"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени
Блейхер Г.А.1, Кривобоков В.П.1, Юрьева А.В.1
1Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 2 марта 2015 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2015 г.

Проанализированы возможности плазмы магнетронных распылительных систем разных видов, в том числе импульсных и с жидкофазными мишенями, для создания интенсивной эмиссии атомов и высокоскоростного осаждения покрытий. Для этого разработана математическая модель тепловых и эрозионных процессов в мишени на основе уравнений теплопроводности с учетом фазовых переходов первого рода. С ее помощью выявлены параметры магнетронов, при которых происходит интенсивное испарение атомов с поверхности мишеней. Показано, что его присутствие приводит к увеличению скорости роста металлических покрытий в 10-100 раз по сравнению с обычными магнетронными системами, основанными только на столкновительном распылении.
  1. Кузьмичев А.И. Магнетронные распылительные системы. Киев: Изд-во Киевского политехн. ун-та, 2004. 108 с
  2. Richer A. // Thin Solid Films. 1990. Vol. 188. N 2. P. 272-292
  3. Жуков В.В., Кривобоков В.П., Янин С.Н. // ЖТФ. 2006. Т. 76. Вып. 4. С. 61-66
  4. Блейхер Г.А., Кривобоков В.П. Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц. Новосибирск: Наука, 2014. 248 с
  5. Bleykher G.A., Krivobokov V.P. // Nucl. Instrum. Meth. B. 2012. Vol. 292. P. 34-39
  6. Блейхер Г.А., Кривобоков В.П., Третьяков Р.С. // Изв. вузов. Физика. 2011. Т. 54. N 11/2. С. 148-153
  7. Surpi A., Kubart T., Giordani D., Tosello M., Mattei G., Colasuonno M., Patelli A. // Surf. Coat. Tech. 2013. Vol. 235. P. 714-719
  8. Lewin E., Loch D., Montagne A., Ehiasarian A.P., Patscheider J. // Surf. Coat. Tech. 2013. Vol. 232. P. 680-689
  9. Оскомов К.В., Соловьёв А.А., Работкин С.В. // ЖТФ. 2014. Т. 84. Вып. 12. С. 73-76
  10. Sigmund P. // Nucl. Instrum. Meth. B. 1987. Vol. 27. N 1-2. P. 1-20
  11. Блейхер Г.А., Кривобоков В.П., Третьяков Р.С., Юрьева А.В. // Изв. вузов. Физика. 2009. Т. 52. N 11/2. С. 180-185
  12. Блейхер Г.А., Степанова О.М., Юрьева А.В., Юрьев Ю.Н. // Изв. вузов. Физика. 2014. Т. 57. N 3/3. С. 283-287

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.