Вышедшие номера
Улучшения качества лазерного скрайбирования прозрачного проводящего оксида при изготовлении тонкопленочного солнечного модуля
Переводная версия: 10.1134/S1063784218040102
Егоров Ф.С.1,2, Кукин А.В3, Теруков Е.И.3,4, Титов А.С.3,4
1ООО "Хевел", Новочебоксарск, Россия
2Чувашский государственный университет им. И.Н. Ульянова, Чебоксары, Россия
3НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике, Санкт-Петербург, Россия
4Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: titovoz@gmail.com
Поступила в редакцию: 22 мая 2017 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2018 г.

Неоднородность толщины фронтального прозрачного проводящего оксида (ППО) при изготовлении тонкопленочного солнечного модуля (ТПСМ) на основе микроморфной технологии влияет на качество лазерного скрайбирования Р1 (P1 - скрайбирование во фронтальном слое ППО). Предложен метод улучшения неоднородности толщины фронтального ППО путем модификации существующей системы подачи газов вакуумной установки LPCVD (ТСО1200) с использованием газораспределительных трубок. Неравномерность осаждения по толщине снижена с 15.2 до 11.4%, что улучшило неравномерности по сопротивлению фронтального ППО и светорассеивающего фактора ТПСМ. Помимо этого, в 7 раз уменьшилось количество лазерных скрайбов Р1 с недопустимым значением сопротивления изоляции (менее 2 MOmega), снизилось количество объемов расплавов по краям скрайба Р1, что привело к увеличению шунтирующего сопротивления ТПСМ на 56 Omega. Улучшение параметров фронтального ППО с применением метода газораспределительных труб увеличило выходную мощность ТПСМ на 0.4 W. DOI: 10.21883/JTF.2018.04.45726.2346
  1. Heather Booth // JLMN. 2010. Vol. 5. N 3. P. 183--190
  2. Егоров Ф.С., Охоткин Г.П., Мукина В.А., Редька Д.Н., Кукин А.В. // Вестник Чувашского ун-та. 2015. N 1. С. 59--65
  3. Joar J., Uwe Z., Marika E. // 22nd European Photovoltaic solar Energy Conference. 2007. P. 1922--1925
  4. Hongliang W. et al. // Proc. of NAMRI/SME. 2012. Vol. 40. N 10. P. 361--370
  5. Zhang W., Yao Y.L. // J. Manufacturing Science and Engineering. 2002. Vol. 124/2. P. 369--378
  6. Shah Arvin. Thin Film Silicon Solar Cells. Lausanne, EPFL Press, 2010, p. 249
  7. Chin-Yi Tsai, Chin-Yao Tsai. // J. Nanomaterials. 2014. Vol. ID 86174, P. 10
  8. Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов. Л.: Машиностроение. 1986. 248 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.