Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Влияние толщины гидрогенизированных углеродных пленок, легированных кремнием и кислородом, на свойства их поверхности

DOI: 10.21883/JTF.2021.01.50287.204-20

Переводная версия: 10.1134/S1063784221010096

Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, грант Президента Российской Федерации, МК-1234.2020.8

Российский научный фонд, Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований отдельными научными группами, 19-19-00186

Гренадёров А.С.

¹, Соловьев А.А.¹, Оскомов К.В.

¹Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия Institute of High Current Electronics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Tomsk, Russia

Institute of High Current Electronics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Tomsk, Russia

Email: 1711Sasha@mail.ru

Поступила в редакцию: 15 июня 2020 г.

В окончательной редакции: 15 июля 2020 г.

Принята к печати: 21 июля 2020 г.

Выставление онлайн: 11 сентября 2020 г.

PDF версия

Получены гидрогенизированные углеродные пленки, легированные кремнием (11.9±0.4 at.%) и кислородом (1.7±0.1 at.%), толщиной 0.5-7 μm на подложках из титана марки ВТ6 и кремния в плазме несамостоятельного дугового разряда с накаленным катодом. Исследована зависимость твердости, внутренних напряжений, морфологии поверхности, смачиваемости, а также поверхностного потенциала полученных пленок от их толщины. Показано, что увеличение толщины пленки способствует повышению допустимой нагрузки на материал и его твердости. При этом пленки обладают низкими внутренними напряжениями (менее 600 MPa), а краевой угол смачивания с водой составляет 75-80^o. Установлено, что увеличение толщины пленки приводит к повышению отрицательного поверхностного потенциала от 50 до 670 mV. Ключевые слова: алмазоподобный углерод, a-C : H : SiO_x-пленки, твердость, внутренние напряжения, поверхностный потенциал.

Xiaokai An, Zhongzhen Wu, Liangliang Liu, Tielei Shao, Shu Xiao, Suihan Cui, Hai Lin, Ricky K.Y. Fu, Xiubo Tian, Paul K. Chu, Feng Pan. Surf. Coat. Tech., 365, 152 (2019). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2018.08.099
C.W. Zou, H.J. Wang, L. Feng, S.W. Xue. Appl. Surf. Sci., 286, 137 (2013). DOI: 10.1016/j.apsusc.2013.09.036
D.C. Sutton, G. Limbert, D. Stewart, R.J.K. Wood. Friction, 1 (3), 210 (2013). DOI: 10.1007/s40544-013-0023-1
R. Paul, S. Bhattacharyya, R. Bhar, A. Pal. Appl. Surf. Sci., 257, 10451 (2011). DOI: 10.1016/j.apsusc.2011.06.144
W. Yue, X. Gao, C. Wang, Z. Fu, X. Yu, J. Liu. Mater. Lett., 73, 202 (2012). DOI: 10.1016/j.matlet.2012.01.044
Xiaowei Li, Pelling Ke, Aiying Wang. AIP Advanced, 5, 017111-1 (2015). DOI: 10.1063/1.4905788
Heon Woong Choi, Reinhold H. Dauskardt, Seung-Cheol Lee, Kwang-Ryeol Lee, Kyu Hwan Oh. Diam. Relat. Mater., 17, 252 (2008). DOI: 10.1016/j.diamond.2007.12.034
K.-R. Lee, K.Y. Eun, I. Kim, J. Kim. Thin Solid Films, 377--378, 261 (2000). DOI: 10.1016/S0040-6090(00)01429-2
Abdul Wasy Zia, Zhifeng Zhou, Po Wan Shum, Lawrence Kwok Yan Li. Surf. Coat. Tech., 320, 118 (2017). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2017.01.089
P.A. Karaseov, O.A. Podsvirov, K.V. Karabeshkin, A.Ya. Vinogradov, A. Azarov, A.I. Titov, A.S. Smirnov. Nucl. Inst. Meth. Phys. Res. B, 268, 3107 (2010). DOI: 10.1016/j.nimb.2010.05.063
M. Shiureviciute, J. Laurikaitiene, D. Adliene, L. Augulis, Z. Rutkuniene, A. Jotautis. Vacuum, 83, s159 (2009). DOI: 10.1016/j.vacuum.2009.01.052
K. Koshigan, F. Mangolini, J.B. McClimon, B. Vacher, S. Bec, R.W. Carpick, J. Fontaine. Carbon, 93, 851 (2015). DOI: 10.1016/j.carbon.2015.06.004
D. Bociaga, A. Sobczyk-Guzenda, W. Szymanski, A. Jedrzejczak, A. Jastrzebska, A. Olejnik, K. Jastrzebski. Appl. Surf. Sci., 417, 23 (2017). DOI: 10.1016/j.apsusc.2017.03.223
D. Bociaga, M. Kaminska, A. Sobczyk-Guzenda, K. Jastrzebska, L. Swiatek, A. Olejnik. Diam. Relat. Mater., 67, 41 (2016). DOI: 10.1016/j.diamond.2016.01.025
A. Bendavid, P.J. Martin, C. Comte, E.W. Preston, A.J. Haq, F.S. Magdon Ismail, R.K. Singh. Diam. Relat. Mater., 16, 1616 (2007). DOI: 10.1016/j.diamond.2007.02.006
N. Kumar, S.A. Barve, S.S. Chopade, K. Rajib, N. Chand, D. Sitaram, A.K. Tyagi, D.S. Patil. Trib. Inter., 84, 124 (2015). DOI: 10.1016/j.triboint.2014.12.001
D. Batory, A. Jedrzejczak, W. Szymanski, P. Niedzielski, M. Fijalkowski, P. Louda, I. Kotela, M. Hromadka, J. Musil. Thin Solid Films, 590, 299 (2015). DOI: 10.1016/j.tsf.2015.08.017
A.S. Grenadyorov, K.V. Oskomov, N.F. Kovsharov, A.A. Solovyev. J. Phys.: Conf. Ser., 1115, 042046 (2018). DOI: 10.1088/1742-6596/1115/4/042046
A.S. Grenadyorov, А.А. Solovyev, K.V. Oskomov, V.O. Oskirko. J. Vac. Sci. Tech. A, 37 (6), 061512 (2019). DOI: 10.1116/1.5118852
F.F. Conde, J.A.A. Diaz, G.F. da Silva, A.P. Tschiptschin. Mater. Res., 22 (2), e20180499 (2019). DOI: 10.1590/1980-5373-mr-2018-0499
S. Meskinis, S. Tamulevicius, V. Kopustinskas, M. Andruleviv cius, A. Guobiene, R. Gudaitis, I. Liutviniene. Thin Solid Films, 515 (19), 7615 (2007). DOI: 10.1016/j.tsf.2006.11.089
E.V. Zavedeev, O.S. Zilova, A.D. Barinov, M.L. Shupegin, N.R. Arutyunyan, B. Jaeggi, B. Neuenschwander, S.M. Pimenov. Diam. Relat. Mater., 74, 45 (2017). DOI: 10.1016/j.diamond.2017.02.003
И.А. Хлусов, В.Ф. Пичугин, Э.А. Гостищев, Ю.П. Шаркеев, Р.А. Сурменев, М.А. Сурменева, Е.В. Легостаева, М.В. Чайкина, М.В. Дворниченко, Н.С. Морозова. Бюллетень сибирской медицины, 10 (3), 72 (2011). [I.A. Khlusov, V.F. Pichugin, E.A. Gostischev, Y.P. Sharkeyev, R.A. Surmenev, M.A. Surmeneva, Y.V. Legostayeva, M.V. Chaikina, M.V. Dvornichenko, N.S. Morozova. Bull. Siber. Med., 10 (3), 72 (2011). DOI: 10.20538/1682-0363-2011-3-72-81]
M. Zhao, B. Song, J. Pu, T. Wada, B. Reid, G. Tai, F. Wang, A. Guo, P. Walczysko, Yu Gu, T. Sasaki, A. Suzuki, J.V. Forrester, H.R. Bourne, P. Devreotes, C. Mccaig, J.M. Penninger. Nature, 442 (7101), 457 (2006). DOI: 10.1038/nature04925
О.В. Бондарь, Д.В. Сайфуллина, И.И. Мавлютова, Т.И. Абдуллин. Acta Naturae, 4 (12), 80 (2012)
В.П. Ротштейн, Р. Гюнцель, А.Б. Марков, Д.И. Проскуровский, М.Т. Фам, Э. Рихтер, В.А. Шулов. Физика и химия обработки материалов, 1, 62 (2006)
J.B. Cai, X.L. Wang, W.Q. Bai, X.Y. Zhao, T.Q. Wang, J.P. Tu. Applied Surface Science, 279, 450 (2013). DOI: 10.1016/j.apsusc.2013.04.136
W.C. Oliver, G.M. Pharr. J. Mater. Res., 19 (1), 3 (2004). DOI: 10.1557/jmr.2004.19.1.3
V.A. Novikov, D.V. Grigoryev, A.V. Voitsekhovskii, S.A. Dvoretsky, N.N. Mikhailov. J. Surf. Inv.: X-ray, Synch. Neutr. Tech., 10 (5), 1096 (2016). DOI: 10.1134/S1027451016050372
X.L. Peng, Z.H. Barber, T.W. Clyne. Surf. Coat. Technol., 138, 23 (2001). DOI: 10.1016/S0257-8972(00)01139-7
A.S. Grenadyorov, A.A. Solovyev, K.V. Oskomov, S.A. Onischenko, A.M. Chernyavskiy, M.O. Zhulkov, V.V. Kaichev. Surf. Coat. Tech., 381, 125113 (2020). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2019.125113
A.S. Grenadyorov, A.A. Solovyev, K.V. Oskomov, V.S. Sypchenko. Surf. Coat. Tech., 349, 547 (2018). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2018.06.019
A.A. Ogwu, T.I.T. Okpalugo, J.A.D. McLaughlin. AIP ADVANCES, 2 (3), 032128 (2012). DOI: 10.1063/1.4742852
А.Р. Шугуров, А.В. Панин, К.В. Оскомов. ФТТ, 50 (6), 1007 (2008). [A.R. Shugurov, A.V. Panin, K.V. Oskomov. Physics Solid State, 50 (6), 1050 (2008). DOI: 10.1134/S1063783408060097]

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель