Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2020, выпуск 11 » Статья стр. 1922
<<<>>>
Ионно-пучковые методики прецизионной обработки оптических поверхностей
DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49985.112-20
Переводная версия: 10.1134/S1063784220110274
Забродин И.Г.1, Зорина М.В.1, Каськов И.А.1, Малышев И.В.1, Михайленко М.С.1, Пестов А.Е.1, Салащенко Н.Н.1, Чернышев А.К.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: aepestov@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 3 апреля 2020 г.
В окончательной редакции: 3 апреля 2020 г.
Принята к печати: 3 апреля 2020 г.
Выставление онлайн: 15 июля 2020 г.
PDF версия
Описаны методики прецизионной обработки поверхности оптических элементов пучками ускоренных ионов. Приведены характеристики и возможности оборудования, а также решаемые с помощью него задачи. Подробно описаны возможности финишной коррекции локальных ошибок формы малоразмерным ионным пучком, осесимметричной коррекции/асферизации широкоапертурным сильноточным ионным пучком и ионной полировки. Представлены значения эффективной шероховатости поверхности плавленого кварца, ситалла, Zerodur'а, ULE в диапазоне пространственных частот q[2.5·10-2-6.0·101 μm-1], а также примеры формирования сферической поверхности и профиля асферизации. Ключевые слова: ионно-пучковая методика, пучок ускорения, кварц, ситалл.
  1. Hoffman C., Giallorenzi T.G., Slater L.B. // Appl. Opt. 2015. Vol. 54. N 31. P. 268-F285
  2. Акопов А.К., Брычихин М.Н., Пластинин Ю.А., Ризванов А.А., Струля И.Л., Эйхорн Я.О., Малышев И.В., Пестов А.Е., Полковников В.Н., Торопов М.Н., Чхало Н.И. // Космонавтика и ракетостроение. 2014. Т. 78. N 4. C. 77-85
  3. Wagner Ch., Harned N. // Nature Photon. 2010. Vol. 4. P. 24-26
  4. Wachulak P.W., Torrisi A., Bartnik A., Wegrzynski L., Fok T., Patron Z., Fiedorowicz H. // Proc. SPIE. 2016. P. 10159
  5. Weiser M. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B. 2009. Vol. 267. P. 1390-1393
  6. Arnold T., Bohm G., Fechner R., Meister J., Nickel A., Frost F., Hansel T., Schindler A. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. A. 2010. Vol. 616. P. 147-156
  7. Jiao C., Li S., Xie X., Chen S., Wu D., Kang N. // Appl. Opt. 2010. Vol. 49. N 4. P. 578-585
  8. Chkhalo N.I., Kluenkov E.B., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Raskin D.G., Salashchenko N.N., Suslov L.A., Toropov M.N. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. A. 2009. Vol. 603. P. 62-65
  9. Allen L.N., Romig H.W. // Proc. SPIE. 1990. Vol. 1333. P. 22-33
  10. Wilson S.R., Reicher D.W., McNeil J.R. // Proc. SPIE. 1988. Vol. 966. P. 74-81
  11. Eisenberg N.P., Carouby R., Broder J. // Proc. SPIE. 1988. Vol. 1038. P. 279-287
  12. Xu M., Dai Y., Xie X., Zhou L., Liao W. // Appl. Opt. 2015. Vol. 54. N 27. P. 8055-8061
  13. Zeuner M., Kiontke S. // Opt. Photon. 2012. Vol. 7. N 2. P. 56-58
  14. Franz T., Hansel T. // Optical Fabrication and Testing (21--24 October 2008, Rochester, NY., United States), p. OThC7
  15. Электронный ресурс. Режим доступа: http://www.opteg.com
  16. Chkhalo N.I., Kaskov I.A., Malyshev I.V., Mikhaylenko M.S., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Toropov M.N., Zabrodin I.G. // Precision Engineering. 2017. Vol. 48. P. 338-346
  17. Chkhalo N.I., Malyshev I.V., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Toropov M.N. // Appl. Opt. 2016. Vol. 55. N 3. P. 619-625
  18. Chkhalo N.I., Klimov A.Yu., Rogov V.V., Salashchenko N.N., Toropov M.N. // Rev. Sci. Instrum. 2008. Vol. 79. N 3. P. 033107
  19. Чернышев А.К., Малышев И.В., Пестов А.Е., Чхало Н.И. // ЖТФ. 2019. T. 89. Bып. 11. С. 1650-1655
  20. Зорина М.В., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Торопов М.Н., Чхало Н.И., Щербаков А.В. // Материалы симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника", г. Нижний Новгород, 12-16 марта 2012. T. 2. C. 607-608
  21. Барышева М.М., Вайнер Ю.А., Грибков Б.А., Зорина М.В., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Храмков Р.А., Чхало Н.И. // Известия РАН. Сер. физ. 2012. T. 76. N 2. С. 190-195
  22. Chkhalo N.I., Churin S.A., Pestov A.E., Salashchenko N.N., Vainer Y.A., Zorina M.V. // Opt. Express. 2014. Vol. 22. P. 20094
  23. Барышева М.М., Вайнер Ю.А., Грибков Б.А., Зорина М.В., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Струля И.Л., Чхало Н.И. // Поверхность. 2013. N 7. С. 9-13
  24. Liao W., Dai Y., Xie X., Zhou L. // Appl. Opt. 2014. Vol. 53. N 19. P. 4266-4274
  25. Chkhalo N.I., Churin S.A., Mikhaylenko M.S., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Zorina M.V. // Appl. Opt. 2016. Vol. 55. N 6. P. 1249-1256
  26. Вайнер Ю.А., Зорина М.В., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Чхало Н.И., Храмков Р.А. // Известия РАН. Сер. физ. 2011. T. 75. N 1. С. 65-67
  27. Chkhalo N.I., Mikhailenko M.S., Mil'kov A.V., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Strulya I.L., Zorina M.V., Zuev S.Yu. // Surf. Coat. Technol. 2017. Vol. 311. P. 351-356
  28. Зорина М.В., Зуев С.Ю., Михайленко М.С., Пестов А.Е., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Чхало Н.И. // Письма в ЖТФ. 2016. T. 42. Bып. 16. C. 34-40.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme