Неразрушающий контроль поверхности, слоев и концентрации носителей заряда в подложках и структурах SiC
Марков А.В.1, Панов М.Ф.1, Растегаев В.П.1, Севостьянов Е.Н.1, Трушлякова В.В.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: 19_panov_59@mail.ru
Поступила в редакцию: 19 декабря 2018 г.
В окончательной редакции: 19 декабря 2018 г.
Принята к печати: 6 июня 2019 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.
Неразрушающими бесконтактными методами исследованы карбидокремниевые подложки и эпитаксиальные структуры. Параметры нарушенного поверхностного слоя и шероховатости определены методами эллипсометрии и атомно-силовой микроскопии. Концентрация свободных носителей заряда определена методом ИК спектроскопии. Толщины в многослойной эпитаксиальной структуре на SiC определены с помощью ИК спектроскопии и растровой электронной микроскопии. Ключевые слова: слой, отражение, интерференция, шероховатость, эллипсометрия.
- Лучинин В.В. Анализ кристаллов интегральных схем. С.-Пб: С.-ПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2016. 328 с
- Димитров Д.Ц., Лучинин В.В., Мошников В.А., Панов М.Ф. // ЖТФ. 1999. Т. 69. Вып. 4. С. 129--131
- Лучинин В.В., Панов М.Ф. // Микроэлектроника. 2002. Т. 31. Вып. 2. С. 129--134
- Голоудина С.И., Лучинин В.В., Пасюта В.М., Кpиштаб М.Б., Панов М.Ф., Pозанов В.В., Склизкова В.П., Кудpявцев В.В., Бакланов М.P. // Нано- и микросистемная техника. 2015. Вып. 12 (149). С. 9--14
- Nakashima S., Harima H. // J. Appl. Phys. 2004. Vol. 95. P. 3541--3546
- Narita K., Hijikata Y., Yaguchi H. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 2004. Vol. 43. N 8A. P. 5151--5156
- Панов М.Ф., Растегаев В.П., Корлякова С.А. // ЖТФ. 2014. Т. 84. Вып. 8. С. 151--153
- Уханов Ю.И. Оптические свойства полупроводников. М.: Наука, 1977. 368 с
- Бочкин О.И., Брук В.А., Никифорова-Денисова С.Н. Механическая обработка полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1977. 152 с
- Palik E.D. Handbook of optical constants of solids. San Diego: Academic, 1998. 999 p
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
