Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Модель термического окисления кремния

DOI: 10.21883/JTF.2019.04.47323.165-18

Переводная версия: 10.1134/S1063784219040108

Фадеев А.В.¹, Девятко Ю.Н.²

¹Физико-технологический институт Российской академии наук, Москва, Россия Institute of Physics and Technology, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

Institute of Physics and Technology, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

²Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия National Research Nuclear University “MEPhI”, Moscow, Russia

Email: AlexVFadeev@gmail.com

Поступила в редакцию: 26 апреля 2018 г.

Выставление онлайн: 20 марта 2019 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Миниатюризация и увеличение скорости работы электронных приборов требует получения диэлектрических пленок оксида кремния нанометровой толщины. Для создания таких структур необходимо понимание процесса начального окисления кремния. Предложена теоретическая модель термического окисления тонких монослоев кремния, учитывающая рост напряжений в переходном слое оксид - подложка по мере накопления в нем кислорода.

Watanabe H., Kato K., Uda T., Fujita K., Ichikawa M. // Phys. Rev. Lett. 1998. Vol. 80. N 2. P. 345-348
Green M.L., Gusev E.P., Degraeve R., Garfunkel E.L. // J. Appl. Phys. 2001. Vol. 90. N 5. P. 2057-2121
Bongiorno A., Pasquarello A. // J. Mater. Sci. 2005. Vol. 40. P. 3047-3050
Lu H.C., Gustafsson T., Gusev E.P., Garfunkel E. // Appl. Phys. Lett. 1995. Vol. 67. P. 1742-1744
Gusev E.P., Lu H.C., Gustafsson T., Garfunkel E. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1994. Vol. 318. P. 69-74
Deal B.E., Grove A.S. // J. Appl. Phys. 1965. Vol. 36. N 12. P. 3770-3778
Tsetseris L., Pantelides S. T. // PRL. 2006. Vol. 97. P. 116101
Akiyama T., Kageshima H. // Surf. Sci. 2005. Vol. 576. P. L65-L70
Hattori T., Suzuki T. // Appl. Phys. Lett. 1983. Vol. 43. N 5. P. 470-472
Himpsel F.G., Mc Feely F.R., Taleb-Ibrahimi A., Yarmoff J.A., Hollinger G. // Phys. Rev. B. 1998. Vol. 38. N 9. P. 6084-6096
Borman V.D., Gusev E.P., Lebedinskii Yu.Yu., Troyan V.I. // Phys. Rev. Lett. 1991. Vol. 67. N 17. P. 2387-2390
Ohishy K., Hattoty T. // Jpn. J. Appl. Phys. 1994. Vol. 33. P. L675-l678
Szekeres A. // NATO Sci. Series 3 High Technol. 1998. Vol. 47. P. 65-73
Almadia R.M.C., Goncalves S., Baumvol I.J.R. // Phys. Rev. B. 2000. Vol. 61. N 19. P. 12992-12999
Александров О.В., Дусь А.И. // ФТП. 2008. Т. 42. Вып. 11. С. 1400-1406
Gerlach G., Maser K. // Adv. Cond. Matt. Phys. 2016. Vol. 2016. P. 1-13
Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теоретическая физика. Статистическая физика. М.: Наука, 1998. C. 567
Kageshima H., Shiraishi K. // Phys. Rev. Lett. 1998. Vol. 81. N 26. P. 5936-5939

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель