Создание совмещенной технологии спин-вентильных магниторезистивных элементов и микромагнитов
Амеличев В.В.1,2, Беляков П.А.1,2, Костюк Д.В.1,2, Васильев Д.В.1,2, Орлов Е.П.1,2, Казаков Ю.В.2, Касаткин С.И.3, Крикунов А.И.
1Научно-производственное предприятие "Технология", Зеленоград, Москва, Россия
2Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ, Зеленоград, Москва, Россия
3Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН, Москва, Россия
Email: goodnessgims@mail.ru
Выставление онлайн: 20 мая 2018 г.
Представлены результаты исследования технологии создания магниторезистивных (МР) элементов на основе многослойных спин-вентильных МР (СВМР) Ta-FeNiCo-CoFe-Cu-CoFe-FeNiCo-FeMn-Ta-наноструктур и CoNi-микромагнитов для построения цифровых гальванических развязок и преобразователей магнитного поля. Представлены результаты экспериментальных исследований тестовых элементов на основе многослойных СВМР наноструктур с МР эффектом 7-8% и пленки из магнитотвердого материала с коэрцитивной силой до 95 Oe, сформированных на одном кристалле.
- Jogschies L., Klaas D., Rittenger J., Taptimthong P. et al. // Sensors. 2015. Vol. 15. P. 28665-28689
- Маргелов А. Магнеторезистивные датчики положения фирмы Honeywell // Chipnews. 2005. N 5. C. 52-56
- Электронный ресурс. Режим достипа: http://www.nve.com
- Nagasaka K. // JMMM. 2009. Vol. 321. P. 508-511
- Zhao W.S., Zhang Y., Devolder T., Klein J.O. et al. // Microel. Reliab. 2012. Vol. 52. P. 1848-1852
- Muluneh M., Issadore D. // Adv. Drug Deliv. Rev. 2014. Vol. 66. P. 101-109
- Касаткин С.И., Васильева Н.П., Муравьeв А.М. Спиновые магниторезистивные элементы и приборы на их основе. М.: Электронинформ, 2005. 168 с
- Касаткин С.И., Муравьeв A.M., Амеличев В.В., Поломошнов С.А., Решетников И.А. // Датчики и системы. 2011. N 8. С. 61-64
- Вагин Д.В., Амеличев В.В., Беляков П.А., Касаткин С.И., Костюк Д.В. // Нано- и микросистемная техника. 2013. N 4. С. 12-15
- Беляков П.А., Костюк Д.В., Абанин И.Е. и др. // Датчики и системы. 2015. N 4. С. 32-36
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
