"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Физические свойства пленок углерода, полученных при пиролизе метана в электрическом поле
Брантов С.К., Терещенко А.Н., Штейнман Э.А., Якимов Е.Б.1
1Институт проблем микроэлектроники и особо чистых материалов РАН, Черноголовка, Московская область, Россия
Email: brantov@issp.ac.ru
Поступила в редакцию: 23 июня 2015 г.
Выставление онлайн: 20 февраля 2016 г.

Описан способ синтеза углеродных пленок при пиролизе метана в электрическом поле на монокристаллических подложках кремния. Выполнены расчеты развиваемых давления и температуры при бомбардировании подложки ионами углерода C-4 в процессе пиролиза, в результате чего возникают центры образования зародышей в форме волокон диаметром ~2 mum для роста кристаллической пленки. Проведено исследование полученного материала методами электронной микроскопии, а также фото- и катодолюминесценции. Показано, что синтезированные пленки представляют собой композиционный материал, в углеродной матрице которого содержатся наноразмерные кластеры иной кристаллической природы. Обнаружен эффект 2-х стадийного значительного снижения электрического сопротивления материала пленок при увеличении их температуры от 300 до 1750 K, что является проявлением полупроводниковых свойств углерода в достаточно массивных его образцах.
  • Макарова Т.Л. // ФТП. 2004. Т. 38. N 6. С. 615--638
  • Bauhofer W., Kovacs J. // Compos. Sci. Technol. 2009. Vol. 69. P. 1468--1498
  • Robertson J., O'Reilly E.P. // Phys. Rev. B. 1987. Vol. 35. P. 2946--2957
  • Брантов С.К., Божко С.И., Рыжкин И.А., Шмытько И., Орлов В.И. // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. Вып. 2. С. 21--28
  • Брантов С.К. // Патент RU2521581. 2014
  • Brantov S.K. // Recent Patents on Materials Sci. 2013. Vol. 6. N 2. P. 140--152
  • Брантов С.К. // ФТП. 2014. Т. 48. С. 667--670
  • Teng K., Chen H., Tzeng G., Tang C., Cheng H., Lin I. // J. Appl. Phys. 2012. Vol. 111. P. 053 701
  • Компан М.Е., Теруков Е.И., Гордеев С.К., Жуков С.Г., Николаев Ю.В. // ФТТ. 1997. Т. 39. С. 2156--2158
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.