces, 10, 29169 (2018). DOI: 10.1021/acsami.8b09899
  8. B.W. Scheer, J.C. Stover. SPIE, 3141, 78 (1997)
  9. N.I. Chkhalo, S.A. Churin, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer, M.V. Zorina. Optics Express, 22 (17), 20094 (2014). DOI:10.1364/OE.22.020094
  10. Ю.А. Вайнер, М.В. Зорина, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, В. Ермаков, С.И. Канорский, С.В. Кузин, С.В. Шестов, И.Л. Струля. Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед., 8, 5 (2015)
  11. T. Jacobs, T. Junge, L. Pastewka. Surf. Topography: Metrology and Properties, 5 (1), 013001 (2017). DOI: 10.1088/2051-672X/aa51f8
  12. J.E. Harvey, S. Schroder, N. Choi, A. Duparre. Optical Engineer., 51 (1), 013402 (2012),
  13. E. Chason, T.M. Mayer. Appl. Phys. Lett., 62 (4), 363 (1993)
  14. K. Bhattacharjee, S. Bera, D.K. Goswami, B.N. Dev. Nucl. Instrum. Methods in Phys. Res. B, 230, 524 (2005)
  15. S. Schroder, T. Herffurth, A. Duparre, J.E. Harvey. Proceeding of SPIE --- The Intern. Society for Optical Engineer., 8169-28, 4, 1 (2011). DOI: 10.1117/12.896989
  16. R. Rougeot, R. Flamary, D. Mary, C. Aime. Astronomy \& Astrophysics, 626A1, 1 (2019). https: // doi.og/ 10.1051/0004-6361/201834634

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.