"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Аппроксимация профиля зоны эрозии планарных магнетронов с дисковым катодом
Рогов А.В. 1, Капустин Ю.В. 1
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
Email: alex-rogov@yandex.ru, kapura90@yandex.ru
Поступила в редакцию: 11 января 2016 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2016 г.

Предложена универсальная аппроксимация нормированного профиля зоны эрозии планарных магнетронов с дисковым катодом составной функцией, включающей функцию плотности вероятности минимального значения распределения экстремальных значений для области от центра дискового катода до максимума зоны эрозии и функцию выживания распределения Вейбулла --- от максимума до внешней границы зоны распыления. Проверка точности аппроксимации проводилась для шести магнетронов, отличающихся размерами катодов или конструкцией магнитных систем. Во всех случаях получено хорошее соответствие аппроксимации и экспериментально измеренных значений. Представленные результаты могут быть использованы для анализа процессов на катоде при распылении и для уточнения расчета профиля покрытий.
  • Рогов А.В., Вуколов К.Ю. // ВАНТ. Серия: Термоядерный синтез. 2005. Вып. 1. С. 9--25.
  • Rogov A.V., Fanchenko S.S., Varfolomeev A.E. // Phys. Stat. Sol. (a) Appl. and Mater. 2005. Vol. 202. N 14. P. 273--274. DOI: 10.1002/pssa.200521217
  • Мельников С.Н. // Междунар. научно-техн. конф., приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 г.): Материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. Минск, 2014. С. 198--199
  • Голосов Д.А., Мельников С.Н., Достанко А.П. // Электронная обработка материалов. 2012. Т. 48. N 1. С. 63--72
  • http://www.angstromsciences.com/Magnetron-Technical-Specifications
  • Forbes C., Evans M., Hastings N., Peacock B. Statistical Distributions. New Jercey: John Wiley \& Sons, 2011. P. 98, 193
  • Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989. С. 85--89
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.