Вышедшие номера
Изменение оптических и структурных свойств пленок оксида цинка после лазерной обработки
Российский научный фонд, Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований отдельными научными группами, 14-12-00327
Редька Д.Н. 1, Мухин Н.В. 1, Захаров И.Г.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: dnredka@gmail.com
Поступила в редакцию: 1 апреля 2016 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2016 г.

Исследовано влияние лазерного отжига на электрические и оптические свойства пленок оксида цинка, полученных методом плазмо-химического осаждения при пониженном давлении. Показано, что под воздействием модифицирующего излучения происходит аморфизация ZnO.