Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Планаризация поверхности композиции нанопористый диоксид кремния-диоксид титана" методом атомно-молекулярной химической сборки

DOI: 10.21883/JTF.2017.05.44447.2062

Лучинин В.В.¹, Панов М.Ф.¹, Романов А.А.¹

¹Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

Email: 19_panov_59@mail.ru

Поступила в редакцию: 13 октября 2016 г.

Выставление онлайн: 19 апреля 2017 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Исследованы процессы, происходящие при планаризации поверхности нанопористого SiO₂ методом атомно-молекулярного наслаивания наноразмерных пленок TiO₂, в режимах, обеспечивающих различное проникновение TiO₂ в нанопоры SiO₂. Рассмотрены параметры технологического процесса, обеспечивающие различные режимы планаризации поверхности. Степень проникновения TiO₂ в нанопоры SiO₂ проконтролирована методом отражательной эллипсометрии путем измерения распределения показателя преломления по глубине структуры в рамках двуслойной модели. DOI: 10.21883/JTF.2017.05.44447.2062

Brusa R.S., Macchi C., Mariazzi S., Karwasz G.P. // Acta Phys. Polon. A. 2005. Vol. 107. N 4. P. 702--711
Worsleya M.A., Roberts M., Bent S.F., Gates S.M., Shaw T., Volksen W., Miller R. // Microelectronic Engineering, 2005. Vol. 82, N 2. P. 113--118
Максимов А.И., Мошников В.А., Таиров Ю.М., Шилова О.А. Основы золь-гель технологии нанокомпозитов. С-Пб.: Элмор, 2007
Гавриленко В.И., Грехов А.М., Корбутяк Д.В, Литовченко В.Г. Оптические свойства полупрововдников. Справочник. Киев: Наукова думка, 1987
Курашов А.А. // Молодой ученый. 2013. Т. 1. N 6. С. 63--68
Дрозд В.Е., Романов А.А., Володажский В.А., Кузнецова М.А., Севостьянов Е.Н. // Биотехносфера. 2011. N 1-2(13-14). С. 26--31
Goloudina S.I., Ivanov A.S., Krishtab M.B., Luchinin V.V., Pasyuta V.M., Gofman I.V., Sklizkova V.P., Kudryavtsev V.V., Baklanov R.M. // Mater. Res. Soc. Symp. Proceed. 2012. Vol. 1428
Лучинин В.В., Панов М.Ф. // Микроэлектроника. 2002. T. 31. N 2. С. 129--134
Аззам Р.М., Башара Н.М. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981
Димитров Д.Ц., Лучинин В.В., Мошников В.А., Панов М.Ф // ЖТФ. 1999. T. 69. Вып. 4. С. 129--131

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель