Состав морфология и электронная структура наноразмерных фаз, созданных на поверхности SiO2 бомбардировкой ионами Ar+
Юсупжанова М.Б.1, Ташмухамедова Д.А.1, Умирзаков Б.Е.1
1Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан
Email: ftmet@rambler.ru
Поступила в редакцию: 8 июля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2016 г.
Изучено влияние бомбардировки ионами Ar+ на состав и структуру поверхности SiO2/Si. Обнаружено, что при высокодозной ионной бомбардировке на поверхности SiO2 образуется тонкая пленка Si.
- Демидов Е.С., Михайлов А.Н., Белов А.И., Карзанова М.В., Демидова Н.Е., Чигиринский Ю.И., Шушунов А.Н., Тетельбаум Д.И., Горшков О.Н., Европейцев Е.А. // ФТТ. 2011. Т. 53. Вып. 12. С. 2294--2298
- Громов Д.Г., Пятилова О.В., Булярский С.В., Белов А.Н., Раскин А.А. // ФТТ. 2013. Т. 55. Вып. 3. С. 562--566
- Комаров Ф.Ф., Власукова Л.А., Мильчанин О.В., Моховиков М., Пархоменко И., Вендлер Е., Веш В., Мудрый А. Тр. XXI Междунар. конф. взаимодействие ионов с поверхностью. Ярославль, Россия, 2013. Т. 2. C. 96--100
- Kanemitsu Y., Kushida T. // Appl. Phys. Lett. 2000. Vol. 77. N 22. P. 3550--3552
- Hoppe K., Fahrner W.R., Fink D., Dhamodoran S., Petrov A., Chandra A., Saad A., Faupel F., Chakravadhanula V.S.K., Zaporotchenko V. // Nucl. Instr. Meth. B. 2008. Vol. 266. P. 1642--1646
- Болтаев Х.Х., Ташмухамедова Д.А., Умирзаков Б.Е. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2014. N 4. С. 24--29
- Эргашов Ё.С., Ташмухамедова Д.А., Раббимов Э. // Поверхность. 2015. N 4. С. 38--43
- Нормурадов М.Т., Умирзаков Б.Е. Энергетические спектры поверхности твердых тел, имплантированных ионами низких энергий. Ташкент.: ФАН. 1989. 158 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
