Вышедшие номера
Ионно-пучковые методики прецизионной обработки оптических поверхностей
Забродин И.Г.1, Зорина М.В.1, Каськов И.А.1, Малышев И.В.1, Михайленко М.С.1, Пестов А.Е.1, Салащенко Н.Н.1, Чернышев А.К.1, Чхало Н.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: aepestov@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 3 апреля 2020 г.
В окончательной редакции: 3 апреля 2020 г.
Принята к печати: 3 апреля 2020 г.
Выставление онлайн: 15 июля 2020 г.

Описаны методики прецизионной обработки поверхности оптических элементов пучками ускоренных ионов. Приведены характеристики и возможности оборудования, а также решаемые с помощью него задачи. Подробно описаны возможности финишной коррекции локальных ошибок формы малоразмерным ионным пучком, осесимметричной коррекции/асферизации широкоапертурным сильноточным ионным пучком и ионной полировки. Представлены значения эффективной шероховатости поверхности плавленого кварца, ситалла, Zerodur'а, ULE в диапазоне пространственных частот q[2.5·10-2-6.0·101 μm-1], а также примеры формирования сферической поверхности и профиля асферизации. Ключевые слова: ионно-пучковая методика, пучок ускорения, кварц, ситалл.
  1. Hoffman C., Giallorenzi T.G., Slater L.B. // Appl. Opt. 2015. Vol. 54. N 31. P. 268-F285
  2. Акопов А.К., Брычихин М.Н., Пластинин Ю.А., Ризванов А.А., Струля И.Л., Эйхорн Я.О., Малышев И.В., Пестов А.Е., Полковников В.Н., Торопов М.Н., Чхало Н.И. // Космонавтика и ракетостроение. 2014. Т. 78. N 4. C. 77-85
  3. Wagner Ch., Harned N. // Nature Photon. 2010. Vol. 4. P. 24-26
  4. Wachulak P.W., Torrisi A., Bartnik A., Wegrzynski L., Fok T., Patron Z., Fiedorowicz H. // Proc. SPIE. 2016. P. 10159
  5. Weiser M. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B. 2009. Vol. 267. P. 1390-1393
  6. Arnold T., Bohm G., Fechner R., Meister J., Nickel A., Frost F., Hansel T., Schindler A. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. A. 2010. Vol. 616. P. 147-156
  7. Jiao C., Li S., Xie X., Chen S., Wu D., Kang N. // Appl. Opt. 2010. Vol. 49. N 4. P. 578-585
  8. Chkhalo N.I., Kluenkov E.B., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Raskin D.G., Salashchenko N.N., Suslov L.A., Toropov M.N. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. A. 2009. Vol. 603. P. 62-65
  9. Allen L.N., Romig H.W. // Proc. SPIE. 1990. Vol. 1333. P. 22-33
  10. Wilson S.R., Reicher D.W., McNeil J.R. // Proc. SPIE. 1988. Vol. 966. P. 74-81
  11. Eisenberg N.P., Carouby R., Broder J. // Proc. SPIE. 1988. Vol. 1038. P. 279-287
  12. Xu M., Dai Y., Xie X., Zhou L., Liao W. // Appl. Opt. 2015. Vol. 54. N 27. P. 8055-8061
  13. Zeuner M., Kiontke S. // Opt. Photon. 2012. Vol. 7. N 2. P. 56-58
  14. Franz T., Hansel T. // Optical Fabrication and Testing (21--24 October 2008, Rochester, NY., United States), p. OThC7
  15. Электронный ресурс. Режим доступа: http://www.opteg.com
  16. Chkhalo N.I., Kaskov I.A., Malyshev I.V., Mikhaylenko M.S., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Toropov M.N., Zabrodin I.G. // Precision Engineering. 2017. Vol. 48. P. 338-346
  17. Chkhalo N.I., Malyshev I.V., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Toropov M.N. // Appl. Opt. 2016. Vol. 55. N 3. P. 619-625
  18. Chkhalo N.I., Klimov A.Yu., Rogov V.V., Salashchenko N.N., Toropov M.N. // Rev. Sci. Instrum. 2008. Vol. 79. N 3. P. 033107
  19. Чернышев А.К., Малышев И.В., Пестов А.Е., Чхало Н.И. // ЖТФ. 2019. T. 89. Bып. 11. С. 1650-1655
  20. Зорина М.В., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Торопов М.Н., Чхало Н.И., Щербаков А.В. // Материалы симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника", г. Нижний Новгород, 12-16 марта 2012. T. 2. C. 607-608
  21. Барышева М.М., Вайнер Ю.А., Грибков Б.А., Зорина М.В., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Храмков Р.А., Чхало Н.И. // Известия РАН. Сер. физ. 2012. T. 76. N 2. С. 190-195
  22. Chkhalo N.I., Churin S.A., Pestov A.E., Salashchenko N.N., Vainer Y.A., Zorina M.V. // Opt. Express. 2014. Vol. 22. P. 20094
  23. Барышева М.М., Вайнер Ю.А., Грибков Б.А., Зорина М.В., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Струля И.Л., Чхало Н.И. // Поверхность. 2013. N 7. С. 9-13
  24. Liao W., Dai Y., Xie X., Zhou L. // Appl. Opt. 2014. Vol. 53. N 19. P. 4266-4274
  25. Chkhalo N.I., Churin S.A., Mikhaylenko M.S., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Zorina M.V. // Appl. Opt. 2016. Vol. 55. N 6. P. 1249-1256
  26. Вайнер Ю.А., Зорина М.В., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Чхало Н.И., Храмков Р.А. // Известия РАН. Сер. физ. 2011. T. 75. N 1. С. 65-67
  27. Chkhalo N.I., Mikhailenko M.S., Mil'kov A.V., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Strulya I.L., Zorina M.V., Zuev S.Yu. // Surf. Coat. Technol. 2017. Vol. 311. P. 351-356
  28. Зорина М.В., Зуев С.Ю., Михайленко М.С., Пестов А.Е., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Чхало Н.И. // Письма в ЖТФ. 2016. T. 42. Bып. 16. C. 34-40.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.