Параметры пучковой плазмы, формируемой форвакуумным плазменным источником ленточного электронного пучка в системе транспортировки без магнитного поля
Климов А.С.1, Ломаев М.И.2,3, Окс Е.М.1,2, Андрейчик А.П.1
1Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Томск, Россия
2Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
3Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
Email: klimov@main.tusur.ru
Выставление онлайн: 20 января 2017 г.
Проведены исследования процессов образования пучковой плазмы, формируемой форвакуумным плазменным источником ленточного электронного пучка в условиях его транспортировки без сопровождающего магнитного поля. Определены условия зажигания в области транспортировки пучка пучково-плазменного разряда, позволяющего формировать плазменное образование типа "плазменного листа" с концентрацией порядка ~1016 m-3 и температурой электронов 1-2.5 eV. Достигнутые значения параметров и размеры плазмы позволяют использовать ее в технологиях поверхностной модификации плоских протяженных изделий. DOI: 10.21883/JTF.2017.02.44124.1825
- Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. М.: Радио и связь, 1986. 232 с
- Walton S., Leonhardt D., Murphy D., Meger R., Fernsler R. // Bull. Am. Phys. Soc. 1999. Vol. 44. N 8. P. 58
- Leonhardt D., Muratore C., Walton S.G. // IEEE T. Plasma Sci. 2005. Vol. 33. N 2. P. 783
- Zolotukhin D., Burdovitsin V., Oks E., Tyunkov A., Yushkov Yu. // J. Phys. Conf. Ser. 2015. Vol. 652. P. 012 044
- Fernsler R.F., Manheimer W.M., Meger R.A., Mathew J., Murphy D.P., Pechacek R.E., Gregorc J.A. // Phys. Plasmas. 1998. Vol. 5. N 5. P. 2137
- Бурдовицин В.А., Климов А.С., Медовник А.В., Окс Е.М., Юшков Ю.Г. Форвакуумные плазменные источники электронов. Томск: изд-во Том. ун-та, 2014. 288 с
- Oks E.M. // Plasm. Sourc. Sci. Тech. 1992. Vol. 1. N 4. P. 249-255
- Leonhardt D., Muratore C., Walton S.G., Blackwell D.D., Fernsler R.F., Meger R.A. // Surf. Coat. Tech. 2004. Vol. 177-178. P. 682-687
- Бурдовицин В.А., Окс Е.М., Федоров М.В. // Изв. вузов. Сер. физ. 2004. N 3. С. 74-77
- Бурдовицин В.А., Бурачевский Ю.А., Окс E.M., Федоров М.В. // Приборы и техника эксперимента. 2003. N 2. C. 127-129
- Жирков И.С., Федоров М.В., Осипов И.В., Бурдовицин В.А., Окс Е.М. // Приборы и техника эксперимента. 2005. N 6. C. 66-68
- Хаддлстоун Р., Леонард С. Диагностика плазмы. М.: Мир, 1967. 515 с
- Pancheshnyi S.V., Starikovskaia S.M., Starikovskii A.Yu. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1999. Vol. 32. N 17. P. 2219-2227
- Пирс Р., Гейдон А. Отождествление молекулярных спектров / Пер. с англ. под ред. С.Л. Мандельштама, М.Н. Аланцева. М.: ИЛ, 1949. 240 с
- Иванов А.А., Лейман В.Г. // Физика плазмы. 1977. Т. 3. N 4. С. 780-785
- Гордиенко С.Г. и др. // Физика плазмы. 1984. Т. 10. N 5. С. 1010-1013
- Manheimer W.M., Fernsler R.F., Lampe M., Meger R.A. // Plasm. Sourc. Sci. Tech. 2000. Vol. 9. N 3. P. 370
- Попович В.П., Харченко И.Ф., Шустин Е.Г. // Радиотехника и электроника. 1973. Т. 18. N 3. С. 649-651
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
