Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Распыление поверхности кремния при низкоэнергетической высокодозовой имплантации ионами серебра

DOI: 10.21883/JTF.2020.07.49457.153-19

Переводная версия: 10.1134/S1063784220070269

Российский научный фонд, № 17-12-01176

Воробьев В.В.^1,2, Рогов А.М.^1,2, Нуждин В.И.², Валеев В.Ф.², Степанов А.Л.²

¹Междисциплинарный центр "Аналитическая микроскопия" Казанского федерального университета, Казань, Россия Interdisciplinary Center for Analytical Microscopy, Kazan Federal University, Kazan, Tatarstan, Russia

Interdisciplinary Center for Analytical Microscopy, Kazan Federal University, Kazan, Tatarstan, Russia

²Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия Zavoisky Physical-Technical Institute, FRC Kazan Scientific Center of RAS, Kazan, Russia

Zavoisky Physical-Technical Institute, FRC Kazan Scientific Center of RAS, Kazan, Russia

Email: Slavik.Ksu@mail.ru

Поступила в редакцию: 7 апреля 2019 г.

В окончательной редакции: 3 февраля 2020 г.

Принята к печати: 10 февраля 2020 г.

Выставление онлайн: 7 апреля 2020 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Приведены результаты по впервые проведенным на практике наблюдениям распыления поверхности Si при имплантации ионами Ag⁺ с энергией 30 keV в зависимости от дозы облучения D в интервале от 2.5· 10¹⁶ до 1.5· 10¹⁷ ion/cm² при фиксированном значении плотности тока в ионном пучке J = 8 μA/cm², а также при вариации J = 2, 5, 8, 15 и 20 μA/cm² для постоянной величины D = 1.5· 10¹⁷ ion/cm². В первом случае наблюдается монотонное увеличение толщины распыляемого слоя пористого Si (PSi) до 50 nm при максимальной D, при этом значение эффективного коэффициента распыления имплантированного слоя Ag : PSi составляет 1.6. Также установлено возрастание толщины распыленного слоя при повышении J. Ключевые слова: распыление кремния, низкоэнергетическая ионная имплантация, ионы серебра.

Миличко В.A., Шалин А.С., Мухин И.С., Ковров А.Э., Красилин А.А., Виноградов А.В., Белов П.А., Симовский К.Р. // УФН. 2016. Т. 186. С. 801-852
Чопра К., Дас С. Тонкопленочные солнечные элементы. М.: Мир, 1986. 435 с
Polman A., Knight M., Garnett E.C., Ehrler B., Sinke W.C. // Sciencе. 2016. Vol. 352. P. add4424-1-add4424-10
Polman A. // Sciencе. 2008. Vol. 322. P. 868-869
Atwater H.A., Polman A. // Natur Mater. 2010. Vol. 9. P. 205-213
Kreibig U., Volmer M. Optical properties of metal clusters. Berlin: Springer, 1995. 533 p
Stepanov A.L. Ion implantation synthesis and optics of metal nanoparticles. Lambert Acad. Publ.: Mauritius, 2018. 426 с
Rockstuhl C., Fahr S., Lederer F. // J. Appl. Phys. 2008. Vol. 104. P. 123102-1-123102-123107
Sardana S.K., Chava V.S.N., Komarala V.K. // Appl. Surf. Sci. 2015. Vol. 347. P. 651-656
Козадаев К.В., Леончик С.В., Новиков А.Г., Зинчук О.В., Баран Л.В. // ЖПС. 2016. Т. 83. N 5. С. 736-741
Chervinskii S., Matikainen A., Dergachev A., Lipovskii A., Honkanen S. // Nanoscale Res. Lett. 2014. Vol. 9. P. 398-405
Yurova N.S., Markina N.E., Pozharov M.V., Zakharevich A.M., Rusanova T.Yu., Markin A.V. // Collois Surf. A: Physicochem. Eng. Aspects. 2016. N 495. P. 169-175
Lee C.M., Chang S.-P., Chang S.-J., Wu C.-I. // Int. J. Electrochem. Sci. 2013. Vol. 8. P. 7634-7645
Баталов Р.И., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Нургазизов Н.И., Бухараев А.А., Ивлев Г.Д., Степанов А.Л. // Опт. и спектр. 2019. Т. 126. Вып. 2. С. 214-219
Stepanov A.L., TrifonovA.A., Osin Y.N., Valeev V.F., Nuzhdin V.I. // Optoelectron. Adv. Mat. Rapid Comm. 2013. Vol. 7. P. 692-697
Stepanov A.L., Nuzhdin V.I., Valeev V.F., Vorobev V.V., Rogov A.M., Osin Y.N. // Vacuum. 2019. Vol. 7. P. 353-357
Nastasi M., Mayer J.W., Hirvonen J.K. Ion-solid interactions. Fundamentals and applications. Cambridge: Cambridge Univ. Press, 1996. 540 p
Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериш. M.: Мир, 1984. 336 с
Базаров В.В., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Степанов А.Л. // ЖПС. 2016. T. 83. N 1. C. 55-59
Воробьев В.В., Рогов А.М., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Эйдельман К.Б., Табачкова Н.Ю., Ермаков М.А., Степанов А.Л. // ЖТФ. 2019. T. 89. Вып. 2. C. 226-234
Stepanov A.L., Osin Y.N., Vorobev V.V., Valeev V.F., Nuzhdin V.I. // Optoelectron. Adv. Mat. Rapid Comm. 2017. Vol. 11. P. 685-690
Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел. / Под. ред. Е.С. Машкова. М.: Мир, 1989. 349 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель