"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Канал протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя
Лапин А.С.1, Ребров В.А.1, Колинько С.В.1, Саливон В.Ф.1, Пономарев А.Г.1
1Институт прикладной физики НАН Украины, Сумы, Украина
Email: lapin@iap.sumy.org, rebrov@ipflab.sumy.ua, kolinko@ipflab.sumy.ua, solivon@iap.sumy.org, ponom@ipflab.sumy.ua
Поступила в редакцию: 9 июля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2016 г.

Описана конструкция канала протонно-лучевой литографии как продолжение канала ядерного сканирующего микрозонда. Решена проблема точности позиционирования зонда путем создания новой высокочастотной электростатической сканирующей системы. Особое внимание уделено задаче по созданию зондоформирующей системы, рассмотрены различные ее конфигурации. На основании решения оптимизационной задачи по формированию пучка протонов найдена зондоформирующая система, которая наилучшим образом отвечает требованиям для проведения литографического процесса. Разработана система управления сканированием пучка, основанная на применении многофункционального модуля интегральных схем программируемой логики.
  • Uhlen F., Nilsson D., Rahomaki J. et al. // Microelectronic Engineering. 2014. Vol. 116. P. 40-43
  • Chen Y.-T., Lo T.-N., Chu Y.S. et al. // Nanotechnology. 2008. Vol. 19. P. 395 302
  • Вендик И.Б., Вендик О.Г. // ЖТФ. 2013. T. 83. Вып. 1. С. 3-23
  • Liu Y., Zhang X. // Chem. Soc. Rev. 2011. Vol. 40. P. 2494-2507
  • Watt F., Breese M.B.H., Bettiol A., van Kan J.A. // Materials today. 2007. Vol. 10. N 6. С. 20-29
  • Watt F., Bettiol A., van Kan J.A. et al. // International Journal of Nanoscience. 2005. Vol. 4. N 3. P. 269-286
  • Ressier L., Grisolia J., Martin C. et al. // Ultramicroscopy. 2007. Vol. 107. P. 985-988
  • Gierak J., Septier A., Vieu C. // Nucl. Instr. and Meth. A. 1999. Vol. 427. P. 91-98
  • Погребняк А.Д., Пономарев А.Г., Шпак А.П., Куницкий Ю.А. // УФН. 2012. Т. 182. Вып. 3. С. 287-321
  • van Kan J.A., Malar P., de Vera A.B. // Review of Scientific Instruments. 2012. Vol. 83. P. 02B902
  • Magilin D.V., Ponomarev A.G., Rebrov V.A. et al. // Nucl. Instr. and Meth. B. 2009. Vol. 267. P. 2046-2049
  • Погребняк А.Д., Пономарев А.Г., Колесников Д.А. и др. // Письма в ЖТФ. 2012. Т. 38. Вып. 13. С. 56-63
  • Курбатов Д.И., Климов А.В., Опанасюк А.С. и др. // Поверхность. 2014. Т. 3. С. 64-67
  • Дымников А.Д., Явор С.Я. // ЖТФ. 1963. Т. 33. Вып. 7. С. 851-858
  • Ponomarov A., Kolinko S.V., Ponomarev A.G., Liu N. // Nucl. Instr. and Meth. B. 2015. Vol. 348. P. 83-87
  • Rebrov V.A., Ponomarev A.G., Palchik V.K., Melnik N.G. // Nucl. Instr. and Meth. B. 2007. Vol. 260. P. 34-38
  • Ребров В.А., Пономарев А.Г., Магилин Д.В. и др. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 3. С. 76-79
  • Melnik K.I., Magilin D.V., Ponomarev A.G. // Nucl. Instr. Meth. B. 2013. Vol. 306. P. 17-20
  • Абрамович С.Н., Завьялов Н.В., Звенигородский А.Г. и др. // ЖТФ. 2005. Т. 75. Вып. 2. С. 6-12
  • Dymnikov A., Hellborg R. // Nucl. Instr. Meth. А. 1993. Vol. 330. P. 323
  • Ponomarev A.G., Miroshnichenko V.I., Storizhko V.E. // Nucl. Instr. and Meth. A. 2003. Vol. 506. P. 20-25
  • Пономарев А.Г. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 2. С. 112-116
  • Daudin L., Barberet Ph., Serani L., Moretto Ph. // Nucl. Instr. and Meth. B. 2013. Vol. 306. P. 64-67
  • Laird J.S., Szymanski R., Ryan C.G., Gonzalez-Alvarez I. // Nucl. Instr. and Meth. B. 2013. Vol. 306. P. 71-75
  • http://sine.ni.com/nips/cds/view/p/lang/ru/nid/207367
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.