"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления
Оскомов К.В., Захаров А.Н., Работкин С.В., Соловьев А.А.1
1Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Томск, Россия
Email: oskomov@yandex.ru
Поступила в редакцию: 12 февраля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 января 2016 г.

Представлены результаты исследований свойств сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий, осажденных методом импульсного сильноточного магнетронного реактивного распыления (напряжение импульса разряда 300-900 V, ток импульса разряда до 200 A, длительность импульса разряда 10-100 mus, частота повторения импульсов 20-2000 Hz). Показано, что при короткой длительности импульса распыления (25 mus) и большем токе разряда (160 A) пленки обладают высокой твердостью (66 GPa), износостойкостью, лучшей адгезией и более низким коэффициентом трения скольжения. Причиной этого является увеличение ионной бомбардировки растущего покрытия за счет более высокой плотности плазмы в районе подложки (1013 cm-3) и многократное повышение степени ионизации плазмы с ростом пикового тока разряда, причем, преимущественно за счет распыляемого материала.
  • Veprek S. // J. Vac. Sci. Technol. 1999. Vol. 17. P. 2401
  • Musil J. // Surf. Coat. Technol. 2000. Vol. 125. P. 322
  • Musil J. // Nanostructured Coatings. Ed. by Albano Cavaleiro and Jeff Th.M. De Hosson, Berlin: Springer, 2006. P. 407--463
  • Veprek Stan, Veprek-Heijman Maritza G.J. // Nanostructured Coatings. Ed. by Albano Cavaleiro, Jeff Th.M. De Hosson, Berlin: Springer, 2006. P. 347--406
  • Bradley J.W., Thompson S., Aranda Gonzalvo Y. Plasma Sources Sci. Technol. 2001. Vol. 10. P. 490-501
  • Christou C., Barber Z.H. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2000. Vol. 18. P. 2897-2907
  • Alami J., Gudmundsson J.T., Bohlmark J., Birch J., Helmersson U. // Plasma Sources Sci. Technol. 2005. Vol. 14. P. 525-531
  • Bohlmark J., Lattemann M., Gudmundsson J.T., Ehiasarian A.P., Aranda Gonzalvo Y., Brenning N., Helmersson U. // Thin Solid Films. 2006. Vol. 515. P. 1522-1526
  • William D. Sproul // J. Vac. Sci. Technol. A. 2003. Vol. 21. N 5. P. S222-S223
  • Зайдель А.Н., Прокофьев В.К., Райский С.М., Славный В.А., Шрейдер Е.Я. Таблицы спектральных линий. М.: Наука. 1969. 784 с
  • Чен Франсис Ф. Введение в физику плазмы. М.: Мир, 1987. 398 с
  • Kouznetsov V., Macak K., Schneider J.M., Helmersson U., Petrov I. // Surf. Coat. Technol. 1999. Vol. 122. P. 290
  • Alami J., Sarakinos K., Mark G., Wuttig M. // Appl. Phys. Lett. 2006. Vol. 89. P. 154 104
  • Aksenov I.I., Strelnitskij V.E. // Surf. Coat. Technol. 1991. Vol. 47. P. 98-105
  • A. Anders // Surf. Coat. Technol. 1997. Vol. 93. P. 157-167
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.