Вышедшие номера
Зависимость структуры ионно-модифицированных слоев монокристаллов NiTi от ориентации облучаемой поверхности
Полетика Т.М.1, Мейснер Л.Л.1,2, Гирсова С.Л.1, Твердохлебова А.В.1, Мейснер С.Н.1,2
1Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Томск, Россия
2Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
Email: poletm@ispms.tsc.ru
Поступила в редакцию: 17 ноября 2015 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2017 г.

Методами оже-электронной спектроскопии и просвечивающей электронной микроскопии исследованы состав и структура имплантированных Si-слоев монокристаллов никелида титана, различно ориентированных относительно направления ионно-пучкового воздействия. Выявлена роль "мягкой" [111]B2 и "жесткой" [001]B2 ориентаций NiTi в формировании структуры ионно-модифицированного поверхностного слоя, а также дефектной структуры приповерхностных слоев монокристаллов. Обнаружены ориентационные эффекты селективного распыления и каналирования ионов, контролирующие состав и толщину формирующихся оксидного и аморфного слоев, глубину проникновения ионов и примесей, а также концентрационный профиль распределения Ni на поверхности. DOI: 10.21883/JTF.2017.07.44672.1663