Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Создание совмещенной технологии спин-вентильных магниторезистивных элементов и микромагнитов

DOI: 10.21883/JTF.2018.06.46033.2489

Переводная версия: 10.1134/S1063784218060038

Амеличев В.В.^1,2, Беляков П.А.^1,2, Костюк Д.В.^1,2, Васильев Д.В.^1,2, Орлов Е.П.^1,2, Казаков Ю.В.², Касаткин С.И.³, Крикунов А.И.

¹Научно-производственное предприятие "Технология", Зеленоград, Москва, Россия LLC Scientific-Production Enterprise “Technology,”, Zelenograd, Moscow, Russia

LLC Scientific-Production Enterprise “Technology,”, Zelenograd, Moscow, Russia

²Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ, Зеленоград, Москва, Россия Research and Production Complex “Technological Center” MIET, Zelenograd, Moscow, Russia

Research and Production Complex “Technological Center” MIET, Zelenograd, Moscow, Russia

³Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН, Москва, Россия Trapeznikov Institute of Control Sciences, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

Trapeznikov Institute of Control Sciences, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

Email: goodnessgims@mail.ru

Поступила в редакцию: 21 сентября 2017 г.

Выставление онлайн: 20 мая 2018 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Представлены результаты исследования технологии создания магниторезистивных (МР) элементов на основе многослойных спин-вентильных МР (СВМР) Ta-FeNiCo-CoFe-Cu-CoFe-FeNiCo-FeMn-Ta-наноструктур и CoNi-микромагнитов для построения цифровых гальванических развязок и преобразователей магнитного поля. Представлены результаты экспериментальных исследований тестовых элементов на основе многослойных СВМР наноструктур с МР эффектом 7-8% и пленки из магнитотвердого материала с коэрцитивной силой до 95 Oe, сформированных на одном кристалле.

Jogschies L., Klaas D., Rittenger J., Taptimthong P. et al. // Sensors. 2015. Vol. 15. P. 28665-28689
Маргелов А. Магнеторезистивные датчики положения фирмы Honeywell // Chipnews. 2005. N 5. C. 52-56
Электронный ресурс. Режим достипа: http://www.nve.com
Nagasaka K. // JMMM. 2009. Vol. 321. P. 508-511
Zhao W.S., Zhang Y., Devolder T., Klein J.O. et al. // Microel. Reliab. 2012. Vol. 52. P. 1848-1852
Muluneh M., Issadore D. // Adv. Drug Deliv. Rev. 2014. Vol. 66. P. 101-109
Касаткин С.И., Васильева Н.П., Муравьeв А.М. Спиновые магниторезистивные элементы и приборы на их основе. М.: Электронинформ, 2005. 168 с
Касаткин С.И., Муравьeв A.M., Амеличев В.В., Поломошнов С.А., Решетников И.А. // Датчики и системы. 2011. N 8. С. 61-64
Вагин Д.В., Амеличев В.В., Беляков П.А., Касаткин С.И., Костюк Д.В. // Нано- и микросистемная техника. 2013. N 4. С. 12-15
Беляков П.А., Костюк Д.В., Абанин И.Е. и др. // Датчики и системы. 2015. N 4. С. 32-36

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель