Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2016, выпуск 9 » Статья стр. 129
<<<>>>
Канал протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя
Лапин А.С.1, Ребров В.А.1, Колинько С.В.1, Саливон В.Ф.1, Пономарев А.Г.1
1Институт прикладной физики НАН Украины, Сумы, Украина
Email: lapin@iap.sumy.org, rebrov@ipflab.sumy.ua, kolinko@ipflab.sumy.ua, solivon@iap.sumy.org, ponom@ipflab.sumy.ua
Поступила в редакцию: 9 июля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2016 г.
PDF версия
Описана конструкция канала протонно-лучевой литографии как продолжение канала ядерного сканирующего микрозонда. Решена проблема точности позиционирования зонда путем создания новой высокочастотной электростатической сканирующей системы. Особое внимание уделено задаче по созданию зондоформирующей системы, рассмотрены различные ее конфигурации. На основании решения оптимизационной задачи по формированию пучка протонов найдена зондоформирующая система, которая наилучшим образом отвечает требованиям для проведения литографического процесса. Разработана система управления сканированием пучка, основанная на применении многофункционального модуля интегральных схем программируемой логики.
  1. Uhlen F., Nilsson D., Rahomaki J. et al. // Microelectronic Engineering. 2014. Vol. 116. P. 40-43
  2. Chen Y.-T., Lo T.-N., Chu Y.S. et al. // Nanotechnology. 2008. Vol. 19. P. 395 302
  3. Вендик И.Б., Вендик О.Г. // ЖТФ. 2013. T. 83. Вып. 1. С. 3-23
  4. Liu Y., Zhang X. // Chem. Soc. Rev. 2011. Vol. 40. P. 2494-2507
  5. Watt F., Breese M.B.H., Bettiol A., van Kan J.A. // Materials today. 2007. Vol. 10. N 6. С. 20-29
  6. Watt F., Bettiol A., van Kan J.A. et al. // International Journal of Nanoscience. 2005. Vol. 4. N 3. P. 269-286
  7. Ressier L., Grisolia J., Martin C. et al. // Ultramicroscopy. 2007. Vol. 107. P. 985-988
  8. Gierak J., Septier A., Vieu C. // Nucl. Instr. and Meth. A. 1999. Vol. 427. P. 91-98
  9. Погребняк А.Д., Пономарев А.Г., Шпак А.П., Куницкий Ю.А. // УФН. 2012. Т. 182. Вып. 3. С. 287-321
  10. van Kan J.A., Malar P., de Vera A.B. // Review of Scientific Instruments. 2012. Vol. 83. P. 02B902
  11. Magilin D.V., Ponomarev A.G., Rebrov V.A. et al. // Nucl. Instr. and Meth. B. 2009. Vol. 267. P. 2046-2049
  12. Погребняк А.Д., Пономарев А.Г., Колесников Д.А. и др. // Письма в ЖТФ. 2012. Т. 38. Вып. 13. С. 56-63
  13. Курбатов Д.И., Климов А.В., Опанасюк А.С. и др. // Поверхность. 2014. Т. 3. С. 64-67
  14. Дымников А.Д., Явор С.Я. // ЖТФ. 1963. Т. 33. Вып. 7. С. 851-858
  15. Ponomarov A., Kolinko S.V., Ponomarev A.G., Liu N. // Nucl. Instr. and Meth. B. 2015. Vol. 348. P. 83-87
  16. Rebrov V.A., Ponomarev A.G., Palchik V.K., Melnik N.G. // Nucl. Instr. and Meth. B. 2007. Vol. 260. P. 34-38
  17. Ребров В.А., Пономарев А.Г., Магилин Д.В. и др. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 3. С. 76-79
  18. Melnik K.I., Magilin D.V., Ponomarev A.G. // Nucl. Instr. Meth. B. 2013. Vol. 306. P. 17-20
  19. Абрамович С.Н., Завьялов Н.В., Звенигородский А.Г. и др. // ЖТФ. 2005. Т. 75. Вып. 2. С. 6-12
  20. Dymnikov A., Hellborg R. // Nucl. Instr. Meth. А. 1993. Vol. 330. P. 323
  21. Ponomarev A.G., Miroshnichenko V.I., Storizhko V.E. // Nucl. Instr. and Meth. A. 2003. Vol. 506. P. 20-25
  22. Пономарев А.Г. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 2. С. 112-116
  23. Daudin L., Barberet Ph., Serani L., Moretto Ph. // Nucl. Instr. and Meth. B. 2013. Vol. 306. P. 64-67
  24. Laird J.S., Szymanski R., Ryan C.G., Gonzalez-Alvarez I. // Nucl. Instr. and Meth. B. 2013. Vol. 306. P. 71-75
  25. http://sine.ni.com/nips/cds/view/p/lang/ru/nid/207367

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme